一种EBSD检测区域样品的扫描样品台制造技术

本实用新型专利技术涉及扫描电镜技术领域，公开了一种EBSD检测区域样品的扫描样品台，包括：圆台底座、支撑台和卡槽挡板，圆台底座固定卡入电镜内样品底座内，支撑台下端与圆台底座固定，上端面倾斜角度为70

【技术实现步骤摘要】
一种EBSD检测区域样品的扫描样品台


[0001]本技术涉及扫描电镜
，特别涉及一种EBSD检测区域样品的扫描样品台。

技术介绍

[0002]EBSD(Electron Backscattered Diffraction电子背散射衍射)技术是目前逐渐在新材料发开和研究中被使用，被广泛使用的微观组织分析方法。通过利用电子束照射在预倾70
°
后的样品表面激发出来的菊池衍射信号，被装配在扫描电子显微镜内的EBSD探头接收，从而分析获得样品微观组织信息，包括微观组织信息、晶粒取向信息、晶界信息、未知相结构参数等丰富的信息。随着研究要求，对于大尺寸晶粒的样品和大面积拼接技术的使用，研发人员更希望对于大尺寸样品整体进行EBSD检测，以及样品相鉴定检测的便利，从而提出样品台的改进希望。
[0003]EBSD测试要求样品需倾斜70度，以便探头接收衍射花样。通常可以将样品测试面保持水平放入样品座，在电镜中将样品座旋转70度的方式满足倾斜要求；另一个方法就是使用预置70度倾斜角的样品台固定样品。样品固定方式一般可放在通过导电胶带或银浆直接粘在台子上，也可直接被夹具通过夹片固定。但常规样品台不能满足大尺寸检测面或整体检测的样品，或因样品过大，会有漂移现象出现，从而影响测量的精准度。
[0004]目前常用及已申请使用的EBSD样品台有三个条件不能满足：1)现有EBSD的样品台或夹具其尺寸以正方形或圆形为主，但对单体在20*40mm以上的检测面积，样品台很少能满足使用；2)多数样品台是将样品以导电胶带或银浆直接粘在台子上，对于大块状样品没有一个辅助配件，样品很有可能会发生漂移或样品不稳情况；3)使用夹具将样品固定在样品台上，会因夹具的尺寸对样品的形状有限制，对于高校或科研院所的共享平台上使用的电镜会有局限性。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种EBSD检测区域样品的扫描样品台，提供一种结构简单、使用便捷的扫描电镜EBSD样品台，可以同时满足测量大面积EBSD样品，样品包括块状、多边形棒状样品、薄片样品在内，同时也可测量多个小尺寸样品，极大的提高了检测效率。
[0006]本技术提供了一种EBSD检测区域样品的扫描样品台，包括：
[0007]圆台底座，固定卡入电镜内样品底座内；
[0008]支撑台，下端与圆台底座固定，上端面倾斜角度为70
°
，支撑台的上端面具有插槽；
[0009]卡槽挡板，下端插入插槽内进行固定，上端延伸出支撑台的上端面。
[0010]可选的，卡槽挡板包括挡块与插块，插块竖直固定于挡块的下端，插块与插槽插接配合，挡块为直角三棱柱，挡块的上端面为斜面。
[0011]可选的，插块的个数不少于两个，插槽与插块的个数相等，插槽与插块的位置配合。
[0012]可选的，圆台底座与支撑台之间固定有固定座，固定座的下端面与圆台底座固连，支撑台固定于固定座的上端。
[0013]可选的，支撑台的竖截面为四边形，与支撑台的上端面较高一端相邻的第一侧边为竖直边，第一侧边与支撑台的上端面之间的夹角α＝20
°
，与第一侧边相邻的第二侧边与其之间的夹角γ＝135
°
，第二侧边与固定座之间的夹角β＝45
°
。
[0014]可选的，插槽位于支撑台的上端面靠近中线的位置。
[0015]可选的，支撑台上端面的长度范围为20
‑
40mm。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：本技术通过设置的圆台底座可将扫描样品台固定于电镜内样品底座内，可保证整个样品台系统的稳定性，通过将样品粘贴在支撑台的上端面上，将合适尺寸的卡槽挡板通过插槽固定在支撑台上，这样卡槽挡板便能在支撑台的上端面较低一侧对样品的下滑面进行阻挡支撑，起到辅助样品的作用，避免较大的样品出现漂移，本技术提供的样品台在水平方向上最大限度地发挥了扫描电镜最大检测样品尺寸范围，且在进行EBSD测试时，沿水平方向移动不会发生探头碰撞的风险适合大尺寸样品，样品台其尺寸大，结构简单，操作方便，卡槽挡板有助于块状样品稳定，解决了因导电胶带的固定样品导致测试漂移的问题，打破了夹具带来的固定尺寸和形状的限制，可检测样品面积最大尺寸为70mm
×
30mm，本技术样品台可同时放置多个小尺寸的块体样品、薄片样品、多边形棒状样品，多样品测试节约了频繁抽放真空，交换样品的时间，提高了检测效率。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例提供的一种EBSD检测区域样品的扫描样品台的结构示意图；
[0018]图2为本技术实施例提供的一种EBSD检测区域样品的扫描样品台的俯视图。
[0019]附图标记说明：
[0020]1‑
圆台底座，2
‑
支撑台，3
‑
插槽，4
‑
卡槽挡板，41
‑
挡块，42
‑
插块，5
‑
固定座。
具体实施方式
[0021]下面结合附图，对本技术的一个具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术的技术方案和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。EBSD(Electron Backscattered Diffraction电子背散射衍射)技术是目前逐渐在新材料发开和研究中被使用，被广泛使用的微观组织分析方法。通过利用电子束照射在预倾70
°
后的样品表面激发出来的菊池衍射信号，被装配在扫描电子显微镜内的EBSD探头接收，从而分析获得样品微观组织信息，包括微观组织信息、晶粒取向信息、晶界信息、未知相结构参数等丰富的信息。随着研究要求，对于大尺寸晶粒的样品和大面积拼接技术的使用，研发人员更
希望对于大尺寸样品整体进行EBSD检测，以及样品相鉴定检测的便利，从而提出样品台的改进希望。
[0023]EBSD测试要求样品需倾斜70度，以便探头接收衍射花样。通常可以将样品测试面保持水平放入样品座，在电镜中将样品座旋转70度的方式满足倾斜要求；另一个方法就是使用预置70度倾斜角的样品台固定样品。样品固定方式一般可放在通过导电胶带或银浆直接粘在台子上，也可直接被夹具通过夹片固定。但常规样品台不能满足大尺寸检测面或整体检测的样品，或因样品过大，会有漂移现象出现，从而影响测量的精准度。
[0024]目前常用及已申请使用的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种EBSD检测区域样品的扫描样品台，其特征在于，包括：圆台底座(1)，固定卡入电镜内样品底座内；支撑台(2)，下端与所述圆台底座(1)固定，上端面倾斜角度为70
°
，所述支撑台(2)的上端面具有插槽(3)；卡槽挡板(4)，下端插入所述插槽(3)内进行固定，上端延伸出所述支撑台(2)的上端面。2.如权利要求1所述的EBSD检测区域样品的扫描样品台，其特征在于，所述卡槽挡板(4)包括挡块(41)与插块(42)，所述插块(42)竖直固定于所述挡块(41)的下端，所述插块(42)与所述插槽(3)插接配合，所述挡块(41)为直角三棱柱，所述挡块(41)的上端面为斜面。3.如权利要求2所述的EBSD检测区域样品的扫描样品台，其特征在于，所述插块(42)的个数不少于两个，所述插槽(3)与所述插块(42)的个数相等，所述插槽(3)与所述插块(42)的位置配合。4.如权利要求1所述的EBSD检测区域样品的扫描样品台，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王朝毅，邢磊，吴忠旺，彭军，
申请(专利权)人：内蒙古科技大学，
类型：新型
国别省市：