在等离子处理装置，事前预测会发生的计划外保养的发生，能出于优先的保养成本的观点立刻判断必要的保养作业以及应当将该作业编入哪个时间点的计划保养。具备如下要素而构成装置诊断装置：劣化度估计部，其接收装备于等离子处理装置的传感器的输出，并估计等离子处理装置的劣化度；保养作业发生概率估计部，其基于该劣化度估计部中估计出的劣化度来算出发生未含在最初的保养计划中的计划外的保养作业的概率；实绩保养成本算出部，其算出实绩保养成本；和计划编入时保养成本算出部，其基于保养作业发生概率估计部中估计出的发生计划外的保养作业的概率和实绩保养成本算出部中算出的等离子处理装置的实绩保养成本，来输出编入了计划外的保养作业的修正了最初的保养计划的保养计划修正案。计划的保养计划修正案。计划的保养计划修正案。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】装置诊断装置、装置诊断方法、等离子处理装置以及半导体装置制造系统
[0001]本专利技术涉及通过等离子对半导体的晶片进行加工的等离子处理装置的装置诊断方法以及装置诊断装置。
技术介绍
[0002]等离子处理装置是为了在半导体的晶片上形成微细形状而将物质等离子化，并进行通过该物质的作用来除去晶片上的物质的等离子处理的装置。在等离子蚀刻装置中，通常按照以晶片的处理片数等为目标而预先建立的保养计划来进行装置内的清洁、部件的交换这样的保养(计划保养)。但由于伴随经年变化、与使用方法相应的反应副生成物的蓄积等的部件的劣化，会发生计划外的保养作业。为了削减计划外保养导致的非运转时间(停工时间)，谋求逐次监控部件的劣化状态，并对应于劣化状态进行清洁、交换等的早期对策。
[0003]为了实现这样的早期对策，在装置诊断装置中，一般地执行以下操作：使用从附加在装置的多个状态传感器逐次取得的传感器值来根据距正常状态的偏离估计劣化度，与设定的阈值进行比较而发出警报。例如在再公表专利WO2018
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542408号说明书(专利文献1)中记载为：“异常探测装置通过对将观测值汇总的摘要值运用统计建模来推测从摘要值除去了噪声的状态，基于该推测来生成预测下一期的摘要值的预测值。异常探测装置基于预测值来探测监视对象装置的异常有无。”。
[0004]另外，作为探测了异常后的诊断方法，例如在JP特开2015
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148867号公报(专利文献2)中记载了如下方法：“基于保养历史记录信息中所含的作业关键词来作成用于将所述现象模式分类的分类基准”，“基于分类的现象模式和作业关键词来作成用于估计提示给保养作业者的作业关键词的诊断模型”。
[0005]进而，在JP特开2019
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133412号公报(专利文献3)中记载了如下方法：事前设定故障概率来算出代表保养方式中的保养成本。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：再公表专利WO2018/542408号说明书
[0009]专利文献2：JP特开2015
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148867号公报
[0010]专利文献3：JP特开2019
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133412号公报
技术实现思路
[0011]专利技术要解决的课题
[0012]在专利文献1中记载了探测装置的异常有无并发出警报的方法。但关于在发出警报后具体怎样修正保养计划、以及提供该信息，则并未记载。
[0013]因此，本专利技术提供一种提示保养计划案的装置诊断装置，该保养计划案除了考虑利用传感器值的劣化度估计结果以外，还考虑装置运转率、保养作业所涉及的费用这样的
保养成本。每当提示还考虑了保养成本的保养计划案时，有如下两点课题。
[0014]第一点在于：根据由自由记述构成的保养历史记录来评估部件以及该部件所涉及的每个作业的实绩保养成本。出于记录工时等观点，保养历史记录多是自由记述。需要根据这样的非结构上的记录来确定作为保养对象的部件与作业的组合，来评估实绩保养成本。
[0015]例如，在专利文献2中，记载了从保养历史记录将表征作业的单词进行关键词提取并赋予重要度的方法。但仅用基于单词的关键词提取，有不能确定部件与作业的组合的问题点、不能应对存在具有多个名称的同一部件的情况等问题点。
[0016]第二点在于：使用实绩保养成本来算出将计划外保养编入多个时间点的计划保养的情况的保养成本(以下称作计划编入时保养成本)，以保养成本的观点提示最佳的保养计划修正案。
[0017]等离子处理装置是真空装置，由于装置的启动、关闭需要时间，因此用在警报刚发出后每次进行保养的方式反而会降低运转率。因此，目标在于，事前预测计划外保养的发生，采取在预先建立的计划保养内编入追加作业的保养方式。
[0018]例如在专利文献2中，记载了基于传感器值将现象模式分类，并对保养作业者提示作业关键词的方法。但保养作业者或保养计划筹划者难以判断应该在哪个时间点进行该作业。
[0019]另外，在专利文献3中，记载了事前设定故障概率来算出代表保养方式中的保养成本的方法，但由于蚀刻装置启动时间长，因此若在从装置监视器刚发出警报后仅为了应对该警报的保养而停止装置，就会产生反而会降低装置运转的问题。
[0020]本专利技术为了解决上述的现有技术的课题而提供一种等离子处理装置的装置诊断方法以及装置诊断装置，在等离子处理装置中，事前预测会发生的计划外保养的发生，例如保养计划筹划者、保养作业者这样的用户能出于优先的保养成本的观点立刻判断必要的保养作业以及应将该作业编入哪个时间点的计划保养。
[0021]用于解决课题的手段
[0022]为了解决上述的课题，在本专利技术中，在对等离子处理装置的装置状态进行诊断的装置诊断装置中，特征在于，基于发生所述等离子处理装置的计划外的保养作业的概率和保养作业所涉及的保养成本来修正预先计划的所述等离子处理装置的保养计划，所述概率基于以所述等离子处理装置的被监控的装置状态为基础而估计出的所述等离子处理装置的劣化度来求取。
[0023]另外，为了解决上述的课题，在本专利技术中，在具备对装置状态进行诊断的装置诊断装置的等离子处理装置中，特征在于，所述装置诊断装置基于发生本装置的计划外的保养作业的概率和保养作业所涉及的保养成本来修正预先计划的所述等离子处理装置的保养计划，所述概率基于以所述本装置的被监控的装置状态为基础而估计出的所述本装置的劣化度来求取。
[0024]进而，为了解决上述的课题，在本专利技术中，在具备经由网络与等离子处理装置连接且执行装置诊断处理的平台的半导体装置制造系统中，所述装置诊断处理具有如下步骤：基于发生所述等离子处理装置的计划外的保养作业的概率和保养作业所涉及的保养成本来修正预先计划的所述等离子处理装置的保养计划，所述概率基于以所述等离子处理装置的被监控的装置状态为基础而估计出的所述等离子处理装置的劣化度来求取。
[0025]进而，另外，为了解决上述的课题，在本专利技术中，在对等离子处理装置的装置状态进行诊断的装置诊断方法中，基于发生所述等离子处理装置的计划外的保养作业的概率和保养作业所涉及的保养成本来修正预先计划的所述等离子处理装置的保养计划，所述概率基于以所述等离子处理装置的被监控的装置状态为基础而估计出的所述等离子处理装置的劣化度来求取。
[0026]专利技术的效果
[0027]根据本专利技术，在等离子处理装置中，事前预测会发生的计划外保养的发生，例如保养计划筹划者、保养作业者这样的用户能出于优先的保养成本的观点而立刻判断必要的保养作业以及应当将该作业编入哪个时间点的计划保养。
[0028]上述以外的课题、结构以及效果会通过以下的实施方式的说明而变得明确。
附图说明
[0029]图1是表示实施例所涉及的等离子处理装置和装置诊断装置的结构的框图。
[0030]图2是将存放于实施例所涉及的装置诊断装置的传感器值存储部本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置诊断装置，对等离子处理装置的装置状态进行诊断，其特征在于，基于发生所述等离子处理装置的计划外的保养作业的概率和保养作业所涉及的保养成本来修正预先计划的所述等离子处理装置的保养计划，所述概率基于以所述等离子处理装置的被监控的装置状态为基础而估计出的所述等离子处理装置的劣化度来求取。2.根据权利要求1所述的装置诊断装置，其特征在于，所述装置诊断装置具备：保养作业辞典存储部，其存储了基于所述等离子处理装置的保养作业历史记录的作业内容来确定所述等离子处理装置的部件与保养作业的组合的情况下的、用于提取所述部件的关键词或所述保养作业的关键词的信息。3.根据权利要求2所述的装置诊断装置，其特征在于，所述装置诊断装置具备：第一保养成本算出部，其通过将保养成本信息与所述确定的所述部件与所述保养作业的各个组合建立关联，来算出所述组合各自的保养成本，所述保养成本信息包含所述等离子处理装置的运转率。4.根据权利要求3所述的装置诊断装置，其特征在于，所述装置诊断装置具备：第二保养成本算出部，其使用所述保养成本信息来算出将所述保养计划外的保养作业编入所述保养计划的情况下的保养成本的期待值。5.一种等离子处理装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅田祥太，角屋诚浩，釜地义人，玉置研二，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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