本发明专利技术提供检查方法以及检查装置，所述检查方法用于检查具有信号线的印刷布线板，其包括如下步骤：使电连接到矢量网络分析仪的测量端口上的检查探针只与所述信号线的输入端子以及输出端子中一方的端子接触；通过所述矢量网络分析仪测量所述信号线的反射特性；以及根据所述反射特性判断所述信号线的传送特性的好坏。好坏。好坏。
【技术实现步骤摘要】
检查方法以及检查装置
[0001]本专利技术涉及检查方法以及检查装置。更具体地说，本专利技术涉及用于检查传输高频信号用的信号线的传输特性的检查方法和检查装置。
技术介绍
[0002]近年来，智能手机、笔记本电脑、数码相机或者游戏机等电子设备，随着向小型化和高速化发展，信息处理量急剧增加。因此，信号速度有越来越高速化的倾向。另外，智能手机等移动通信终端从2019年开始向下一代通信标准5G转移。在5G中，由通信终端发送和接收的信号频率变为从数GHz到20～30GHz。并且，预计到2022年左右，信号频率将提高到50GHz左右。
[0003]为适应这种信号的高速化，要求信号线(传输线)满足各种传输特性的规范。例如，为了抑制信号的反射，在规范中规定了特征阻抗和电压驻波比(VSWR：Voltage Standing Wave Ratio)。另外，经信号线传播的信号的传输损耗在规范中也被规定。此外，在同一印刷布线板上设置多个信号线时，相邻的信号线之间的干扰(串扰/隔离)在规范中也被规定。
[0004]此外，日本专利公报特开2017
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211277号中记载了一种以比较可靠地检查印刷基板的特性为目的的电气检查装置。日本专利公报特开2008
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134264号中记载了一种阻抗测量装置，其目的在于短时间内测量环状连接的多个电子部件的阻抗。
[0005]如上所述，为适应信号的高速化，信号线的各种传输特性都有要求。以往，使用TDR示波器检查特征阻抗。传输损耗、VSWR和串扰的检查通过矢量网络分析仪测量S参数进行。此时，需要进行两个检查工序。因此，期望信号线检查的高效化以及降低检查成本。
技术实现思路
[0006]本专利技术是基于上述的技术认识而完成的。本专利技术的目的在于提供一种能够高效地检查信号线的传输特性以及能降低检查成本的检查装置和检查方法。
[0007]本专利技术第一方式的检查方法用于检查具有信号线的印刷布线板，其包括如下步骤：使电连接到矢量网络分析仪的测量端口上的检查探针只与所述信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；通过所述矢量网络分析仪测量所述信号线的反射特性；以及根据所述反射特性，判断所述信号线的传输特性的好坏。
[0008]另外，在上述检查方法中，可以在用终端电阻终止所述信号线的输入端子和输出端子中的另一方的端子的状态下，执行所述测量所述信号线的反射特性。
[0009]另外，在上述检查方法中，可以在使所述信号线的输入端子和输出端子中的另一方的端子开放的状态下，执行所述测量所述信号线的反射特性。
[0010]另外，在上述检查方法中，所述判断所述信号线的传输特性的好坏包括：当所述测量的反射特性通过进行TDR转换所得到的、所述信号线的特征阻抗在信号线区域都处于规定的范围内时，判断为不仅所述信号线的特征阻抗良好，而且所述信号线的电压驻波比以及传输损耗也良好。
[0011]本专利技术第二方式的检查方法用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其包括如下步骤：准备具有分别与矢量网络分析仪的多个测量端口电连接的多个检查探针的第一检查夹具，使所述第一检查夹具的所述多个检查探针分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；准备具有用终端电阻终止基端侧的多个检查探针的第二检查夹具，使所述第二检查夹具的所述多个检查探针分别与所述信号线的输入端子以及输出端子中的另一方的端子接触；通过所述矢量网络分析仪分别测量所述多个印刷布线板的信号线的反射特性；以及根据所述反射特性，分别判断所述信号线的传输特性的好坏。
[0012]本专利技术第三方式的检查方法用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其包括如下步骤：准备具有分别与矢量网络分析仪的多个测量端口电连接的多个检查探针的第一检查夹具，使所述第一检查夹具的所述多个检查探针分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；在所述信号线的输入端子以及输出端子中的另一方的端子分别开放的状态下，通过所述矢量网络分析仪，分别测量所述多个印刷布线板的信号线的反射特性；根据所述反射特性，分别判断所述信号线的传输特性的好坏。
[0013]另外，在上述检查方法中，所述第一检查夹具具有第一检查探针和第二检查探针，所述检查方法还包括如下步骤：使所述第一检查探针与形成在第一产品片材上的第一印刷布线板接触；以及使所述第二检查探针与形成在第二产品片材上的第二印刷布线板接触。
[0014]本专利技术第一方式的检查装置用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其包括：具有多个测量端口的矢量网络分析仪；第一检查夹具，具有通过同轴电缆分别与所述多个测量端口电连接的多个检查探针；第二检查夹具，具有基端侧被终端电阻终止的多个检查探针；以及保持机构，保持形成有所述多个印刷布线板的产品片材，所述第一检查夹具的所述多个检查探针能够分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触，所述第二检查夹具的所述多个检查探针能够分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的另一方的端子接触，所述矢量网络分析仪分别检测所述多个印刷布线板的信号线的反射特性，并根据所述反射特性分别判断所述信号线的传输特性的好坏。
[0015]另外，在上述检查装置中，所述终端电阻可以是贴片电阻。
[0016]本专利技术第二方式的检查装置用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其包括：具有多个测量端口的矢量网络分析仪；检查夹具，具有通过同轴电缆分别与所述多个测量端口电连接的多个检查探针；保持机构，保持形成有所述多个印刷布线板的产品片材，所述检查夹具的所述多个检查探针能够分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触，所述矢量网络分析仪分别测量所述多个印刷布线板的信号线的反射特性，并根据所述反射特性分别判断所述信号线的传输特性的好坏。
[0017]在本专利技术中，可以只将信号线的输入端子或输出端子连接到矢量网络分析仪上。因此，可以高效地使用矢量网络分析仪。另外，在本专利技术中，根据由矢量网络分析仪测量的反射特性，判断信号线的传输特性的好坏。因此，不需要另外进行TDR示波器等的测量。
[0018]因此，按照本专利技术，可以提供能够高效地检查信号线的传输特性和降低检查成本的检查装置和检查方法。
附图说明
[0019]图1是表示第一实施方式的检查装置的简要结构图。
[0020]图2是表示检查夹具的检查探针的电连接关系的图。
[0021]图3是用于说明由第一实施方式的检查装置判断信号线的好坏的判断方法的图。
[0022]图4是表示第一实施方式的检查方法的流程图。
[0023]图5是表示第一实施方式的变形例的检查装置的简要结构图。
[0024]图6是表示第二实施方式的检查装置的简要结构图。
[0025]图7是表示基于由第二实施方式的检查装置测量的反射特性的特征阻抗的、时间波形的一例的图。
[0026]图8的(a)是将产品单片嵌本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种检查方法，用于检查具有信号线的印刷布线板，其特征在于，包括如下步骤：使电连接到矢量网络分析仪的测量端口上的检查探针只与所述信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；通过所述矢量网络分析仪测量所述信号线的反射特性；以及根据所述反射特性，判断所述信号线的传输特性的好坏。2.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，在用终端电阻终止所述信号线的输入端子和输出端子中的另一方的端子的状态下，执行所述测量所述信号线的反射特性。3.根据权利要求1所述的检查方法，其特征在于，在使所述信号线的输入端子和输出端子中的另一方的端子开放的状态下，执行所述测量所述信号线的反射特性。4.根据权利要求1～3中任意一项所述的检查方法，其特征在于，所述判断所述信号线的传输特性的好坏包括：当所述测量的反射特性通过进行TDR转换所得到的、所述信号线的特征阻抗在信号线区域都处于规定的范围内时，判断为不仅所述信号线的特征阻抗良好，而且所述信号线的电压驻波比以及传输损耗也良好。5.一种检查方法，用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其特征在于，包括如下步骤：准备具有分别与矢量网络分析仪的多个测量端口电连接的多个检查探针的第一检查夹具，使所述第一检查夹具的所述多个检查探针分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；准备具有用终端电阻终止基端侧的多个检查探针的第二检查夹具，使所述第二检查夹具的所述多个检查探针分别与所述信号线的输入端子以及输出端子中的另一方的端子接触；通过所述矢量网络分析仪分别测量所述多个印刷布线板的信号线的反射特性；以及根据所述反射特性，分别判断所述信号线的传输特性的好坏。6.一种检查方法，用于同时检查具有信号线的多个印刷布线板，其特征在于，包括如下步骤：准备具有分别与矢量网络分析仪的多个测量端口电连接的多个检查探针的第一检查夹具，使所述第一检查夹具的所述多个检查探针分别与所述多个印刷布线板的信号线的输入端子以及输出端子中的一方的端子接触；在所述信号线的输入端子以及输出端子中的另一方的端子分别开放的状态下，通过所述矢量网络分析仪，分别测量所述多个印刷布线板的信号线的反射特性；以及根据所述反射特性，分别判断所述信号线的传输特性的好坏。7.根据权利要求5或6所述的检查方法，其特征在于，所述第一检查夹具具有第一检查探针和第二检查探针，所述检查方法还包括如下步骤：使所述第一检查探针与形成在第一产品片材上的第一印刷布线板接触；以及使所述第二检查探针与形成在第二产品片材上的第二印刷布线板接触。8.根据权利要求5～7中任意一项所述的检查方法，其特征在于，
所述判断所述信...
【专利技术属性】
技术研发人员：松田文彦，熊谷贤司，
申请(专利权)人：日本梅克特隆株式会社，
类型：发明
国别省市：
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