开关线型移相器制造技术

一种微机电技术领域的开关线型移相器。本发明专利技术移相器由一段叉指式共面波导传输线、一段普通共面波导传输线、ＭＥＭＳ开关、开关馈线以及介质衬底组成，叉指式共面波导传输线、共面波导传输线、ＭＥＭＳ开关、开关馈线都设在介质衬底上，叉指式共面波导传输线和共面波导传输线并行，构成了开关线型移相器的两条传输路径，开关馈线与ＭＥＭＳ开关相连，用以控制ＭＥＭＳ开关的接通与断开，外界信号通过ＭＥＭＳ开关以及开关馈线控制选择接通其中的一条传输路径。本发明专利技术采用叉指式共面波导传输线和普通共面波导传输线作为开关线型移相器的传输路径，可以有效减小移相器整体尺寸，布线简单，通过调整共面波导传输线的结构参数可以得到低的插入损耗。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电
的器件，具体的说，是涉及一种开关线型移相器。
技术介绍
微波移相器是通讯和雷达技术上的重要元件，基本类型主要有开关线型、加载线型和反射型等，其中开关线型是最简单的结构形式，它是利用开关选择不同的传输路径，利用不同传输路径的电长度不同来产生相移的。为了进一步提高移相器的性能，在微机械加工技术发展的基础上，人们采MEMS开关替代传统形式的开关，设计出了很多种新型的开关线型移相器，其中大多数设计都是采用微带线作为传输路径的，也有采用普通共面波导传输线做传输路径的。经过对现有技术的文献检索发现，Guan-Leng Tan等在IEEE Transactionson Microwave Theory and Techniques(《电气和电子工程师协会微波理论与技术学报》)上发表的文章“Low-loss 2-and 4-bit TTD MEMS phase shiftersbased on SP4T switches”(基于单刀四掷开关的低损耗2位和4位实时延迟MEMS移相器)，在该文中采用微带线作为信号传输线，用单刀四掷开关作为开关元件设计制作出了四位开关线型本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种开关线型移相器，包括：一段叉指式共面波导传输线（１）、一段普通共面波导传输线（２）、ＭＥＭＳ开关（３）、开关馈线（４）以及介质衬底（５），其特征在于，叉指式共面波导传输线（１）、共面波导传输线（２）、ＭＥＭＳ开关（３）、开关馈线（４）都设置介质衬底（５）上，叉指式共面波导传输线（１）和共面波导传输线（２）并行，构成了开关线型移相器的两条传输路径，开关馈线（４）与ＭＥＭＳ开关（３）相连，外界信号通过ＭＥＭＳ开关（３）以及开关馈线（４）控制选择接通其中的一条传输路径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桂甫，孙晓峰，张丹，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]