一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备制造技术

本发明专利技术提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备，属于真空设备技术领域，其中，单向微滤阀包括：阀体、阀芯、弹性件、微滤件和节流塞，所述阀芯滑动设置在阀体内；所述弹性件连接所述阀芯，具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的弹性力；微滤件，设置在所述流通通道内，用于过滤流通在所述流通通道的流体；节流塞，设置在所述阀体的进口段内，具有与所述微滤件连通的节流孔；本发明专利技术的单向微滤阀，在进口段内通过节流塞配合微滤件，实现超低流量的通过，并通过微滤件保证通过的流体具有超高洁净度，从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。

【技术实现步骤摘要】
一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备


[0001]本专利技术涉及真空设备
，具体涉及一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备。

技术介绍

[0002]真空或压缩机领域，某些特殊工况或轴封保护气体需要按要求的流量，洁净度，单向流动。具体的，例如真空泵低压端轴封保护气需要超低流量(确保真空度不受影响)和超高洁净度(确保轴封不受损)。
[0003]市面现有单向阀无论从流量控制和洁净度控制，都没有办法满足要求。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的单向阀无法保证进行超低流量和超高洁净度导通的缺陷，从而提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种单向微滤阀，包括：
[0006]阀体，具有进口段和出口段，所述进口段和所述出口段之间具有流通通道；
[0007]阀芯，滑动设置在所述阀体的出口段内，具有用于封堵所述流通通道的封堵部分，所述封堵部分通过朝向所述流通通道的方向进行移动以对所述流通通道进行封堵；
[0008]弹性件，连接所述阀芯，具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的弹性力；
[0009]微滤件，设置在所述流通通道内，用于过滤流通在所述流通通道的流体；
[0010]节流塞，设置在所述阀体的进口段内，具有与所述微滤件连通的节流孔。
[0011]可选地，所述微滤件为圆柱形，所述流通通道的一端具有用于安装所述微滤件的柱形腔段。
[0012]可选地，所述阀芯的封堵部分为矩形，所述流通通道的另一端具有用于容纳所述阀芯的封堵部分的矩形腔段。
[0013]可选地，所述流通通道的矩形腔段的最大宽度小于所述柱形腔段的直径。
[0014]可选地，所述节流塞的朝向流通通道的一端上套设有第一密封圈。
[0015]可选地，所述阀芯的朝向流通通道的一端上套设有第二密封圈。
[0016]可选地，所述阀体的出口段上可拆卸地连接有导套，所述阀芯上具有部分插设在所述导套内的滑动段。
[0017]可选地，所述弹性件套设在所述滑动段上，所述弹性件的两端分别抵在所述导套和所述弹性件上。
[0018]可选地，所述导套通过卡簧可拆卸地卡接在所述阀体的出口段内。
[0019]本专利技术还提供一种真空设备，包括上述方案中任一项所述的单向微滤阀。
[0020]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0021]1.本专利技术提供的单向微滤阀，在进口段内通过节流塞配合微滤件，实现超低流量的通过，并通过微滤件保证通过的流体具有超高洁净度，从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。
[0022]2.本专利技术提供的真空设备，具有上述单向微滤阀，因此具有上述单向微滤阀的优点。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为本专利技术的实施例中提供的单向微滤阀的一种实施方式的主视剖视图。
[0025]图2为图1中的单向微滤阀的主视爆炸图。
[0026]图3为图2的立体图。
[0027]附图标记说明：
[0028]1、阀体；2、阀芯；3、进口段；4、出口段；5、流通通道；6、弹性件；7、微滤件；8、节流塞；9、柱形腔段；10、封堵部分；11、矩形腔段；12、第一密封圈；13、第二密封圈；14、导套；15、卡簧。
具体实施方式
[0029]下面将结合附图对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0030]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0032]此外，下面所描述的本专利技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
[0033]本实施例提供的单向微滤阀，可用于真空设备，为真空设备提供超低流量和超高洁净度的单向导通气体。另外，还可应用于对其他流体的超低流量和超高洁净度的单向导通。
[0034]如图1所示，为本实施例提供的单向微滤阀的一种具体实施方式，包括：阀体1和滑
动设置在阀体1内的阀芯2。所述阀体1具有进口段3和出口段4，所述进口段3和所述出口段4之间具有流通通道5；所述阀芯2滑动设置在所述阀体1的出口段4内，所述阀芯2具有用于封堵所述流通通道5的封堵部分10，所述封堵部分10通过朝向所述流通通道5的方向进行移动以对所述流通通道5进行封堵。
[0035]所述阀芯2上连接有弹性件6，所述弹性件6具有使所述阀芯2朝向将所述流通通道5封闭的方向进行移动的弹性力；在所述流通通道5内还设置有微滤件7，所述微滤件7用于过滤流通在所述流通通道5的流体；在所述阀体1的进口段3内设置有节流塞8，所述节流塞8具有与所述微滤件7连通的节流孔。
[0036]本实施例提供的单向微滤阀，在进口段3内通过节流塞8压紧微滤件7，实现超低流量的通过，并通过微滤件7保证通过的流体具有超高洁净度，从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。另外，本实施例提供的单向微滤阀，微滤件7和节流塞8压紧配合，通过更换调节节流塞8的节流孔的孔径，对微滤流量进行调节，从而实现在节流孔的孔径范围内使微滤流量可调。例如，在0.12MPa压力下，当节流孔的孔径为0.9mm时，流量为25
±
5sccm(立方厘米每分钟)。因此，本实施例提供的单向微滤阀的超低流量，可实现在0.1～0.2MPa压力下，单向导通20～100sccm(立方厘米每分钟)的流量。
[0037]如图2、图3所示，所述微滤件7为圆柱形，所述流通通道5的一端具有用于安装所述微滤件7的柱形腔段9。具体的，所述微滤件7可以采本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单向微滤阀，其特征在于，包括：阀体(1)，具有进口段(3)和出口段(4)，所述进口段(3)和所述出口段(4)之间具有流通通道(5)；阀芯(2)，滑动设置在所述阀体(1)的出口段(4)内，具有用于封堵所述流通通道(5)的封堵部分(10)，所述封堵部分(10)通过朝向所述流通通道(5)的方向进行移动以对所述流通通道(5)进行封堵；弹性件(6)，连接所述阀芯(2)，具有使所述阀芯(2)朝向将所述流通通道(5)封闭的方向进行移动的弹性力；微滤件(7)，设置在所述流通通道(5)内，用于过滤流通在所述流通通道(5)的流体；节流塞(8)，设置在所述阀体(1)的进口段(3)内，具有与所述微滤件(7)连通的节流孔。2.根据权利要求1所述的单向微滤阀，其特征在于，所述微滤件(7)为圆柱形，所述流通通道(5)的一端具有用于安装所述微滤件(7)的柱形腔段(9)。3.根据权利要求2所述的单向微滤阀，其特征在于，所述阀芯(2)的封堵部分(10)为矩形，所述流通通道(5)的另一端具有用于容纳所述阀芯(2)的封堵部分(10)的矩形腔段(11)。4.根据权利要求3所述的单向微滤阀，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳向成，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：