一种基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量方法技术

一种基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置和方法，该装置包括负载板、上位机和电流/电压测量模块，负载板包括多个电阻和测试执行模块；主控板通过网线与上位机传输数据，通过连接器同所述数字板芯片的各通道连接在一起，控制所述数字板芯片的各通道线缆与所述负载板相连，形成每个通道线缆测量选择控制，以及每个通道根据测量规格控制选择形成所需电阻组合值R；上位机依次调用可读取到电流/电压测量模块的值，实现给每一个选通后的通道驱动使能的电压/电流值，电流/电压测量模块检测到电阻组合值R端的电压或电流，并根据数字板芯片的各通道规格要求，计算数字板芯片的各通道驱动和测量精度误差。通道驱动和测量精度误差。通道驱动和测量精度误差。

【技术实现步骤摘要】
一种基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量方法


[0001]本专利技术涉及半导体自动测试设备(Automatic Test Equipment，简称 ATE)领域，尤其涉及一种基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量方法。

技术介绍

[0002]随着芯片工艺的发展，一片芯片上承载的功能越来越多，测试机需要测试的范围也越来越大，这就对测试机提出了考验，也就是说，测试机的测试覆盖范围越广，能够测试的项目越多，就越受客户青睐。
[0003]同时，企业购买测试机就是为了把不符合要求的产品精准地判断出来，于是测试机的测试精度也成了技术核心之一，测试精度的重要指标包括测试电流、电压、电容和时间量等参数的精度。
[0004]先进设备一般能够在电流测量上能达到皮安(pA)量级的精度，在电压测量上达到微伏(μV)量级的精度，在电容测量上能达到0.01皮法(pF) 量级的精度，在时间量测量上能达到百皮秒(pS)。
[0005]自动化测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)中会配置多块板卡，每块板卡上会有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置，其特征在于，包括负载板、上位机和电流/电压测量模块，所述负载板包括多个电阻和将所述多个电阻选通形成电阻组合值R的测试执行模块，所述上位机包括第一接口、处理模块和输出模块；所述ATE设备的主控板通过网线与上位机传输数据，所述主控板通过连接器同所述数字板芯片的各通道连接在一起，所述主控板的控制线缆控制所述数字板芯片的各通道线缆与所述负载板相连，形成每个通道线缆测量选择控制，以及每个通道根据测量规格控制选择形成所需电阻组合值R；所述电流/电压测量模块，其通过GPIB线连接到上位机的第一接口，所述上位机中的处理模块通过所述第一接口依次调用可读取到所述电流/电压测量模块的值，所述处理模块还实现给每一个选通后的通道驱动使能的电压/电流值，所述电流/电压测量模块检测到所述电阻组合值R端的电压或电流，所述数字板芯片中的ADC可采集到个通道的电压/电流，并根据所述数字板芯片的各通道规格要求，计算数字板芯片的各通道驱动和测量精度误差。2.根据权利要求1所述的基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置，其特征在于，所述电流/电压测量模块为万用表。3.根据权利要求1所述的基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置，其特征在于，所述DC芯片上的PMU模块包括VSIM模式测量和/或ISVM模式测量。4.根据权利要求1所述的基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置，其特征在于，所述测试执行模块包括继电器或导通开关。5.一种用于测试线缆连接线以及精度的测试方法，其采用权利要求1
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4任意一个所述的基于单板规格验证ATE设备DC芯片精度的测量装置，其特征在于，包括VSIM模式测试步骤S1和/或ISVM...

【专利技术属性】
技术研发人员：王佳佳，王庆海，
申请(专利权)人：上海御渡半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：