电磁波—超声波压电晶体换能器天线制造技术

一种电磁波－超声波压电晶体换能器天线，是由在凹腔上制作覆盖凹腔的薄膜，以及在覆盖凹腔的薄膜上按照自下而上的顺序制作第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层，从而构成天线子单元，每个天线子单元上的任何一层压电薄膜，受信号激励时，产生沿着压电薄膜平面法线和平行于薄膜平面的两个方向的振动，且第一压电薄膜层和第二压电薄膜层沿法线方向上两个振动是同一方向的；并且，平行于第一压电薄膜平面的振动和平行于第二压电薄膜平面的振动其方向是相互垂直的。由多于一个天线子单元排列构成天线阵列，可以是面积和体积大小不同的多个天线子单元排列组合，也可以是面积和体积大小相同的天线子单元排列。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电磁波－超声波压电晶体换能器天线，是由在凹腔上制作覆盖凹腔的薄膜，以及在覆盖凹腔的薄膜上按照自下而上的顺序制作第一电极层、第一压电薄膜层、第二电极层、第二压电薄膜层，从而构成天线子单元，其特征是：具有天线作用的天线子单元，至少有两层压电薄膜层，至少有两层电极层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张一昉，王沼滨，
申请(专利权)人：张一昉，王沼滨，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]