一种自动升降扫描电镜样品座系统技术方案

本发明专利技术公开了一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座，所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽，所述动力腔内设有驱动电机，所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆，所述升降槽内设有支撑块，所述升降槽与支撑块之间设有限位机构，所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接，所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽。本发明专利技术通过设置支撑机构与啮合机构，在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动，从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定，避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能，装置整体结构合理巧妙，赋予装置科技感也提高了装置的功能性。技感也提高了装置的功能性。

【技术实现步骤摘要】
一种自动升降扫描电镜样品座系统


[0001]本专利技术涉及扫描电镜
，尤其涉及一种自动升降扫描电镜样品座系统。

技术介绍

[0002]扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的，它具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统，扫描电镜的景深比较大，成像富有立体感，所以它特别适用于粗糙样品表面的观察和分析。
[0003]样品座是与扫描电镜配合同步使用的工具，适用于对样品进行夹持固定的工具，现有的样品座多是一个块状物中间设有用于放置样品的放置孔，将块状物与样品台表面固定连接，利用放置孔来实现对样品的支撑，在样品座表面设有螺栓，转动螺栓使其端部挤压在样品外壁从而达到挤压固定的目的，这种设备结构简单，螺栓挤压固定的方式虽然较为方便，但是长期暴露在外面容易生锈，生锈会影响到样品已寄螺栓本体。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0006]一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座，所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽，所述动力腔内设有驱动电机，所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆，所述升降槽内设有支撑块，所述升降槽与支撑块之间设有限位机构，所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接，所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽，所述支撑块上设有多个活动槽，多个所述活动槽内均设有固定杆，所述固定杆通过支撑机构与活动槽连接，所述升降槽内壁设有多个凹槽，所述固定杆通过啮合机构与凹槽连接，所述固定杆上设有转动槽，所述转动槽一侧内壁设有调节槽，所述调节槽内转动连接有第二螺纹杆，所述固定杆侧方设有与第二螺纹杆连接的转盘，所述调节槽内设有挤压杆，所述挤压杆通过调节机构与第二螺纹杆连接，所述挤压杆端部设有挤压槽，所述挤压槽内设有活动块，所述活动块通过挤压机构与挤压槽连接，所述挤压杆内设有多个挤压腔，多个所述挤压腔内均设有卡杆，所述卡杆通过弹性机构与挤压腔连接。
[0007]优选地，所述限位机构包括多个固定于支撑块外壁的限位块，所述升降槽内壁设有多条与限位块对应的限位槽。
[0008]优选地，所述连接机构包括螺纹连接于第一螺纹杆外壁的第一螺母，所述第一螺母侧壁固定有两根连接杆，两根所述连接杆滑动贯穿移动腔上内壁，两根所述连接杆端部均与支撑块底壁固定连接。
[0009]优选地，所述支撑机构包括固定于固定杆端部的转块，所述转块两侧外壁均固定有支撑杆，两根所述支撑杆端部均与活动槽内壁转动连接。
[0010]优选地，所述啮合机构包括固定于凹槽内壁的齿条，所述转块外壁设有齿圈，所述齿圈与齿条啮合。
[0011]优选地，所述调节机构包括螺纹连接于第二螺纹杆外壁的第二螺母，所述第二螺母与调节槽均为巨型，所述第二螺母外壁与调节槽内壁滑动连接，所述挤压杆两侧均转动连接有衔接块，所述衔接块端部与第二螺母外壁转动连接。
[0012]优选地，所述挤压机构包括与挤压槽内壁弹性连接的第一弹簧，所述第一弹簧端部与活动块端部相抵。
[0013]优选地，所述弹性机构包括固定于卡杆外壁的固定环，所述固定环与挤压腔上内壁之间弹性连接有第二弹簧，所述挤压杆外壁设有与卡杆配合的拖拽槽，所述活动块上端面设有与卡杆配合的卡槽。
[0014]本专利技术的有益效果：
[0015]1、通过设置驱动电机、限位机构与连接机构，能利用驱动电机带动第一螺纹杆转动，第一螺纹杆转动的时候可以利用两根连接杆带动支撑块在升降槽内完成升降功能，从而带动样品进行升降便于取出与固定，同时限位块与限位槽能保证支撑块升降时候的稳定性。
[0016]2、通过设置支撑机构与啮合机构，在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动，从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定，避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能，装置整体结构合理巧妙，赋予装置科技感也提高了装置的功能性。
[0017]3、通过设置挤压机构与保护垫，能利用第一弹簧提供弹性缓冲，从而避免对样品过分夹持，从而避免将样品损坏，橡胶材质的保护垫能增强保护性。
[0018]4、通过设置卡杆与弹性机构，能利用卡杆对活动块进行限位，避免其与挤压腔发生脱离，同时拽动卡杆即可使其与活动块分离，从而对活动块以及保护垫进行更换，可以根据样品的外形选择相应形状的活动块以及保护垫进行夹持固定，提高了装置的实用性。
附图说明
[0019]图1为本专利技术提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统的连接机构结构示意图；
[0020]图2为本专利技术提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统的A处结构放大示意图；
[0021]图3为本专利技术提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统的B处结构放大示意图；
[0022]图4为本专利技术提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统的调节机构结构示意图；
[0023]图5为本专利技术提出的一种自动升降扫描电镜样品座系统的支撑块俯视结构示意图。
[0024]图中：1支撑座、2动力腔、3驱动电机、4移动腔、5第一螺纹杆、6第一螺母、7连接杆、8升降槽、9支撑块、10凹槽、11齿条、12活动槽、13转块、14支撑杆、15固定杆、16限位槽、17转动槽、18转盘、19调节槽、20第二螺纹杆、21挤压杆、22衔接块、23挤压槽、24第一弹簧、25活动块、26保护垫、27卡槽、28卡杆、29挤压腔、30固定环、31第二弹簧、32第二螺母、33限位块。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]参照图1
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5，一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座1，支撑座1底壁内设有动力腔2、移动腔4与升降槽8，动力腔2内设有驱动电机3，移动腔4内转动连接有与驱动电机3连接的第一螺纹杆5，升降槽8内设有支撑块9，升降槽8与支撑块9之间设有限位机构，限位机构包括多个固定于支撑块9外壁的限位块33，升降槽8内壁设有多条与限位块33对应的限位槽16，在支撑块9上升阶段通过限位块33与限位槽16配合保证稳定性，避免齿圈与齿条11之间出现不稳定性。
[0028]支撑块9通过连接机构与第一螺纹杆5连接，连接机构包括螺纹连接于第一螺纹杆5外壁的第一螺母6，第一螺母6侧壁固定有两根连接杆7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动升降扫描电镜样品座系统，包括支撑座(1)，其特征在于，所述支撑座(1)底壁内设有动力腔(2)、移动腔(4)与升降槽(8)，所述动力腔(2)内设有驱动电机(3)，所述移动腔(4)内转动连接有与驱动电机(3)连接的第一螺纹杆(5)，所述升降槽(8)内设有支撑块(9)，所述升降槽(8)与支撑块(9)之间设有限位机构，所述支撑块(9)通过连接机构与第一螺纹杆(5)连接，所述支撑块(9)上端面设有用于放置样品的放置槽，所述支撑块(9)上设有多个活动槽(12)，多个所述活动槽(12)内均设有固定杆(15)，所述固定杆(15)通过支撑机构与活动槽(12)连接，所述升降槽(8)内壁设有多个凹槽(10)，所述固定杆(15)通过啮合机构与凹槽(10)连接，所述固定杆(15)上设有转动槽(17)，所述转动槽(17)一侧内壁设有调节槽(19)，所述调节槽(19)内转动连接有第二螺纹杆(20)，所述固定杆(15)侧方设有与第二螺纹杆(20)连接的转盘(18)，所述调节槽(19)内设有挤压杆(21)，所述挤压杆(21)通过调节机构与第二螺纹杆(20)连接，所述挤压杆(21)端部设有挤压槽(23)，所述挤压槽(23)内设有活动块(25)，所述活动块(25)通过挤压机构与挤压槽(23)连接，所述挤压杆(21)内设有多个挤压腔(29)，多个所述挤压腔(29)内均设有卡杆(28)，所述卡杆(28)通过弹性机构与挤压腔(29)连接。2.根据权利要求1所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统，其特征在于，所述限位机构包括多个固定于支撑块(9)外壁的限位块(33)，所述升降槽(8)内壁设有多条与限位块(33)对应的限位槽(16)。3.根据权利要求2所述的一种自动升降扫描电镜样品座系统，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵曼，朱振华，
申请(专利权)人：上海磊微科学仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：