用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统制造方法及图纸

本揭露涉及一种用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统。所述用于测量环境静电的装置包括静电计、导电板及切换器。所述静电计包括传感器。所述导电板相距所述静电计一定距离设置且对准所述静电计的所述传感器。所述切换器与所述导电板电连接。所述切换器与所述导电板电连接。所述切换器与所述导电板电连接。

【技术实现步骤摘要】
用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统


[0001]本揭露涉及一种用于测量环境静电的装置及方法与环境静电监控系统，尤其用于解决半导体工艺中的静电放电(electrostatic discharge)的问题。

技术介绍

[0002]静电放电(electrostatic discharge，ESD)是造成大多数的电子元件或电子系统故障与损坏的主要因素。静电放电的产生多是由于人为因素所形成，但又很难避免。例如电子元件或系统在制造、生产、组装、测试、存放和搬运等的过程中，静电会累积在人体、仪器及储放设备等之中，甚至在电子元件本身也会累积静电，而人们在不知情的情况下，使这些物体相互接触，因而形成了放电路径，使得电子元件或系统遭到静电放电的破坏。这种破坏会导致半导体元件以及计算机系统等形成一种永久性的毁坏，因而影响电子元件或系统功能，而使得电子产品工作不正常。
[0003]半导体工厂常见的静电放电(ESD)种类有人体模型(HBM)、机器模型(MM)、充电装置模型(CDM)，也就是环境(无尘室较干燥干净的空气输送)、机台与工作人员，都会因摩擦本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测量环境静电的装置，其包括：静电计，其具有传感器；导电板，其相距所述静电计一定距离设置且对准所述静电计的所述传感器；以及切换器，其与所述导电板电连接。2.根据权利要求1所述的用于测量环境静电的装置，其中所述切换器进一步与接地线及与特定电压连接。3.根据权利要求2所述的用于测量环境静电的装置，其中所述切换器为三通开关，其经布置以使所述导电板被切换成与所述接地线电连接，或使所述导电板被切换成与所述特定电压连接，或使所述导电板被切换成与所述接地线及所述特定电压形成断路。4.根据权利要求1所述的用于测量环境静电的装置，其进一步包括固定板，其中所述固定板与所述导电板及所述静电计相连接。5.一种环境静电监控系统，其包括：至少一用于测量环境静电的装置，其包括：静电计，其具有传感器；导电板，其相距所述静电计一定距离设置且大致对准所述静电计的所述传感器；以及切换器，其与所述导电板电连接；处理装置，其与所述静电计及所述切换器连接；以及至少一静电消除器，其与所述处理装置相连接。6.根据权利要求5所述的环境静电监控系统，其中所述切换器进一步与接地...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖意中，郭启文，于淳，庄子寿，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：