垂直腔面发射激光器阵列制造技术

在一些实施方式中，垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列可以包括多个信道、多个迹线和多个发射器。多个信道中的一信道可以包括多个发射器中的发射器组，所述发射器组布置在发射器行中。该信道可以包括多个迹线中的迹线，该迹线具有沿着迹线长度逐渐变细的迹线宽度。提供了许多其他方面。了许多其他方面。了许多其他方面。

【技术实现步骤摘要】
垂直腔面发射激光器阵列
[0001]相关申请
[0002]本申请要求2020年8月13日提交的美国临时专利申请第62/706，385号的优先权，该申请涉及“用于飞行时间照明器的单独垂直腔表面发射激光器信道的优化迹线设计”，其内容通过引用整体并入本文。


[0003]本公开总体上涉及垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列，并且涉及用于VCSEL阵列的至少一个信道的可变迹线宽度。

技术介绍

[0004]发射器可以包括VCSEL，例如顶部发射VCSEL、底部发射VCSEL、公共阳极VCSEL、公共阴极VCSEL等，以及激光器等。VCSEL是一种激光器，其中光束沿垂直于VCSEL表面的方向发射(例如，从VCSEL的表面垂直发射)。多个发射器可以布置在具有公共基板的发射器阵列中。

技术实现思路

[0005]在一些实施方式中，VCSEL阵列包括多个信道；多个迹线；和多个发射器，其中：所述多个信道中的一信道包括发射器组，所述发射器组布置在发射器行中，所述信道包括所述多个迹线中的迹线，所述迹线具有沿着迹线长度逐渐变细的迹线宽度。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列，包括：多个信道；多个迹线；和多个发射器，其中:多个信道中的信道包括多个发射器中的发射器组，所述发射器组布置在发射器行中，该信道包括多个迹线中的迹线，该迹线具有沿着迹线长度逐渐变细的迹线宽度。2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述迹线被配置为从所述迹线的输入端向包括在所述信道中的所述发射器组传输输入电流，其中所述迹线宽度在迹线上最靠近输入端的位置处具有最大宽度，并且在迹线上远离输入端的一个或多个代表性位置处具有逐渐变窄的宽度。3.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述一个或多个代表位置与包括在所述信道中的所述发射器组的一个或多个发射器的中心相关联。4.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列，其特征在于，在所述发射器行内的发射器组中的每个发射器与相邻发射器间隔相同的距离。5.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述迹线与第一锥度方向相关联，其中所述信道与所述多个信道中的附加信道相邻，所述附加信道包括所述多个迹线中的附加迹线，其中：所述附加迹线具有沿着附加迹线的长度逐渐变细的迹线宽度，并且所述附加迹线与第二锥度方向相关联。6.根据权利要求5所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述附加信道包括所述多个发射器中的附加发射器组，所述附加发射器组布置在附加发射器行中，其中所述附加发射器组横向偏离发射器组。7.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述信道与所述多个信道中的附加信道相邻，所述附加信道包括所述多个迹线中的附加迹线，所述附加迹线具有沿着所述附加迹线的长度逐渐变细的迹线宽度，并且其中与所述信道相关联的中心线的一个或多个位置和与所述附加信道相关联的中心线的一个或多个对应位置分开相同的距离。8.一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列，包括：多个信道；多个迹线；和多个发射器；其中：所述多个信道中的信道包括多个发射器中的发射器组，所述发射器组布置在发射器行中，并且所述信道包括多个迹线中的迹线，该迹线被配置成将输入电流传输到与所述信道相关联的发射器组，其中所述迹线包括特定迹线部分，所述特定迹线部分与所述发射器组中的发射器子组相关联，并且与可变迹线宽度相关联。9.根据权利要求8所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中所述可变迹线宽度沿着所述
特定迹线部分的长度逐渐变细。10.根据权利要求8所述的垂直腔面发射激光器阵列，其中，所述可变迹线宽度在沿着特定迹线部分的位置处具有最大宽度，该位置与所述发射器组中与所述特定迹线部分相关联的发射器相关联，并且其中所述可变迹线宽度在沿着特定迹线部分的位置处具有最小宽度，该位置与所述发射器组中与特定迹线部分相关联的相邻发射器的中点相关联。11.如权利要求8所述的垂直腔面发射激光器阵列，其特征在于，在发射器行内的发射器组的每个发射器与发射器组的相邻发射器隔开相同的距离。12.根据权利要求8所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：MA希拉齐侯赛尼多克特，AV巴夫，MG彼得斯，
申请(专利权)人：朗美通经营有限责任公司，
类型：发明
国别省市：