一种微结构柔性压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种微结构柔性压力传感器及其制备方法，所述柔性压力传感器包括叠层设置的两个以上的压力传感层，所述压力传感层为包括纤维布基体以及沉积在所述纤维布基体表面的纳米导电材料；所述制备方法包括以下步骤：配制纳米导电材料分散液；将所述纤维布基体浸入所述纳米导电材料分散液中，通过电沉积工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面；对进行电沉积后的所述纤维布基体干燥处理，制备获得压力传感层；将两个以上的所述压力传感层叠层封装并引出电极，制备获得所述微结构柔性压力传感器。本发明专利技术提供的微结构柔性压力传感器，采用叠层设置的两个以上压力传感层，提升了微结构压力传感器的灵敏度并具有更宽的线性范围。更宽的线性范围。更宽的线性范围。

【技术实现步骤摘要】
一种微结构柔性压力传感器及其制备方法


[0001]本专利技术属于传感器
，尤其涉及一种微结构柔性压力传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]压力传感器作为现代工业制造的基础器件之一，它可以将外部环境中压力产生的刺激信号转换为可以收集的电信号。在人们的生产实践活动中可以利用压力传感器作为一种反馈装置监测各种行为，因此其广泛应用于各种领域，包括航天工程、交通运输、石油管道、海洋科考、机器检测、国防安全等多种行业。近十几年来，随着新材料、新技术、新设备等在压力传感器领域的大量应用，压力传感器的研究也逐渐向更加便捷、弯折度好、多应用场景、复杂使用条件等方向深入及展开。其中柔性压力传感器的最新进展使其在电子皮肤、人机交互、人工智能、机器人学习、智能穿戴、健康监测等领域有着广阔的使用前景。
[0003]传统的单一微结构的压力传感器，其性能往往不能满足人们的需求。它们往往在某一方面表现出比较良好的性质，例如微半圆柱结构其具有良好的灵敏度，但是又会损失一定的线性范围；又例如微金字塔结构其具有很好的线性范围，但是又会损失一定的灵敏度。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微结构柔性压力传感器，其特征在于，所述柔性压力传感器包括叠层设置的两个以上的压力传感层，所述压力传感层为包括纤维布基体以及沉积在所述纤维布基体表面的纳米导电材料。2.根据权利要求1所述的微结构柔性压力传感器，其特征在于，所述纤维布基体的厚度为400μm～600μm。3.根据权利要求1所述的微结构柔性压力传感器，其特征在于，所述纤维布基体为聚酰亚胺纤维布或碳布，所述纳米导电材料为碳纳米管或石墨烯或金属纳米颗粒。4.根据权利要求3所述的微结构柔性压力传感器，其特征在于，所述纳米导电材料为采用混合强酸溶液改性的碳纳米管或石墨烯。5.一种如权利要求1
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4任一所述的微结构柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S10、配制纳米导电材料分散液；S20、将所述纤维布基体浸入所述纳米导电材料分散液中，通过电沉积工艺使所述纳米导电材料沉积在所述纤维布基体表面；S30、对进行电沉积后的所述纤维布基体干燥处理，制备获得压力传感层；S40、将两个以上的所述压力传感层叠层封装并引出电极，制备获得所述微结构柔性压力传感器。6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩燕坤，陈明，杨春雷，张远奥，武双元，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：