真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置制造方法及图纸

本申请提供了一种真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置，蒸镀异常排除装置，应用于真空蒸镀装置，所述蒸镀异常排除装置包括本体；所述本体包括第一表面，所述第一表面设有粘性部，所述本体通过所述粘性部吸附异常基板，从而将所述异常基板输送到所述真空蒸镀室外。本申请可以快速排除真空蒸镀装置内的异常基板，降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置


[0001]本申请涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空蒸镀室内，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基板表面凝聚成膜的工艺方法。通常情况下，真空蒸镀室内设有传送机构，通过传送机构承载基板，使基板在真空蒸镀室内完成镀膜，然后再将基板自真空蒸镀室内取出。然而，当异常状况发生时，比如在静电等因素的影响下，基板可能非正常地吸附或粘滞在真空蒸镀室内，导致基板无法正常取出。
[0003]现有技术中，当基板滞留在真空蒸镀室内时，需要破坏真空蒸镀室的真空条件，打开真空蒸镀室手动排除异常基板，导致排除异常耗费的时间过长，增加生产成本。

技术实现思路

[0004]本申请提供了一种真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置，以快速排除真空蒸镀装置内的异常基板，降低生产成本。
[0005]本申请的第一方面提供了一种蒸镀异常排除装置，应用于真空蒸镀装置，所述蒸镀异常排除装置包括本体；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀异常排除装置，应用于真空蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀异常排除装置包括本体(10)；所述本体(10)包括第一表面(100)，所述第一表面(100)设有粘性部(12)，所述本体(10)通过所述粘性部(12)吸附异常基板(5)，从而将所述异常基板(5)输送到所述真空蒸镀室(2)外。2.根据权利要求1所述的蒸镀异常排除装置，其特征在于，所述本体(10)的重量不小于所述异常基板(5)重量的1/10。3.根据权利要求1所述的蒸镀异常排除装置，其特征在于，所述本体(10)的重量为所述异常基板(5)重量的1/10～10倍。4.根据权利要求1所述的蒸镀异常排除装置，其特征在于，所述本体(10)设置成板状结构，所述板状结构的形状大小与所述异常基板(5)的形状大小相同。5.根据权利要求4所述的蒸镀异常排除装置，其特征在于，所述本体(10)的厚度为所述异常基板(5)厚度的1/10～10倍。6.根据权利要求1
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5任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：章丰帆，
申请(专利权)人：合肥视涯显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：