一种阳极层离子源工况下的线材处理装置制造方法及图纸

本申请涉及一种真空处理设备，尤其是涉及一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，其技术方案要点是：一种阳极层离子源工况下的线材处理装置包括离子源，离子源上开设有环形跑道形状的有效工作区域；还包括两个能够围绕自身轴线定轴转动的线辊，两个线辊分别设置在有效工作区域的长度方向的两端；线材缠绕在两个线辊之间，且线材的位于两线辊之间的至少一个线段与有效工作区域的其中一个直线段部分重合；达到了提高离子源的有效利用率的目的。达到了提高离子源的有效利用率的目的。达到了提高离子源的有效利用率的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种阳极层离子源工况下的线材处理装置


[0001]本申请涉及一种真空处理设备，尤其是涉及一种阳极层离子源工况下的线材处理装置。

技术介绍

[0002]在镀膜设备中，经常配置阳极层离子源（下文简称：离子源），用于镀膜前对基板的预清洗、优化界面并提高靶材的结合力。
[0003]相关技术中记载的一种平板式镀膜设备，参照图1，包括固定在真空腔室1上的离子源2、平行于离子源2设置的载板3以及用于驱动载板3移经离子源2的传输机构，基板固定在载板3上；离子源2上的有效工作区域4为一个跑道形的环状区域，传输机构驱使载板3经过有效工作区域4，进而实现离子源2对载板3上基片的轰击以及刻蚀。
[0004]但在最近的市场应用中，出现了对线材6（或带状、条状工件）的镀膜需求，相应的也产生了镀膜前对线材6进行离子源清洗的需求；参照图2，相关技术中的一种对线材6进行离子源清洗的方法为，利用相关技术中的平板式镀膜设备，使单根或多根线材6在传输机构的驱动作用下在平行于离子源2的表面沿垂直于有效工作区域4的长度方向经过有效工作区域4，进而实现对线材6的单面即线材6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，包括离子源(2)，离子源(2)上开设有环形跑道形状的有效工作区域(4)；其特征在于：还包括两个能够围绕自身轴线定轴转动的线辊(5)，两个线辊(5)分别设置在有效工作区域(4)的长度方向的两端；线材(6)缠绕在两个线辊(5)之间，且线材(6)的位于两线辊(5)之间的至少一个线段与有效工作区域(4)的其中一个直线段部分重合。2.根据权利要求1所述的一种阳极层离子源工况下的线材处理装置，其特征在于：线材(6)在两个线辊(5)之间往复缠绕并在两个线辊(5)之间形成两条清洗线段(61)，两条清洗线段(61)之间存在过渡线段(62)，至少一个清洗线段(61)与有效工作区域(4)的其中一个直线段部...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：