一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构制造技术

本发明专利技术涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂。本发明专利技术的有益效果是：该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，在现有的基础上进行改进，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。提高拉晶产能。提高拉晶产能。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构


[0001]本专利技术涉及单晶硅加工
，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。

技术介绍

[0002]电子元件的生产需要使用到单晶硅材料，单晶硅材料在生产的过程中需要进行拉晶步骤，拉晶的过程中，则需要使用到隔离阀对原料的落料进行控制，保证晶体的成型效果，现有的一些单晶硅晶体生产用隔离阀机构在使用时还存在一些缺陷。
[0003]现有的阀腔为方形结构，占用炉盖上面空间较大，不利于设备整体布局，随着晶棒规格逐步增大，对阀腔的内径尺寸也越来越大，若仍采用方形腔体，其所占空间较大，设备结构变得松散，从而使设备安装所需空间变得更大，而且现有的单晶硅隔离阀在使用时，不能对装置整体进行准确定位，也不能对隔离阀进行多个支点的稳定固定，稳定性较差，也不便于后续进行对中工作。

技术实现思路

[0004]本专利技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，来解决上述中提到的现有的隔离阀在使用时不能对装置整体进行准确定位，而且不便于后续进行对中工作的问题。
[0005]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，其特征在于，包括前阀体（1）、后阀体（2）、阀板（3）、第一驱动气缸（7）、第二驱动气缸（11）和外壳（19），所述前阀体（1）的侧面固定安装有后阀体（2），前阀体（1）的内部安装有阀板（3），前阀体（1）的上方固定安装有真空接口（16），前阀体（1）和后阀体（2）之间安装有锁紧套（17），前阀体（1）的前端固定安装有检测视窗（18），所述阀板（3）的侧面固定设置有阀臂（4），阀臂（4）的表面安装有阀轴锁紧环（5），阀轴锁紧环（5）的上方安装有阀轴安装座（6），所述阀轴安装座（6）的底端固定设置有密封法兰套（15），阀轴安装座（6）的左侧连接有第一驱动气缸（7），第一驱动气缸（7）的前端转动安装有升降杠杆（8），升降杠杆（8）的内部设置有旋片阀轴（9），旋片阀轴（9）的顶部固定安装有旋转臂（10），旋转臂（10）的前端连接有第二驱动气缸（11），所述升降杠杆（8）的侧面安装有杠杆支架（12），升降杠杆（8）的前端连接有提升把手（13），第二驱动气缸（11）的前端安装有气缸支架（14），所述外壳（19）的内部活动安装有用于固定前阀体（1）和后阀体（2）的内接板（20），外壳（19）顶部的四周固定安装有支柱（37）。2.根据权利要求1所述的单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，其特征在于，所述内接板（20）的表面固定安装有连接环（21），所述连接环（21）的表面开设有螺孔（22），所述螺孔（22）在连接环（21）的表面等角度分布，螺孔（22）的内部螺纹安装有螺栓（23），内接板（20）的中间设置有圆形开口，内接板（20）中间的圆形开口上固定连接有第二牵引钢绳（32）,内接板（20）的表面固定安装有支撑杆（29），支撑杆（29）的前端固定连接有固定环（38）。3.根据权利要求2所述的单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，其特征在于，所述螺栓（23）的中间固定设置有轴承（25），轴承（25）的内部固定安装有内杆（24），内杆（24）通过轴承（25）与螺栓（23）之间构成转动结构，所述螺栓（23）的左右两侧均固定安装有转柄（26）。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹嘉琦，李欢，辛珊，江佳飞，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：