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一种芯片清洗和检测一体化装置制造方法及图纸

技术编号:32730732 阅读:15 留言:0更新日期:2022-03-20 08:36
本实用新型专利技术公开了一种芯片清洗和检测一体化装置,包括箱体,所述箱体内靠近中间处设置有第一圆形盘,所述第一圆形盘底部固定连接有若干个均匀分布的支撑杆,所述支撑杆底端与箱体内腔底部固定连接,所述第一圆形盘底部通过轴承活动连接有旋转轴,所述旋转轴底端通过轴承与箱体内腔底部活动连接,所述旋转轴抵挡段穿过轴承内圈延伸至第一圆形盘上方,本实用新型专利技术通过一系列的结构使得本装置具有下料便捷和清洗检测便捷等特点。捷和清洗检测便捷等特点。捷和清洗检测便捷等特点。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片清洗和检测一体化装置


[0001]本技术涉及芯片,尤其涉及一种清洗和检测一体化装置。

技术介绍

[0002]集成电路,或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,芯片在加工时需要进行清洗和检测,但现有技术的芯片清洗和检测一体化装置在使用时存在下料不便捷和清洗检测不便捷等问题,因此我们提出一种芯片清洗和检测一体化装置。

技术实现思路

[0003]为了克服现有技术的不足,本技术的目的之一在于提供一种芯片清洗和检测一体化装置。
[0004]本技术的目的之一采用如下技术方案实现:
[0005]一种芯片清洗和检测一体化装置,包括箱体,所述箱体内靠近中间处设置有第一圆形盘,所述第一圆形盘底部固定连接有若干个均匀分布的支撑杆,所述支撑杆底端与箱体内腔底部固定连接,所述第一圆形盘底部通过轴承活动连接有旋转轴,所述旋转轴底端通过轴承与箱体内腔底部活动连接,所述旋转轴抵挡段穿过轴承内圈延伸至第一圆形盘上方,并固定连接有第二圆形盘,所述第二圆形盘顶部靠近侧壁处开设有若干个均匀分布的放置槽,所述第一圆形盘顶部靠近前侧处开设有出料槽,所述第一圆形盘底部靠近出料槽处固定连接有L形出料管,所述L形出料管右端贯穿箱体右侧内壁,所述箱体内靠近右侧处设置有进料管,所述进料管顶部贯穿箱体内腔顶部,所述箱体内腔底部靠近右侧处固定连接有驱动电机,所述驱动电机输出轴顶端固定连接有传动杆,所述传动杆顶端通过轴承活动连接有固定板,所述固定板右壁与箱体右侧内壁固定连接,所述传动杆与旋转轴之间通过槽轮传动连接有传动皮带,所述箱体上方设置有水箱,所述水箱底部通过若干个均匀分布的连接杆与箱体顶部固定连接,所述水箱顶部靠近右侧处开设有注水槽,所述水箱内设置有L形水管,所述L形水管上靠近左端处安装有水泵,所述L形水管另一端依次贯穿水箱右侧内壁和箱体顶部延伸至箱体内,并固定连接有雾化喷头,所述雾化喷头左侧设置有检测器,所述检测器顶部通过连接杆与箱体内腔顶部固定连接。
[0006]进一步的,所述检测器左侧设置有弧形加热块,所述弧形加热块顶部靠近左右两侧处均通过连接杆与箱体内腔顶部固定连接。
[0007]进一步的,所述第二圆形盘上方靠近左侧处设置有U形板,所述U形板顶部固定连接有连接板,所述连接板顶部与箱体内腔顶部固定连接,所述U形板内设置有旋转辊,所述旋转辊左右两侧侧壁分别通过转轴和轴承与U形板左右两侧内壁活动连接,所述旋转辊上套接有环形棉布。
[0008]进一步的,所述传动杆底端穿过轴承内圈延伸至固定板上方,所述传动杆左右两侧侧壁靠近顶端处分别固定连接有第一半圆挡板和第二半圆挡板,且所述进料管右侧侧壁
开设有与第二半圆挡板相匹配的开槽。
[0009]进一步的,所述第一半圆挡板位于进料管下方。
[0010]进一步的,所述注水槽内设置有密封塞。
[0011]进一步的,所述箱体底部靠近四角处均固定连接有支撑脚。
[0012]相比现有技术,本技术的有益效果在于:
[0013]在本技术方案中,通过驱动电机、传动杆第一半圆挡板和第二半圆挡板之间的相互配合,可实现第一半圆挡板和第二半圆挡板之间的相互交替挡住进料管出料口,从而实现装置便捷的有序下料,同时通过传动皮带、旋转轴和第二圆形盘之间的相互配合,通过第二圆形盘的旋转,可实现芯片在放置槽内均匀的做环形移动,从而方便监测和清洗,可有效提高装置的清洗监测效率。
[0014]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
[0015]图1为本实施例的立体图;
[0016]图2为本实施例的剖面结构示意图;
[0017]图3为图2中A处放大图。
[0018]图中:1、箱体;2、L形出料管;3、出料槽;4、传动皮带;5、旋转轴;6、支撑杆;7、放置槽;8、第一圆形盘;9、第二圆形盘;10、连接板;11、水箱;12、水泵;13、弧形加热块;14、密封塞;15、检测器;16、L形水管;17、雾化喷头;18、进料管;19、第一半圆挡板;20、第二半圆挡板;21、传动杆;22、固定板;23、驱动电机;24、U形板;25、旋转辊;26、环形棉布。
具体实施方式
[0019]下面,结合附图以及具体实施方式,对本技术做进一步描述,需要说明的是,在不相冲突的前提下,以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
[0020]需要说明的是,当组件被称为“固定于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0021]除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0022]请参阅图1至图3,一种芯片清洗和检测一体化装置,包括箱体1,箱体1内靠近中间处设置有第一圆形盘8,第一圆形盘8底部固定连接有若干个均匀分布的支撑杆6,支撑杆6底端与箱体1内腔底部固定连接,第一圆形盘8底部通过轴承活动连接有旋转轴5,旋转轴5
底端通过轴承与箱体1内腔底部活动连接,旋转轴5抵挡段穿过轴承内圈延伸至第一圆形盘8上方,并固定连接有第二圆形盘9,第二圆形盘9顶部靠近侧壁处开设有若干个均匀分布的放置槽7,第一圆形盘8顶部靠近前侧处开设有出料槽3,第一圆形盘8底部靠近出料槽3处固定连接有L形出料管2,L形出料管2右端贯穿箱体1右侧内壁,箱体1内靠近右侧处设置有进料管18,进料管18顶部贯穿箱体1内腔顶部,箱体1内腔底部靠近右侧处固定连接有驱动电机23,驱动电机23输出轴顶端固定连接有传动杆21,传动杆21顶端通过轴承活动连接有固定板22,固定板22右壁与箱体1右侧内壁固定连接,传动杆21底端穿过轴承内圈延伸至固定板22上方,传动杆21左右两侧侧壁靠近顶端处分别固定连接有第一半圆挡板19和第二半圆挡板20,且进料管18右侧侧壁开设有与第二半圆挡板20相匹配的开槽,第一半圆挡板19位于进料管18下方,传动杆21与旋转轴5之间通过槽轮传动连接有传动皮带4,箱体1上方设置有水箱11,水箱11底部通过若干个均匀分布的连接杆与箱体1顶部固定连接,水箱11顶部靠近右侧处开设有注水槽,注水槽内设置有密封塞14,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片清洗和检测一体化装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)内靠近中间处设置有第一圆形盘(8),所述第一圆形盘(8)底部固定连接有若干个均匀分布的支撑杆(6),所述支撑杆(6)底端与箱体(1)内腔底部固定连接,所述第一圆形盘(8)底部通过轴承活动连接有旋转轴(5),所述旋转轴(5)底端通过轴承与箱体(1)内腔底部活动连接,所述旋转轴(5)抵挡段穿过轴承内圈延伸至第一圆形盘(8)上方,并固定连接有第二圆形盘(9),所述第二圆形盘(9)顶部靠近侧壁处开设有若干个均匀分布的放置槽(7),所述第一圆形盘(8)顶部靠近前侧处开设有出料槽(3),所述第一圆形盘(8)底部靠近出料槽(3)处固定连接有L形出料管(2),所述L形出料管(2)右端贯穿箱体(1)右侧内壁,所述箱体(1)内靠近右侧处设置有进料管(18),所述进料管(18)顶部贯穿箱体(1)内腔顶部,所述箱体(1)内腔底部靠近右侧处固定连接有驱动电机(23),所述驱动电机(23)输出轴顶端固定连接有传动杆(21),所述传动杆(21)顶端通过轴承活动连接有固定板(22),所述固定板(22)右壁与箱体(1)右侧内壁固定连接,所述传动杆(21)与旋转轴(5)之间通过槽轮传动连接有传动皮带(4),所述箱体(1)上方设置有水箱(11),所述水箱(11)底部通过若干个均匀分布的连接杆与箱体(1)顶部固定连接,所述水箱(11)顶部靠近右侧处开设有注水槽,所述水箱(11)内设置有L形水管(16),所述L形水管(16)上靠近左端处安装有水泵(12),所述L形水管(16)另一端依次贯穿水箱(11)右侧内壁和箱体(1)...

【专利技术属性】
技术研发人员:阮青青
申请(专利权)人:阮青青
类型:新型
国别省市:

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