一种高密封性气体供应和分配装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种高密封性气体供应和分配装置，包括密封腔、输气口、底盘和分配气管,密封腔顶端的一侧固定连接有输气口，输气口的顶端固定连接有连接件，密封腔内部顶端的中间位置固定安装有微型电机，微型电机的底端固定连接有旋转杆。本实用新型专利技术通过在密封腔内部顶端的中间位置安装有微型电机，通过外接控制器启动微型电机可以带动旋转杆旋转，并使旋转杆带动转盘进行旋转，当转盘上的第一通孔与底盘上的第二通孔重合使，可以通过第二通孔底端的分配气管进行气体供应分配，同时当第一通孔被底盘遮挡而未与第二通孔重合时，可以起到气体密封保护作用。气体密封保护作用。气体密封保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种高密封性气体供应和分配装置


[0001]本技术涉及气体传输
，具体为一种高密封性气体供应和分配装置。

技术介绍

[0002]日前，随着国内大面积的发展半导体等高技术产业，厂务端对于特殊气体的供应及分配系统的需求也越来越大，对于系统的可靠性要求也越来越高。特殊气体的供应和分配系统，目前广泛应用于半导体等高新
为整个制程有序进行提供了坚实的基础，其相配套的全自动监控系统有安全，可靠等众多优点，受到各资深专家的广泛肯定及推崇。操作上由电脑运算取代繁琐的重复人力劳动，取得了显著的经济效益。
[0003]现有的高密封性气体供应和分配装置，气体传输分配效率不佳，易出现漏气情况，影响气体传输分配整体效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高密封性气体供应和分配装置，以解决上述
技术介绍
中提出的气体传输分配效率不佳，易出现漏气情况，影响气体传输分配整体效率等问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高密封性气体供应和分配装置，包括密封腔、输气口、底盘和分配气管,所述密封腔顶端的一侧固定连接有输气口，所述输气口的顶端固定连接有连接件，所述密封腔内部顶端的中间位置固定安装有微型电机，所述微型电机的底端固定连接有旋转杆，所述密封腔内部的底端活动连接有转盘，所述转盘顶端的中间位置固定连接有旋转杆，所述转盘的一侧固定设置有第一通孔，所述转盘的底端固定连接有橡胶垫，所述转盘顶端的一侧固定连接有固定架。
[0006]优选的，所述连接件外部的一侧活动连接有活动螺栓，所述活动螺栓的一侧固定连接有活动轴。
[0007]优选的，所述活动轴的一侧固定连接有挤压板，所述挤压板的一侧活动连接有气囊。
[0008]优选的，所述气囊的一侧活动连接有密封垫，所述密封垫的一侧固定连接有连接件。
[0009]优选的，所述固定架的顶端固定连接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接有橡胶塞，所述橡胶塞的外部活动连接有第一通孔。
[0010]优选的，所述密封腔的底端固定连接有底盘，所述密封腔与底盘属于焊接，所述底盘的顶端活动连接有转盘。
[0011]优选的，所述底盘的一侧固定设置有第二通孔，所述第二通孔的底端固定连接有分配气管，所述第二通孔与分配气管属于焊接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1.该种高密封性气体供应和分配装置，通过在密封腔内部顶端的中间位置安装有
微型电机，通过外接控制器启动微型电机可以带动旋转杆旋转，并使旋转杆带动转盘进行旋转，当转盘上的第一通孔与底盘上的第二通孔重合使，可以通过第二通孔底端的分配气管进行气体供应分配，同时当第一通孔被底盘遮挡而未与第二通孔重合时，可以起到气体密封保护作用；
[0014]2.该种高密封性气体供应和分配装置，通过在转盘的顶端设置有多个固定架，通过固定架的顶端固定连接有电动推杆，通过电动推杆启动可以推动橡胶塞向下运动，并使橡胶塞与转盘上的第一通孔接触，完成第一通孔的堵塞，通过控制不同底端电动推杆底端的橡胶塞与转盘上的第一通孔接触堵塞，可以完成对不同管道的气体分配，提高了整体分配的效率；
[0015]3.该种高密封性气体供应和分配装置，通过在输气口的顶端固定连接有连接件，通过将需要连接的输气管与连接件连接，同时转动连接件两侧的活动螺栓，可以使活动螺栓通过活动轴推动一侧的挤压板，并使挤压板挤压气囊，从而使气囊推动密封垫贴紧外接输气管的表面，从而增加连接件与外接输气管之间连接的密封性，防止出现漏气情况。
附图说明
[0016]图1为本技术的正视结构示意图；
[0017]图2为本技术图1中A处放大结构示意图；
[0018]图3为本技术连接件的正视结构示意图；
[0019]图4为本技术底盘的俯视结构示意图；
[0020]图5为本技术转盘的俯视结构示意图。
[0021]图中：1、密封腔；2、输气口；3、连接件；301、活动螺栓；302、活动轴；303、挤压板；304、气囊；305、密封垫；4、微型电机；401、旋转杆；5、转盘；501、第一通孔；502、橡胶垫；6、固定架；601、电动推杆；602、橡胶塞；7、底盘；701、第二通孔；8、分配气管。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1
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5，本技术提供的一种实施例：一种高密封性气体供应和分配装置，包括密封腔1、输气口2、底盘7和分配气管8,密封腔1顶端的一侧固定连接有输气口2，通过输气口2可以向密封腔1的内部输入密封性气体；
[0024]输气口2的顶端固定连接有连接件3，连接件3外部的一侧活动连接有活动螺栓301，活动螺栓301的一侧固定连接有活动轴302，活动轴302的一侧固定连接有挤压板303，挤压板303的一侧活动连接有气囊304，气囊304的一侧活动连接有密封垫305，密封垫305的一侧固定连接有连接件3，通过转动连接件3一侧的活动螺栓301，可以使活动螺栓301通过活动轴302推动挤压板303，并使挤压板303挤压气囊304，从而使气囊304挤压一侧的密封垫305，使密封垫305贴紧外接输气管的表面，完成密封腔1与外接输气管之间的连接；
[0025]密封腔1内部顶端的中间位置固定安装有微型电机4，微型电机4的底端固定连接有旋转杆401，密封腔1内部的底端活动连接有转盘5，转盘5顶端的中间位置固定连接有旋
转杆401，通过微型电机4启动可以带动旋转杆401旋转，并使旋转杆401带动转盘5进行旋转；
[0026]转盘5的一侧固定设置有第一通孔501，转盘5的底端固定连接有橡胶垫502，转盘5顶端的一侧固定连接有固定架6，固定架6的顶端固定连接有电动推杆601，电动推杆601的底端固定连接有橡胶塞602，橡胶塞602的外部活动连接有第一通孔501，通过电动推杆601底端的橡胶塞602进入转盘5上的第一通孔501，可以完成第一通孔501的堵塞密封；
[0027]密封腔1的底端固定连接有底盘7，密封腔1与底盘7属于焊接，底盘7的顶端活动连接有转盘5，底盘7的一侧固定设置有第二通孔701，第二通孔701的底端固定连接有分配气管8，第二通孔701与分配气管8属于焊接，通过转盘5上的第一通孔501与底盘7上的第二通孔701重合，可以进行气体的供应传输。
[0028]本申请实施例在使用时：外接输气管通过密封腔1顶端的输气口2可以向密封腔1的内部输入气体，同时通过外接控制器启动微型电机4可以带动旋转杆401旋转，并使旋转杆401带动转盘5进行旋转，当转盘5上的第一通孔501与底盘7上的第二通孔701重合使，可以通过第二通孔70本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高密封性气体供应和分配装置，其特征在于,包括密封腔（1）、输气口（2）、底盘（7）和分配气管（8）,所述密封腔（1）顶端的一侧固定连接有输气口（2），所述输气口（2）的顶端固定连接有连接件（3），所述密封腔（1）内部顶端的中间位置固定安装有微型电机（4），所述微型电机（4）的底端固定连接有旋转杆（401），所述密封腔（1）内部的底端活动连接有转盘（5），所述转盘（5）顶端的中间位置固定连接有旋转杆（401），所述转盘（5）的一侧固定设置有第一通孔（501），所述转盘（5）的底端固定连接有橡胶垫（502），所述转盘（5）顶端的一侧固定连接有固定架（6）。2.根据权利要求1所述的一种高密封性气体供应和分配装置，其特征在于：所述连接件（3）外部的一侧活动连接有活动螺栓（301），所述活动螺栓（301）的一侧固定连接有活动轴（302）。3.根据权利要求2所述的一种高密封性气体供应和分配装置，其特征在于：所述活动轴（302）的一侧固定连接有挤压板（303），所述挤...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫洁，
申请(专利权)人：上海创洁科技有限公司，
类型：新型
国别省市：