一种光学转移装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及微纳加工技术领域，公开了一种光学转移装置，光学转移装置包括第一调节机构、第二调节机构和显微成像系统。第一调节机构中，第一位移平台能够对第一载物台进行可控、可量化的移动。第二调节机构中，第二位移平台能够对第二载物台进行可控、可量化的移动。因此，在第一调节机构和第二调节机构的作用下，第一样品和第二样品能够相互对齐，并且，在驱使第一载物台和第二载物台移动的过程中，通过显微成像系统实时显示第一样品的形貌，从而可视化地实现微区贴装，克服了当前转移装置参数无法量化和精细控制的缺点，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。从而提高效率和质量。从而提高效率和质量。

【技术实现步骤摘要】
一种光学转移装置


[0001]本技术涉及微纳加工
，尤其是涉及一种光学转移装置。

技术介绍

[0002]随着电子元器件进入纳米尺度，二维层状材料具有巨大的优势，层状材料异质结器件具有诸多传统器件不具有的奇异性质，通过设计异质结构可以实现特定的器件功能，因此，扩展对该材料功能的开发，将会对未来电子元器件领域产生积极的影响。目前，制作这类异质结器件需要利用微区光学对准设备，然而公知的光学转移平台由手动光学台及显微镜构成，通过手动调节实现对准，因此，器件制作过程中工艺参数不能量化和精细化，同时也会由于人为失误因素导致高失败率，也无法满足高效制作器件的要求。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种光学转移装置，能够对待贴装样品进行可量化的移动操作，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。
[0004]本技术实施例提供了一种光学转移装置，包括：
[0005]第一调节机构，包括第一载物台和第一光学位移平台，所述第一载物台用于固定待贴装的第一样品，所述第一光学位移平台连接于所述第一载物台，用于移动所述第一载物台以调节第一样品的位置；
[0006]显微成像系统，包括显微镜和成像模块，所述显微镜能够对齐于所述第一载物台上的所述第一样品，所述成像模块用于对所述显微镜的成像可视化显示；
[0007]第二调节机构，包括第二载物台和第二光学位移平台，所述第二载物台包括压电陶瓷位移台和固定组件，所述固定组件连接于所述压电陶瓷位移台，用于固定待贴装的第二样品；所述压电陶瓷位移台连接于所述第二光学位移平台，所述第二光学位移用于移动所述压电陶瓷位移台以使第二样品位于所述显微镜和所述第一载物台之间。
[0008]本技术实施例的光学转移装置至少具有如下有益效果：第一位移平台能够对第一载物台进行可控、可量化的移动，第二位移平台能够对第二载物台进行可控、可量化的移动，因此，在第一调节机构和第二调节机构的作用下，第一样品和第二样品能够相互对齐，并且，在驱使第一载物台和第二载物台移动的过程中，通过成像模块实时显示第一样品的形貌，从而可视化地实现微区贴装，克服了当前转移装置参数无法量化和精细控制的缺点，减少人为因素的影响，从而提高效率和质量。
[0009]根据本技术一些实施例的光学转移装置，所述第一载物台包括加热台，所述加热台连接于所述第一光学位移平台，所述加热台上具有用于承载所述第一样品的工作面，所述加热台用于加热所述工作面上的所述第一样品。
[0010]根据本技术一些实施例的光学转移装置，所述第一载物台还包括旋转台，所述加热台连接于所述旋转台，所述旋转台连接于所述第一光学位移平台，用于带动所述加
热台旋转。
[0011]根据本技术一些实施例的光学转移装置，还包括温控器，所述加热台内设置有加热件，所述加热件电连接于所述温控器。
[0012]根据本技术一些实施例的光学转移装置，所述第一光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第一载物台。
[0013]根据本技术一些实施例的光学转移装置，所述第二光学位移平台为三轴位移平台，能够沿X、Y、Z三个方向移动所述第二载物台。
[0014]根据本技术一些实施例的光学转移装置，所述固定组件包括连接件、紧固件和透明载体，所述连接件通过所述紧固件连接于所述压电陶瓷位移台，所述透明载体的一部分夹紧固定于所述连接件和所述压电陶瓷位移台之间，另一部分悬置于所述压电陶瓷位移台的外部。
[0015]根据本技术一些实施例的光学转移装置，还包括控制系统，所述控制系统包括：
[0016]计算机，配置为：产生指示所述第一光学位移平台以第一设定方式移动所述第一载物台的第一指令、产生指示所述第二光学位移平台以第二设定方式移动所述第二载物台的第二指令、产生指示所述压电陶瓷位移台以第三设定方式步进的第三指令，以及接收所述成像模块的信号并对所述显微镜的成像可视化显示；
[0017]第一运动控制器，连接于第一光学位移平台，配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第一指令控制所述第一光学位移平台移动所述第一载物台的操作；
[0018]第二运动控制器，连接于第二光学位移平台；配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第二指令控制所述第二光学位移平台移动所述第二载物台的操作；
[0019]压电陶瓷控制器，连接于压电陶瓷位移台；配置为与所述计算机通讯连接，并响应于所述第三指令控制所述压电陶瓷位移台步进的操作。
[0020]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例的光学转移装置的示意图；
[0022]图2为第一X方向位移台的一个示意图；
[0023]图3为本技术实施例的光学转移装置的控制系统部分模块的示意图。
[0024]附图标记：
[0025]第一调节机构100，第一载物台120，加热台121，温控器122，旋转台123，第一位移平台130，第一X方向位移台131，第一Y方向位移台132，第一Z方向位移台133，步进电机134，丝杆135，滑块136，滑轨137，第一运动控制器140；
[0026]第二调节机构200，第二载物台210，压电陶瓷位移台211，连接件212，紧固件213，透明载体214，第二光学位移平台220，第二X方向位移台221，第二Y方向位移台222，第二Z方向位移台223，连接架224，支撑架225；
[0027]第二运动控制器230，压电陶瓷控制器240；
[0028]显微成像系统300，显微镜310；
[0029]计算机400。
具体实施方式
[0030]以下将结合实施例对本技术的构思及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术实施例的描述中，如果涉及到方位描述，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术实施例的描述中，如果某一特征被称为“设置”、“固定”、“连接”、“安装”在另一个特征，它可以直接设置、固定、连接在另一个特征上，也可以间接地设置、固定、连接、安装在另一个特征上。在本技术实施例的描述中，如果涉及到“若干”，其含义是一个以上，如果涉及到“多个”，其含义是两个以上，如果本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学转移装置，其特征在于，包括：第一调节机构，包括第一载物台和第一光学位移平台，所述第一载物台用于固定待贴装的第一样品，所述第一光学位移平台连接于所述第一载物台，用于移动所述第一载物台以调节第一样品的位置；显微成像系统，包括显微镜和成像模块，所述显微镜能够对齐于所述第一载物台上的所述第一样品，所述成像模块用于对所述显微镜的成像可视化显示；第二调节机构，包括第二载物台和第二光学位移平台，所述第二载物台包括压电陶瓷位移台和固定组件，所述固定组件连接于所述压电陶瓷位移台，用于固定待贴装的第二样品；所述压电陶瓷位移台连接于所述第二光学位移平台，所述第二光学位移用于移动所述压电陶瓷位移台以使第二样品位于所述显微镜和所述第一载物台之间。2.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一载物台包括加热台，所述加热台连接于所述第一光学位移平台，所述加热台上具有用于承载所述第一样品的工作面，所述加热台用于加热所述工作面上的所述第一样品。3.根据权利要求2所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一载物台还包括旋转台，所述加热台连接于所述旋转台，所述旋转台连接于所述第一光学位移平台，用于带动所述加热台旋转。4.根据权利要求2所述的光学转移装置，其特征在于，还包括温控器，所述加热台内设置有加热件，所述加热件电连接于所述温控器。5.根据权利要求1所述的光学转移装置，其特征在于，所述第一光学位移平台为三轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：史刚，吴超，陈千雪，张立源，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：新型
国别省市：