图像传感器和用于图像传感器的装置制造方法及图纸

本公开的实施例涉及图像传感器和用于图像传感器的装置。提供了一种用于图像传感器的装置。该装置包括半导体装置，该半导体装置包括光敏区域和用于电接触光敏区域的金属化堆叠。光敏区域被配置为基于入射光产生电信号。此外，该装置包括形成在半导体装置表面上的光学堆叠，用于将入射光引导向光敏区域。光学堆叠包括在彼此的顶部堆叠的多个区域。多个区域包括滤波区域，该滤波区域被配置为选择性地透射仅在目标波长范围内的入射光。射仅在目标波长范围内的入射光。射仅在目标波长范围内的入射光。

【技术实现步骤摘要】
图像传感器和用于图像传感器的装置


[0001]本公开涉及一种用于图像传感器的结构。特别地，示例涉及用于图像传感器的装置。进一步的示例涉及图像传感器。

技术介绍

[0002]在光学相机中，光由光学传感器捕获。这种系统的性能随着光学传感器越来越灵敏而提高。然而，随着灵敏度的提高，对环境光干扰的敏感性(信噪比，SNR)也会增加。
[0003]在传统结构中，滤波器与光学传感器集成在一个封装中。滤波器仅对感兴趣的波长范围内的光透明。封装解决方案的结果是滤波器与光学传感器之间的距离很大。此外，封装解决方案允许光线以大角度击中滤波器。这增加了仍然可以通过滤波器到达光学传感器的环境光量。
[0004]因此，可能需要对入射光朝向光敏区域的引导进行改进。

技术实现思路

[0005]该要求可以通过本申请的内容来满足。
[0006]一个示例涉及用于图像传感器的装置。该装置包括半导体装置，该半导体装置包括光敏区域和用于电接触光敏区域的金属化堆叠。光敏区域被配置为基于入射光产生电信号。此外，该装置包括形成在半导体装置的表面上的光学堆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于图像传感器的装置(100、200)，包括：半导体装置(110)，包括光敏区域(111)和用于电接触所述光敏区域(111)的金属化堆叠(112)，其中所述光敏区域(111)被配置为基于入射光(101)产生电信号；以及光学堆叠(120)，形成在所述半导体装置(110)的表面上，用于将所述入射光(101)引导向所述光敏区域(111)，其中光学堆叠(120)包括在彼此的顶部堆叠的多个区域(121
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1，...，121
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n)，并且其中所述多个区域(121
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1，...，121
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n)包括滤波区域，所述滤波区域被配置为选择性地透射仅在目标波长范围内的所述入射光(101)。2.根据权利要求1所述的装置，其中所述滤波区域包括具有不同折射率的多个堆叠层。3.根据权利要求1或权利要求2所述的装置，其中所述多个区域(121
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1、...、121
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n)包括棱镜区域(400、500)，其中所述棱镜区域(400、500)包括至少第一棱镜(410、510
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1)，所述第一棱镜包括用于接收所述入射光(101)的第一表面(411、511
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1)和与所述第一表面(411、511
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1)相对并转向所述滤波区域的第二表面(412、512
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1)，其中所述第一表面(411、511
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1)和所述第二表面(412、512
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1)相对于彼此倾斜第一倾斜角，从而将穿过所述第一棱镜(410、510
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1)的所述入射光(101)的传播方向修改为平行于所述光学堆叠(120)的厚度方向。4.根据权利要求3所述的装置，其中所述滤波区域被布置在所述棱镜区域(400、500)与所述半导体装置(110)之间。5.根据权利要求3或权利要求4所述的装置，其中所述滤波区域和所述棱镜区域(400、500)在所述光学堆叠(120)中彼此紧接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：I，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：