一种PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池制造技术

本实用新型专利技术提供了一种PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池，所述的PERC电池背钝化结构包括由硅基体的背面依次层叠设置的第一晶态氧化硅层、氧化镓层、第二晶态氧化硅层以及至少两层背面氮化硅层。本实用新型专利技术提供了一种三明治结构的PERC电池背钝化结构，主要的钝化结构由第一晶态氧化硅层、氧化镓层和第二晶态氧化硅层依次层叠形成，三层膜互补，降低背表面复合速率，增加背表面钝化效果和提高钝化效果。效果。效果。

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池


[0001]本技术属于光伏电池
，涉及一种PERC电池背钝化结构及包括其的PERC电池。

技术介绍

[0002]PERC电池即钝化发射极和背面电池技术，起源于上世纪80年代，通过在常规电池的背面叠加钝化层，可以提高转化效率。PERC电池一般的工艺流程有以下步骤：制绒
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扩散
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SE激光
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氧化
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刻蚀(去PSG)
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退火
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背膜
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正膜
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激光开槽
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丝网印刷
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烧结
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光注入或电注入
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测试分拣。其中镀膜工艺是PERC电池产线工艺中及其重要的一环。电池片在生产过程中，需要在正面镀一层减反膜，降低光的反射，增强光的吸收。在背面镀一层钝化膜，一般钝化膜是通过钝化硅表面的悬挂键来降低表面的复合速率从而起到表面钝化或者体钝化的作用。同时其高折射率可以增强背面的反射率进一步提升电池效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池背钝化结构，其特征在于，所述的PERC电池背钝化结构包括由硅基体的背面依次层叠设置的第一晶态氧化硅层、氧化镓层、第二晶态氧化硅层以及至少两层背面氮化硅层。2.根据权利要求1所述的PERC电池背钝化结构，其特征在于，所述的硅基体与第一晶态氧化硅层的接触面处设置有连接块，所述连接块与第一晶态氧化硅层为一体结构，所述的连接块嵌入硅基体内部。3.根据权利要求1所述的PERC电池背钝化结构，其特征在于，所述的第一晶态氧化硅层与氧化镓层的接触面处设置有第一固定块，所述的第一固定块与氧化镓层为一体结构，所述的第一固定块嵌入第一晶态氧化硅层内部。4.根据权利要求1所述的PERC电池背钝化结构，其特征在于，所述的氧化镓层与第二晶态氧化硅层的接触面处设置有第二固定块，所述的第二固定块与氧化镓层为一体结构，所述的第二固定块嵌入第二晶态氧化硅层内部。5.根据权利要求1所述的PERC电池背钝化结构，其特征在于，所述的第一晶态...

【专利技术属性】
技术研发人员：方超炎，何悦，郭帅，任海亮，任勇，陈德爽，徐君，金志洪，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：新型
国别省市：