一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质技术方案

本申请提供了一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质，其中，服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，遍历服务器中所有已存储的程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收和存储目标加工程序；若存在与第二程序名称相同的程序名称，且版本小于目标加工程序的版本，则接收目标加工程序并将目标加工程序进行存储；服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称和程序发送并存储至第二加工设备，根据目标加工程序进行半导体产品加工。采用上述方法，有利于提高半导体加工设备在使用加工程序进行产品加工的效率。产品加工的效率。产品加工的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体加工
，具体而言，涉及一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质。

技术介绍

[0002]在进行半导体类产品加工时，相同机型或者相同设备组中的多个半导体加工设备可以使用相同的加工程序进行产品加工，同时每台半导体加工设备都有用于存储加工程序的本地数据库，当设备需要使用加工程序进行产品加工时，需要从本地数据库中读取需要的程序后运行。
[0003]一个设备组中的一个加工设备可以通过运行更高版本的加工程序提高产品的加工效率，而现有技术中，在一个设备组中的多个加工设备采集其他设备中的更高版本的加工程序时，只能对每个加工设备分别重复人工手动输入，从而增加了整个产品加工流程所耗费的时间，降低了产品加工的效率。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种程序共享方法、系统、计算机设备及可读存储介质，有利于提高半导体加工设备在使用加工程序进行产品加工的效率。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种程序共享方法，应用于半导体加工系统，所述半导体加工系统包括两个加工设备和服务器，三者通过局域网连接，所述方法包括：所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储；在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除；所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。
[0006]可选地，在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，所述方法包括：所述第一加工设备运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；
所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。
[0007]可选地，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，包括：所述服务器遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。
[0008]可选地，所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，包括：所述第二加工设备通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；所述服务器响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。
[0009]第二方面，本申请实施例提供了一种程序共享系统，所述系统包括两个加工设备和服务器，其中，三者通过局域网连接；所述服务器，用于响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储；所述服务器，用于在接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，将所述已存储的加工程序进行删除；所述服务器，用于响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；所述第二加工设备，用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。
[0010]可选地，所述系统包括：所述第一加工设备，用于在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；所述第一加工设备，用于将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。
[0011]可选地，所述系统包括：所述服务器，在用于将所述已存储的加工程序进行删除时，具体用于遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器，用于将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。
[0012]可选地，所述系统包括：所述第二加工设备，在用于通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中时，具体用于通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；所述服务器，用于响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器，用于通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；所述第二加工设备，用于将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。
[0013]第三方面，本申请实施例提供了一种计算机设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当计算机设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行上述第一方面中任一种可选地实施方式中所述的程序共享方法的步骤。
[0014]第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行上述第一方面中任一种可选地实施方式中所述的程序共享方法的步骤。
[0015本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种程序共享方法，其特征在于，应用于半导体加工系统，所述半导体加工系统包括两个加工设备和服务器，三者通过局域网连接，所述方法包括：所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称相同的程序名称，则通过局域网接收所述目标加工程序，并将所述目标加工程序进行存储，其中，所述目标加工程序为所述第一加工设备中待上传至所述服务器的加工程序；若存在与所述第二程序名称相同的程序名称，且所述已存储的加工程序的版本小于所述目标加工程序的版本，则通过局域网接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储；在所述服务器接收所述目标加工程序并将所述目标加工程序进行存储后，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除；所述服务器响应第二加工设备发送的程序共享请求，将所述第二加工设备归属于的设备组中的加工程序的最高版本程序的程序名称通过局域网发送至所述第二加工设备；所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，并根据所述目标加工程序进行半导体产品加工。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述服务器响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称前，所述方法包括：所述第一加工设备运行加工程序进行晶圆加工，并采集所述第一加工设备在晶圆加工时产生的晶圆加工数据；所述第一加工设备将所述晶圆加工数据按照预设规则进行分析，并根据分析结果确定与所述晶圆加工数据对应的待上传的目标加工程序。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述服务器将所述已存储的加工程序进行删除，包括：所述服务器遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的第二程序名称相同的第三程序名称，其中，所述第三程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器将与所述第三程序名称对应的已存储的加工程序删除。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二加工设备通过局域网将所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称对应的程序存储于本地数据库中，包括：所述第二加工设备通过局域网向所述服务器发送程序下载请求；所述服务器响应所述程序下载请求，并遍历所有已存储的加工程序的第一程序名称，确定与所述目标加工程序的最高版本程序的程序名称相同的第四程序名称，其中，所述第四程序名称归属于所述第一程序名称；所述服务器通过局域网将与所述第四程序名称对应的已存储的加工程序下载至所述第二加工设备中的程序处理器的缓存中；所述第二加工设备将所述缓存中的加工程序按照预设规则进行命名和编号，并存储至用于存储晶圆加工程序的本地数据库中。5.一种程序共享系统，其特征在于，所述系统包括两个加工设备和服务器，其中，三者通过局域网连接；
所述服务器，用于响应第一加工设备发送的程序上传请求，并遍历所述服务器中所有已存储的加工程序的第一程序名称，若没有与目标加工程序的第二程序名称...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢金毅，
申请(专利权)人：深圳微迅信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：