一种声表面波谐振器及声表面波滤波器制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，声表面波谐振器包括：压电层、介质层和电极层；介质层位于压电层上；电极层位于介质层远离压电层的一侧，电极层包括叉指换能器；声表面波谐振器的带宽随介质层的厚度增大而减小。本实用新型专利技术实施例的技术方案通过改进声表面波谐振器的结构实现其带宽的可调性，进而可以实现声表面波滤波器的带宽可调性，同时还可以实现声表面波滤波器的小型化，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器及声表面波滤波器


[0001]本技术实施例涉及通信
，尤其涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。

技术介绍

[0002]随着通信技术从2G发展至5G，通信频段数目逐步增加(从2G的4个频段上升到5G的50余个频段)。为了提高智能手机对不同通信制式的兼容能力，5G智能手机所需要的滤波器用量将显著上升，推动滤波器市场大规模增长。目前无线通信终端中广泛应用的射频滤波器是声表面波(surface acoustic wave，SAW)滤波器(简称SAW滤波器)，负责接收和发射通道的射频信号，将输入的多种射频信号中特定频率的信号输出。同时，随着移动通讯技术的持续发展和射频前端模组化发展，市场对滤波器的需求趋向复杂化，高端化，小型化。
[0003]目前常用的调节SAW滤波器的带宽的方法是在声表面波谐振器的两端并联电容，通过调节电容的大小来调节滤波器的带宽。但目前市场对滤波器的需求趋于小型化，该方法由于电容本身占面积，不利于SAW滤波器的小型化，还会增加成本。

技术实现思路

[0004]本技术实施例提供一种声表面波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电层；介质层，位于所述压电层上；电极层，位于所述介质层远离所述压电层的一侧；所述电极层包括叉指换能器；所述声表面波谐振器的带宽随所述介质层的厚度增大而减小。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述介质层的材料包括SiO2、Al2O3、AIN、Si3N4和MgO中的任一种。3.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述介质层的厚度为5nm～50nm。4.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，还包括：温度补偿层，位于所述电极层远离所述压电层的一侧；保护层，位于所述温度补偿层远离所述压电层的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋崇希，王放，姚艳龙，邱鲁岩，
申请(专利权)人：江苏卓胜微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：