一种检测电路及传感器制造技术

一种检测电路，用于检测应力对电特性的影响，该检测电路包括：PMOS管主导自振荡环(101)、NMOS管主导自振荡环(102)和频率读取模块(103)；PMOS管主导自振荡环(101)的信号路径中的PMOS管数量大于NMOS管数量；NMOS管主导自振荡环(102)的信号路径中的NMOS管数量大于PMOS管数量；频率读取模块(103)用于读取PMOS管主导自振荡环(101)或NMOS管主导自振荡环(102)输出的频率信号。该NMOS管主导自振荡环(102)输出的频率信号表征应力对NMOS管的电特性影响，PMOS管主导自振荡环(101)输出的频率信号表征应力对PMOS管的电特性影响。可以根据应力对NMOS管的影响以及PMOS管的影响改善电路的制造工艺，以减少应力对电路的电特性的影响。响。响。响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：曾秋玲，刘燕翔，陈赞锋，夏禹，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：