一种空气过滤机组综合控制方法、系统、装置及计算机可读存储介质制造方法及图纸

本申请涉及一种空气过滤机组综合控制方法、系统、装置及计算机可读存储介质，属于通信技术领域，该方法包括获取洁净室内的当前空气质量数据，根据所述当前空气质量数据确定当前洁净度等级；基于预设控制策略，根据所述当前洁净度等级确定对应的预设开启数量，并根据所述预设开启数量对洁净室内空气过滤机组的当前开启数量进行调整；其中，所述预设控制策略包括多个洁净度等级与预设开启数量的对应关系，所述开启数量为处于开启状态的空气过滤机组的数量。本申请能够便于根据洁净室内的实际情况对多个FFU空气过滤机组进行控制。情况对多个FFU空气过滤机组进行控制。情况对多个FFU空气过滤机组进行控制。

【技术实现步骤摘要】
一种空气过滤机组综合控制方法、系统、装置及计算机可读存储介质


[0001]本申请涉及通信
，尤其是涉及一种空气过滤机组综合控制方法、系统、装置及计算机可读存储介质。

技术介绍

[0002]随着集成电路工业以及半导体行业技术越来越快的发展，在生产过程中不仅对设备的要求越来越精密、可靠，而且对工艺制造环境的要求也是越来越严格。近年来，为了能够提供一个更加洁净的生产环境,空气传播分子污染物AMC也逐渐被认识并加以重视。
[0003]AMC是指空气传播分子污染，也简称“分子污染”，它包括了洁净室空气中出现的一系列污染物，是危害生产工艺并导致成品率降低的一种分子态化学物质。
[0004]作为高等级洁净室中不可缺少的净化设备，FFU循环系统在集成电路芯片制造领域已逐渐成为最主要的洁净设计方案。FFU循环系统是指通过若干台FFU空气过滤机组提供循环空气的动力，并将空气中的颗粒污染物进行过滤，实现洁净室内空气的循环，从而保证洁净室内的清洁度，提高产品加工质量和成品率。
[0005]针对上述中的相关技术，专利技术人发现对于一些洁净度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：所述控制方法包括，获取洁净室内的当前空气质量数据，根据所述当前空气质量数据确定当前洁净度等级；基于预设控制策略，根据所述当前洁净度等级确定对应的预设开启数量，并根据所述预设开启数量对洁净室内空气过滤机组的当前开启数量进行调整；其中，所述预设控制策略包括多个洁净度等级与预设开启数量的对应关系，所述开启数量为处于开启状态的空气过滤机组的数量。2.根据权利要求1所述的一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：所述当前空气质量数据包括当前颗粒物浓度；所述基于预设数据库，根据所述当前空气质量数据确定当前洁净度等级的具体步骤包括，基于预设数据库，根据所述当前颗粒物浓度得到当前颗粒物浓度对应的颗粒物浓度区间，根据所述颗粒物浓度区间确定对应的洁净度等级并作为当前洁净度等级；其中，所述预设数据库包括多组颗粒物浓度区间与洁净度等级的对应关系。3.根据权利要求1所述的一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：在根据所述当前空气质量数据确定当前洁净度等级的步骤之后还包括，判断当前洁净度等级是否低于预设洁净度等级，若是，则发送报警信号至报警模块进行报警。4.根据权利要求1所述的一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：在根据所述预设开启数量对洁净室内空气过滤机组的当前开启数量进行调整的步骤之后还包括，判断所述预设开启数量是否大于当前开启数量，若是，获取在预设时长后洁净室内的颗粒浓度变化值，并判断所述颗粒浓度变化值是否小于预设浓度变化值，若是，则发送检修提示信号。5.根据权利要求1所述的一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：所述控制方法还包括，分别获取各个空气过滤机组的累计运行时长，并将所述各个空气过滤机组的累计运行时长分别与预设运行时长进行比较，判断所述累计运行时长是否超过预设运行时长，若是，则根据所述空气过滤机组的编号信息发送清理提示信号。6.根据权利要求4到5任一所述的一种空气过滤机组综合控制方法，其特征在于：所述发送检修提示信号和/或清理提示信号的具体步骤包括，发送检修提示...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏群艳，吴水田，李璜，李石民，
申请(专利权)人：深圳市华净科技有限公司，
类型：发明
国别省市：