一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，包括驱动电压模块、变压器和整流桥；变压器的输出端于整流桥连接；整流桥连接有LC滤波电路；电感L1的输出端上连接有电流取样电阻Ri1、分压电阻RV2和分压电阻RV1；分压电阻RV1和电容C之间设置有限流电阻RX；限流电阻RX的输出端连接高压扼流圈L2；电感L1和高压扼流圈L2上并联有保护电路，保护电路为串联的电阻和二极管。本实用新型专利技术配置有两个变压器，两个变压器单独变压后通过串联后再进行滤波，每个变压器不会出现层间高压，也不会增加绝缘层厚度，散热性能良好，不容易出现绝缘材料的热损伤，能够增加变压器长期稳定工作的时间。间。间。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源


[0001]本技术涉及供电
，具体涉及到一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源。

技术介绍

[0002]真空蒸镀设备配置有电子枪，现有技术的开关电源不能够确保电子枪在真空镀膜过程中保持大功率高稳定性的状态，容易出现功率难易提高，诱发多种故障，或者不能够进行可靠灭弧，不能够解决材料放气等其他原因引起的回路短路现象，使得生产的产品不良率较高。
[0003]现有技术中的电子枪的高压电源大多配置一个变压器，这样需要在次级线圈上绕制较多的匝数，当匝数较多时，必然需要在变压器的铁芯环上重叠绕制。
[0004]然而由于高压电的高频脉冲的破坏性极容易造成上下层出现击穿现象，因此当绕制匝数增加时，不得不增加上下层之间的绝缘层厚度来避免出现击穿现象。这种方式虽然能够满足绝缘要求，但是增加了绝缘层厚的同时也牺牲了散热性，使其在大功率工作中出现热累积效应，长期的热损伤最终会使层间绝缘性变差而出现上下层线圈出现击穿短路。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空蒸镀设备电子枪的高压电源，其特征在于，包括：驱动电压模块；驱动电压模块上具有两个变压支路；变压器，所述变压器包括第一变压器和第二变压器；所述第一变压器和第二变压器的初级线圈的输入端分别与一个变压支路连接；所述第一变压器的次级线圈的输出端与第一整流桥连接；所述第二变压器的次级线圈的输出端与第二整流桥连接；所述第一整流桥和第二整流桥串联；所述第一整流桥和第二整流桥串联后的输出端连接有LC滤波电路；所述LC滤波电路包括电感L1和电容C；第一整流桥和第二整流桥输出的正极性脉冲经过LC滤波电路将直流脉冲变为平滑的正极性直流电压；所述电感L1的输出端上连接有电流取样电阻Ri1、分压电阻RV2...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨毅，薛照明，薛海，
申请(专利权)人：成都金雅克电气有限公司，
类型：新型
国别省市：