人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置制造方法及图纸

一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，包括托板和夹具，所述托板设置在夹具中，托板上设有若干均匀分布的芯片槽，托板顶面设有反光层，所述反光层顶面为镜反射面，托板侧面设有至少一个夹取部，所述夹具包括定位板和设置在定位板两侧的暗场灯，所述暗场灯为直射光，暗场灯照射光线到托板表面的入射角为5~10

【技术实现步骤摘要】
人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置


[0001]本技术涉及芯片表面缺陷检测
，特别涉及一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置。

技术介绍

[0002]目前，在对数字图像分割的研究中，其主要工作是集中在对分割方法的研究，借助各种理论知识，图像分割方法已有上千种之多，而且新的方法还在不断地涌现，由此可显示出图像分割的重要性，同时也说明尚无普适的分割理论，没有一种分割方法适合所有图像。
[0003]图像分割的基本方法主要有：阈值分割方法、基于边缘的分割方法、区域的生长与分裂合并的方法、分类和聚类的分割方法、基于随机场的分割方法以及基于数学形态学的分割方法等；人工免疫算法主要包括：基于免疫特异性的否定选择算法、基于克隆选择学说的克隆算法、基于免疫网络学说的人工免疫网络模型等，而针对数字图像处理领域中的重要且关键的图像分割问题，应用免疫克隆选择优化的智能信息处理手段设计新的图像分割方法，可以解决了图像分割中存在的一些问题，在现有光照设备下，芯片表面缺陷表达不明显，限制了该方法的实施。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，可显著增强芯片表面缺陷图像的呈现效果。
[0005]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0006]一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，包括托板和夹具，所述托板设置在夹具中，能与夹具可拆卸连接，托板上设有若干均匀分布的芯片槽，所述芯片槽的数量惯用为四的整数倍，托板顶面设有反光层，所述反光层顶面为镜反射面，反光层可以为塑料表面的电镀层，托板侧面设有至少一个用于机械手作业的夹取部，夹具包括定位板和设置在定位板两侧的暗场灯，所述暗场灯发出的光线是直射光，暗场灯照射光线与托板表面的入射角为5~10
°
，所述芯片槽内放置有芯片，所放置的芯片上表面与反光层顶面齐平。
[0007]相较于现有技术，本技术具有以下有益效果：
[0008]本技术提供的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置中，托板顶部与芯片表面齐平，使得小角度的入射光照射在芯片表面缺陷处产生的特定角度折射光进入相机多，因此在采集的图像中缺陷表达尤为明显，而传统的托板表面不平、阴影等问题会增加算法处理难度；通过机器视觉处理图像信息时，也不同于传统逐一拍摄芯片图像的方法，可一次拍摄托板内所有芯片，反光层处图像边界显著，便于机器识别，提高作业效率。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例
或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0010]图1为本技术的结构示意图。
[0011]图2为本技术托板的结构示意图。
[0012]图3为图2中A区域的放大图。
[0013]图4为本技术夹具的结构示意图。
[0014]图5为本技术暗场灯照射的原理图。
[0015]图6为本技术在明场漫射光和暗场灯光照下的图像采集效果图。
[0016]图7为本技术的使用状态图。
[0017]图中1.托板，11.芯片槽，111.突触，12.反光层，13.夹取部，131.插槽，14.编码槽，141.编码，15.支撑部，16.支撑槽，2.夹具，21.定位板，211.插头，212.限位块，22.灯座，221.暗场灯，3.芯片，4.相机，5.漫射灯。
具体实施方式
[0018]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。
[0019]如图1至图5所示，一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，包括托板1和夹具2，所述托板1设置在夹具2中，托板1上设有若干均匀分布的芯片槽11，每行芯片槽11的数量为四的整数倍，与自动化设备上的吸嘴数量成倍数关系，芯片槽11内壁设有若干突触111，所述突触111抵在芯片3的侧面使芯片3固定，托板1顶面设有反光层12，反光层12为电镀的金属涂层，反光层12顶面为镜反射面，托板1侧面设有至少一个夹取部13，夹取部13的侧面设有便于机械手插取作业的插槽131, 夹取部13的顶部设有编码槽14，编码槽14内设有编码141，所述编码141顶面与反光层12顶面齐平, 编码141顶部为漫反射材质，在图像中亮度与芯片3金属表面缺陷亮度相近，用于机器视觉自动化处理图片中的分类存储。
[0020]所述夹具2包括定位板21和设置在定位板21两侧的暗场灯221，定位板21上设有插头211，所述插头211与暗场灯221电连接，所述暗场灯221为直射光，暗场灯221照射光线与托板1表面的入射角为5~10
°
，暗场灯221选用蓝色LED灯，所述芯片槽11内放置的芯片3与反光层12顶面齐平，在暗场灯221的照射下托板1顶面形成明亮的边界线，将所有芯片3分割成独立区域。
[0021]为了便于机械自动化作业，托板1底部设有若干支撑部15，托板1顶部设有若干与支撑部15适配的支撑槽16，所述支撑槽16的深度小于支撑部15的高度，这样托板1可以堆叠，上层托板1不会刮伤下层托板1中的芯片3。
[0022]为了定位托板1位置，在定位板21上设有若干限位块212，若干所述限位块212围绕约束托板1水平面的自由度，限位块212的高度至少为四个托板1的高度，便于托板1堆叠的自动化作业。
[0023]如图6和7所示，芯片3上表面的金属部和托板1顶面的反光层12在前向光漫射灯5照射下图像较为明亮，而芯片3上表面塑料部则暗；另外在暗场灯221的照射下芯片3上表面的缺陷有更多特定角度的漫反射光进入相机4，因此芯片3上表面缺陷处图像更为明亮，编码141亦然。
[0024]以上所述，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，包括托板（1）和夹具（2），其特征在于，所述托板（1）设置在夹具（2）中，托板（1）上设有若干均匀分布的芯片槽（11），托板（1）顶面设有反光层（12），所述反光层（12）顶面为镜反射面，托板（1）侧面设有至少一个夹取部（13），所述夹具（2）包括定位板（21）和设置在定位板（21）两侧的暗场灯（221），所述暗场灯（221）为直射光，暗场灯（221）照射光线与托板（1）表面的入射角为5~10
°
，所述芯片槽（11）内放置有芯片（3），所放置的芯片（3）上表面与反光层（12）顶面齐平。2.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，其特征在于，所述芯片槽（11）内壁设有若干突触（111），所述突触（111）抵在芯片（3）的侧面使其固定。3.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，其特征在于，所述夹取部（13）的侧面设有插槽（131）。4.根据权利要求1所述的人工免疫图像分割技术检测芯片表面缺陷的定位装置，其特征在于，所述夹取部（13）的顶部设有编码槽（14），编码槽（14）内设有编码（14...

【专利技术属性】
技术研发人员：周小军，谭薇，
申请(专利权)人：周小军，
类型：新型
国别省市：