用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统制造方法及图纸

本揭露涉及一种用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统。所述用于测量环境静电的装置包括静电计、导电板及切换器。所述静电计包括传感器。所述导电板相距所述静电计一定距离设置且对准所述静电计的所述传感器。所述切换器与所述导电板电连接。所述切换器与所述导电板电连接。所述切换器与所述导电板电连接。

【技术实现步骤摘要】
用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统


[0001]本揭露涉及一种用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统，尤其用于解决半导体工艺中的静电放电(electrostatic discharge)的问题。

技术介绍

[0002]静电放电(electrostatic discharge，ESD)是造成大多数的电子元件或电子系统故障与损坏的主要因素。静电放电的产生多是由于人为因素所形成，但又很难避免。例如电子元件或系统在制造、生产、组装、测试、存放和搬运等的过程中，静电会累积在人体、仪器及储放设备等之中，甚至在电子元件本身也会累积静电，而人们在不知情的情况下，使这些物体相互接触，因而形成了放电路径，使得电子元件或系统遭到静电放电的破坏。这种破坏会导致半导体元件以及计算机系统等形成一种永久性的毁坏，因而影响电子元件或系统功能，而使得电子产品工作不正常。
[0003]半导体工厂常见的静电放电(ESD)种类有人体模型(HBM)、机器模型(MM)、充电装置模型(CDM)，也就是环境(无尘室较干燥干净的空气输送)、机台与工作人员，都会因摩擦起电而产生ESD。
[0004]先进工艺技术制造的芯片电路中的栅极氧化层较薄(例如GAA)，以致于在相同电压条件下所造成的电场强度更强，使得栅极氧化层更容易受到损坏。这也是为何元件尺寸下降的同时，静电防护能力也会随之下滑，还有封装(bonding)的元件密度提高，这些对于静电放电(ESD)所带来的威胁越发不可小觑。

技术实现思路

[0005]在一些实施例当中，本揭露提供一种用于测量环境静电的装置，其包括静电计、导电板及切换器。所述静电计包括传感器，所述导电板相距所述静电计一定距离设置且大致对准所述静电计的所述传感器，而所述切换器与所述导电板电连接。
[0006]在一些实施例当中，本揭露提供一种环境静电监控系统，其包括至少一用于测量环境静电的装置、一处理装置及至少一静电消除器。所述用于测量环境静电的装置包括静电计、导电板及切换器。所述静电计包括传感器，所述导电板相距所述静电计一定距离设置且大致对准所述静电计的所述传感器，而所述切换器与所述导电板电连接。所述处理装置与所述用于测量环境静电的装置的所述静电计及所述切换器连接，而所述静电消除器与所述处理装置连接。
[0007]在一些实施例当中，本揭露提供一种测量环境静电的方法，其包括：提供可用于收集环境静电的导电板，其中所述导电板与切换器相连接；操作所述切换器以使所述导电板与接地线相连接；提供与所述导电板相距一定固定距离的静电计，并使用所述静电计测量所述经切换以与所述接地线连接的导电板，以使所述静电计归零；操作所述切换器以使所述导电板呈断路状态；以及使用所述静电计测量所述导电板上的静电值。
[0008]上文已相当广泛地概述本揭露的技术特征，使得下文的本揭露详细描述得以获得
较佳了解。构成本揭露的权利要求书标的的其它技术特征将描述于下文。本揭露所属
中具有通常知识者应了解，可相当容易地利用下文公开的概念与特定实施例作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本揭露相同的目的。本揭露所属
中具有通常知识者还应了解，这类等效建构无法脱离所附权利要求书所界定的本揭露的精神和范围。
附图说明
[0009]从下列具体实施方式、连同附图将更了解本揭露的方面。应注意，根据业界的标准实务，各种特征件并未按实际比例绘制。事实上，为了清楚说明，各种特征件的尺寸可任意放大或缩小。
[0010]图1为依据本揭露实施例的用于测量环境静电的装置的构成示意图。
[0011]图2为本揭露实施例的用于测量环境静电的装置的操作流程图。
[0012]图3A及3B为本揭露实施例的静电计的操作的示意图。
[0013]图4A及4B为本揭露实施例的用于测量环境静电的装置的操作的示意图。
[0014]图5A及5B为本揭露实施例的用于测量环境静电的装置的校正的示意图。
[0015]图6为本揭露实施例的环境静电监控系统的示意图。
具体实施方式
[0016]以下揭露提供用于实施所提供标的的不同特征的诸多不同实施例或实例。下文将描述元件及布置的具体实例以简化本揭露。当然，这些仅为实例且不意在限制。例如，在以下描述中，“使第一构件形成于第二构件上方或第二构件上”可包含其中所述第一构件及所述第二构件形成直接接触的实施例，且还可包含其中额外装置可形成于所述第一构件与所述第二构件之间使得所述第一构件及所述第二构件可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各种实例中重复元件符号及/或字母。此重复旨在简化及清楚且其本身不指示所讨论的各种实施例及/或配置之间的关系。
[0017]此外，为了方便描述，可在本文中使用空间相对术语(例如“下面”、“下方”、“下”、“上方”、“上”、“上面”等)来描述一元件或装置与另一(些)元件或装置的关系，如图中所绘示。除图中所描绘的定向之外，空间相对术语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同定向。设备可依其它方式定向(旋转90度或依其它定向)，且还可据此解译本文中所使用的空间相对描述词。
[0018]如本文中所使用，例如“第一”、“第二”及“第三”的术语描述各种元件、组件、区域、层及/或区段，这些元件、组件、区域、层及/或区段不应受限于这些术语。这些术语可仅用于使元件、组件、区域、层或区段彼此区分。除非内文清楚指示，否则本文中所使用的例如“第一”、“第二”及“第三”的术语不隐含一序列或顺序。
[0019]如本文中所使用，术语“大致”、“大体上”、“大体”及“约”用于描述及解释小变动。当结合一事件或状况使用时，术语可涉及其中精确发生所述事件或状况的例项以及其中非常近似发生所述事件或状况的例项。例如，当结合数值使用时，术语可涉及小于或等于所述数值的
±
10％的变动范围，例如小于或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％，或小于或等于
±
0.05％。例如，如果两个数值之间的差小于或等于所述值的平均值的
±
10％(例如小于
或等于
±
5％、小于或等于
±
4％、小于或等于
±
3％、小于或等于
±
2％、小于或等于
±
1％、小于或等于
±
0.5％、小于或等于
±
0.1％，或小于或等于
±
0.05％)，那么所述值可被视为“大体上”相同或相等。例如，“大体上”平行可涉及小于或等于
±
10
°
的相对于0
°
的角变动范围，例如小于或等于
±5°
、小于或等于
±4°
、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测量环境静电的装置，其包括：静电计，其具有传感器；导电板，其相距所述静电计一定距离设置且对准所述静电计的所述传感器；以及切换器，其与所述导电板电连接。2.根据权利要求1所述的用于测量环境静电的装置，其中所述切换器进一步与接地线及与特定电压连接。3.根据权利要求2所述的用于测量环境静电的装置，其中所述切换器为三通开关，其经布置以使所述导电板被切换成与所述接地线电连接，或使所述导电板被切换成与所述特定电压连接，或使所述导电板被切换成与所述接地线及所述特定电压形成断路。4.根据权利要求1所述的用于测量环境静电的装置，其进一步包括固定板，其中所述固定板与所述导电板及所述静电计相连接。5.一种环境静电监控系统，其包括：至少一用于测量环境静电的装置，其包括：静电计，其具有传感器；导电板，其相距所述静电计一定距离设置且大致对准所述静电计的所述传感器；以及切换器，其与所述导电板电连接；处理装置，其与所述静电计及所述切换器连接；以及至少一静电消除器，其与所述处理装置相连接。6.根据权利要求5所述的环境静电监控系统，其中所述切换器进一步与接地...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖意中，郭启文，于淳，庄子寿，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：