【技术实现步骤摘要】
双自由度自解耦大刚度大行程压电快速伺服刀架
[0001]本专利技术涉及超精密光学加工领域,具体涉及一种双自由度自解耦大刚度大行程压电快速伺服刀架。
技术介绍
[0002]复杂光学曲面零件能够简化光学系统结构、改善光学利用率、提供更加灵活的系统布局、拥有更高的设计自由度,应用在光学系统中能够很好地矫正多种像差,改善仪器成像质量,提高仪器鉴别能力。因此,随着精密光学产业的发展,具有复杂光学曲面的零件已在光纤通讯、航空航天、国防、生命科学及医疗、半导体光刻机及检测装备、无人驾驶、生物识别、AR/VR 检测设备等领域得到广泛应用。对于此类复杂光学曲面零件的加工,传统加工方法难以胜任,而目前基于压电陶瓷驱动的快刀伺服车削加工系统由于其具有高频响、高精度等特点,广泛的应用于复杂光学曲面零件的加工中。
[0003]目前基于压电陶瓷驱动器的快速伺服刀架存在如下弊端:
①
现有的双自由度的快速伺服刀架两个方向的刀具自由度存在相互耦合的情况,会给加工精度造成严重的影响。而现有的解耦方法是增加解耦机构来实现,这又会导致快速 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种双自由度自解耦大刚度大行程压电快速伺服刀架,包括刀具总成、基座和压电陶瓷驱动器,其特征在于:所述的刀具总成竖向两端分别设置有刀具调控竖杆,所述的刀具调控竖杆和刀具总成之间及刀具调控竖杆和基座之间设置有由横向形变柔性铰链和纵向形变柔性铰链组成的安装铰链组,所述的压电陶瓷驱动器的数量为两个并分别位于刀具总成两侧,所述的压电陶瓷驱动器包括输出纵向驱动力的第一压电陶瓷驱动器和输出横向驱动力的第二压电陶瓷驱动器,所述的第一压电陶瓷驱动器靠近刀具总成的一端沿竖向设置有第一长竖杆,另一端设置有固定于基座并用于安装第一压电陶瓷驱动器的第一安装座,所述的第一安装座竖向两端分别设置第一短竖杆,所述的第一短竖杆与第一安装座之间设置有由横向形变柔性铰链和纵向形变柔性铰链组成的第一放大铰链组a,所述的第一长竖杆竖向两端分别与对应第一短竖杆之间设置有第一短纵杆,所述的第一短纵杆与第一长竖杆之间及第一短纵杆与第一短竖杆之间分别设置有由横向形变柔性铰链和竖向形变柔性铰链组成的第一放大铰链组b,所述的第一短竖杆相对第一安装座的另一端与对应刀具调控竖杆之间设置有第一长纵杆,所述的第一长纵杆与第一短竖杆之间及第一长纵杆与刀具调控竖杆之间设置有由横向形变柔性铰链和竖向形变柔性铰链组成的第一放大铰链组c,所述的第二压电陶瓷驱动器靠近刀具总成的一端沿竖向设置有第二长竖杆,另一端设置有固定于基座并用于安装第二压电陶瓷驱动器的第二安装座,所述的第二安装座竖向两端分别设置第二短竖杆,所述的第二短竖杆与第二安装座之间设置有由横向形变柔性铰链和纵向形变柔性铰链组成的第二放大铰链组a,所述的第二长竖杆竖向两端分别与对应第二短竖杆之间设置有第二短横杆,所述的第二短横杆与第二长竖杆之间及第二短横杆与第二短竖杆之间分别设置有由纵向形变柔性铰链和竖向形变柔性铰链组成的第二放大铰链组b,所述的第二短竖杆相对第二安装座的另一端与对应刀具调控竖杆之间设...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱辉,夏琨,罗祥,黄磊,王小龙,李国平,
申请(专利权)人:温州大学,
类型:发明
国别省市:
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