用于在基板上形成膜的蒸发器腔室制造技术

本文所述的一个或多个实施方式一般涉及在半导体处理中用于在基板上形成膜的方法和系统。在本文所述的多个实施方式中，提供一种处理腔室，包括盖板，具有形成于盖板中的多个冷却通道；基座，具有形成于基座中的多个冷却通道；和喷淋头，其中喷淋头包含多个区段，并且各个区段至少部分被屏蔽物环绕。各个区段至少部分被屏蔽物环绕。各个区段至少部分被屏蔽物环绕。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在基板上形成膜的蒸发器腔室
[0001]背景
[0002]领域
[0003]本文所述的一个或多个实施方式一般涉及半导体处理，并且尤其涉及在半导体处理中用于在基板上形成膜的方法和系统。

技术介绍

[0004]有机蒸气沉积在形成半导体装置和其他光学装置中变得越来越重要。蒸气沉积处理一般包括将维持于期望压强下的材料加热至期望温度，使得加热的材料蒸发，并且接着允许传送至基板，其中蒸发的材料凝结至基板的表面上。通常使用有机蒸气沉积以形成CMOS图像传感器。然而，有机蒸气沉积也能用以形成有机发光二极管(OLED)、有机光探测器、太阳能电池和其他类似的装置。这些装置在制造电视屏幕、计算机显示器、移动电话和用于显示信息的其他手持装置中使用。OLED显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统的LED显示器，因为OLED像素直接发光，且不需要背光，并且因此减少形成的装置的能量消耗。此外，OLED能在弹性基板上制造，也导致进一步的装置应用。
[0005]尽管这些装置是实用的，但是在这些装置的制造中遭遇许多挑战。为了高效率制作堆叠物，常常期望同时沉积材料。当本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种处理腔室，包含：腔室主体；盖板，具有形成于所述盖板中的多个冷却通道；可旋转基座，所述基座具有形成于所述基座中的多个冷却通道；和喷淋头，被包含多层的屏蔽物环绕。2.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述屏蔽物的内部表面包含反射表面。3.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述喷淋头包括多个区段。4.如权利要求3所述的处理腔室，其中各个区段是热分离的。5.如权利要求3所述的处理腔室，其中各个区段是流体分离的。6.如权利要求1所述的处理腔室，进一步包含护罩，所述护罩耦接至所述盖板，所述盖板环绕所述喷淋头和所述可旋转基座。7.如权利要求6所述的处理腔室，其中所述护罩包括反射表面。8.如权利要求1所述的处理腔室，其中所述喷淋头包含穿孔板，所述穿孔板与顶板间隔开，而在所述穿孔板与所述顶板之间界定内部空间。9.如权利要求8所述的处理腔室，其中所述屏蔽物包含在所述顶板上方的顶壁。10.一种用于处理基板的系统，所述系统包含：腔室主体；盖板，具有形成于所述盖板中的多个冷却通道；可旋转基座，所述基座具有形成于所述基座中的多个冷却通道；喷淋头，布置于所述可旋转基座上方；多个流体传输线，耦接至喷淋头；和一个或多个真空泵，耦接至所述腔室主体和所述多个流体传输线的每个流体传输线。11.如权利要求10所述的系统，其中所述多个流体传输线的每个流体传输线被加热。12.如权利要求10所述的系统，其中所述多个流体传输线的每个流体传输线包含专用旁通阀，所述专用旁通阀定位于所述腔室主体与所述一个或多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：亚历山大，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：