飞秒激光微加工的同步监测装置制造方法及图纸

本发明专利技术适用于飞秒激光微加工技术领域，提供了一种飞秒激光微加工的同步监测装置，包括底盘、顶盘、飞秒激光器、调节组件、拉伸组件和齿轮传动组件，顶盘与底盘平行布设，通过支撑件与底盘连接；调节组件与齿轮传动组件铰接，末端安装有监测头，并在齿轮传动组件的驱动下调整监测头的摆动角度；拉伸组件设置于调节组件的末端；齿轮传动组件安装于调节组件的一端，且齿轮传动组件上设置有夹持组件，用于调整待加工件的同时控制调节组件的工作过程；本监测装置在使用的过程中，能对飞秒激光器发出的激光对待加工件的加工过程进行实时监测，通过设置齿轮传动组件带动调节组件工作，控制监测头的位置，对加工位置进行多角度全方位的实时监测。时监测。时监测。

【技术实现步骤摘要】
飞秒激光微加工的同步监测装置


[0001]本专利技术属于飞秒激光微加工
，尤其涉及一种飞秒激光微加工的同步监测装置。

技术介绍

[0002]飞秒是标衡时间长短的一种计量单位，飞秒激光是目前人类在实验室条件下所能获得最短脉冲并实现商业化应用的技术手段，由于其具有能量高度集中、热影响区小、无飞溅无熔渣、不需特殊的气体环境、无后续工艺、加工精度高等优势，因此在微结构加工应用方面和精细加工方面都取得了很大的进展。
[0003]在进行飞秒激光加工过程中需要对加工过程进行实时监测，传统的监测装置多是进行单点监测，当加工位置进行改变时不便于进行调整，导致监测的范围有限。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例的目的在于提供一种飞秒激光微加工的同步监测装置，旨在解决在飞秒激光微加工过程中监测范围小，覆盖不全面的技术问题。
[0005]本专利技术实施例是这样实现的，一种飞秒激光微加工的同步监测装置，包括底盘和飞秒激光器，还包括：
[0006]顶盘，与所述底盘平行布设，所述顶盘通过支撑件与底盘连接，且所述底盘与顶盘之间设置有通道，以便于激光对待加工件进行加工；
[0007]调节组件，所述调节组件设置于顶盘顶端，调节组件与其一端设置的齿轮传动组件铰接，且调节组件的末端安装有监测头，并在齿轮传动组件的驱动下调整监测头的摆动角度；
[0008]拉伸组件，所述拉伸组件设置于调节组件的末端，用于调节监测头在调节组件末端的位置；
[0009]齿轮传动组件，所述齿轮传动组件安装于调节组件的一端，且齿轮传动组件上均匀设置有夹持组件，用于在调整待加工件的同时控制调节组件的工作过程。
[0010]优选地，所述调节组件包括转动安装于顶盘上的固定柱、布设于固定柱侧面的侧板一和侧板二、滑动安装于侧板一和侧板二上的滑块、设置于滑块侧面的支撑杆；
[0011]所述侧板一和侧板二上开设有供所述滑块滑动的滑槽；
[0012]所述固定柱侧面安装有悬挂杆，悬挂杆上铰接有伸缩件一，且伸缩件一的自由端安装有限位块，限位块与支撑杆上开设的限位槽滑动连接。
[0013]优选地，所述拉伸组件包括滑动安装于支撑杆上的抽杆、安装于抽杆一端与限位块相配合的磁极、安装于抽杆另一端的弹性件一；
[0014]所述限位块中内置与磁极磁性相斥的磁极二；
[0015]所述监测头安装于抽杆上并与支撑杆末端开设的槽滑动连接。
[0016]优选地，所述齿轮传动组件包括安装于侧板一和侧板二自由端的内齿圈、与所述
内齿圈啮合的主动轮、与主动轮啮合的外齿圈；
[0017]所述外齿圈与待加工件同轴心布设。
[0018]优选地，所述主动轮通过传动轴与外置的电机传动连接。
[0019]优选地，所述夹持组件包括等角度分布于外齿圈内部的套筒、与套筒滑动连接的导向杆、安装于导向杆一端的夹爪；
[0020]所述导向杆上套设有弹性件二，所述弹性件二的两端分别与套筒和夹爪连接。
[0021]优选地，所述夹爪的工作面上设置有防护层，防护层由橡胶材料制成。
[0022]本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置，本监测装置在使用的过程中，能对飞秒激光器发出的激光对待加工件的加工过程进行实时监测，通过设置齿轮传动组件带动调节组件工作，控制监测头的位置，对加工位置进行多角度全方位的实时监测。
附图说明
[0023]图1为本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置的结构示意图；
[0024]图2为本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置中调节组件的结构示意图；
[0025]图3为本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置中拉伸组件的结构示意图；
[0026]图4为本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置中齿轮传动组件的结构示意图；
[0027]图5为图1中A处局部放大图；
[0028]图6为本专利技术实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置中夹爪的立体结构图。
[0029]附图中：1、底盘；2、顶盘；3、飞秒激光器；4、通道；5、支撑件；6、待加工件；7、固定柱；8、侧板一；9、侧板二；10、滑槽；11、滑块；12、支撑杆；13、限位槽；14、限位块；15、悬挂杆；16、伸缩件一；17、抽杆；18、磁极；19、监测头；20、弹性件一；21、主动轮；22、外齿圈；23、内齿圈；24、传动轴；25、套筒；26、导向杆；27、弹性件二；28、夹爪；100、调节组件；200、拉伸组件；300、夹持组件；400、齿轮传动组件。
具体实施方式
[0030]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0031]以下结合具体实施例对本专利技术的具体实现进行详细描述。
[0032]如图1
‑
6所示，为本专利技术的一个实施例提供的一种飞秒激光微加工的同步监测装置的结构图，包括底盘1、顶盘2、飞秒激光器3、调节组件100、拉伸组件200和齿轮传动组件400，所述顶盘2与所述底盘1平行布设，通过支撑件5与底盘1连接，且所述底盘1与顶盘2之间设置有通道4，以便于激光对待加工件6进行加工；所述调节组件100设置于顶盘2顶端，调节组件100与其一端设置的齿轮传动组件400铰接，且调节组件100的末端安装有监测头19，
并在齿轮传动组件400的驱动下调整监测头19的摆动角度；所述拉伸组件200设置于调节组件100的末端，用于调节监测头19在调节组件100末端的位置；所述齿轮传动组件400安装于调节组件100的一端，且齿轮传动组件400上均匀设置有夹持组件300，用于在调整待加工件6的同时控制调节组件100的工作过程。
[0033]在本实施例具体实施的过程中，本监测装置在使用的过程中，能对飞秒激光器3发出的激光对待加工件6的加工过程进行实时监测，通过设置齿轮传动组件400带动调节组件100工作，控制监测头19的位置，对加工位置进行多角度全方位的实时监测。
[0034]在本专利技术的一个实例中，本申请中所述监测头19的数量依据监测的需求进行调整，工作时通过夹持组件300完成对待加工件6位置的固定，飞秒激光器3工作，需要调整加工位置时，外接的电机工作带动齿轮传动组件400工作，改变待加工件6的位置，同时调整调节组件100的倾斜角度，进而带动调节组件100工作，配合拉伸组件200对监测头19的位置进行调整。
[0035]如图1和图2所示，作为本专利技术的一种优选实施例，所述调节组件100包括转动安装于顶盘2上的固定柱7、布设于固定柱7侧面的侧板一8和侧板二9、滑动安装于侧板一8和侧板二9上的滑块11、设置于滑块11侧面的支撑杆12；
[0036]所述侧板一8和侧板二9上开设有供所述滑块11滑动的滑槽10；
[0037]所述固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光微加工的同步监测装置，包括底盘和飞秒激光器，其特征在于，还包括：顶盘，与所述底盘平行布设，所述顶盘通过支撑件与底盘连接，且所述底盘与顶盘之间设置有通道，以便于激光对待加工件进行加工；调节组件，所述调节组件设置于顶盘顶端，调节组件与其一端设置的齿轮传动组件铰接，且调节组件的末端安装有监测头，并在齿轮传动组件的驱动下调整监测头的摆动角度；拉伸组件，所述拉伸组件设置于调节组件的末端，用于调节监测头在调节组件末端的位置；齿轮传动组件，所述齿轮传动组件安装于调节组件的一端，且齿轮传动组件上均匀设置有夹持组件，用于在调整待加工件的同时控制调节组件的工作过程。2.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述调节组件包括转动安装于顶盘上的固定柱、布设于固定柱侧面的侧板一和侧板二、滑动安装于侧板一和侧板二上的滑块、设置于滑块侧面的支撑杆；所述侧板一和侧板二上开设有供所述滑块滑动的滑槽；所述固定柱侧面安装有悬挂杆，悬挂杆上铰接有伸缩件一，且伸缩件一的自由端安装有限位块，限位块与支撑杆上开设的限位槽滑动连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：和万霖，
申请(专利权)人：西安石油大学，
类型：发明
国别省市：