一种用于EBSD测试的样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于EBSD测试的样品台，属于扫描电镜样品台技术领域，能够解决现有EBSD样品台存在试样滑移和测试效率低的问题。所述样品台包括：连接杆、底座和样品夹；连接杆的上端与底座相连接，连接杆的下端与扫描电镜样品台相连接；底座远离连接杆的一端为安装端，安装端的侧面由至少四个支撑面依次连接围绕而成；每个支撑面与底座底面的夹角均为锐角；每个支撑面上均设置有样品夹；样品夹用于装夹待测试的试样；每个支撑面上均设置有第一固定孔；样品夹包括卡槽和连接在卡槽凹口背面的固定杆，卡槽用于装夹试样；固定杆插入第一固定孔中，且通过第一夹紧螺丝固定。本实用新型专利技术用于EBSD测试。新型用于EBSD测试。新型用于EBSD测试。

【技术实现步骤摘要】
一种用于EBSD测试的样品台


[0001]本技术涉及一种用于EBSD测试的样品台，属于扫描电镜样品台


技术介绍

[0002]EBSD系统通常安装在扫描电镜中使用，为了收集较多的背散射衍射信号、获取清晰的菊池花样，要求入射电子束与试样表面的夹角为20
°
。扫描电镜入射电子束一般都与样品台垂直，在微观形貌观察过程中为保证试样的稳定性，样品台采用了水平的放置方式，即入射电子束与水平面垂直。对于EBSD测试而言，则需要将试样倾斜，使试样测试面与样品台之间有一个70
°
的夹角。然而，70
°
倾斜给试样的固定带来了较大的困难。目前，最常用的方法是使用导电胶带将试样粘接在70
°
预倾台的样品支撑面上。导电胶带虽然可以固定试样，但难以避免试样在重力作用下的滑移问题，尤其是一些重量较大的试样。试样滑移会引起图像失真，进而影响实验结果的准确性。此外，现在常用的70
°
预倾台仅有一个尺寸较小的样品支撑面，在测试多个试样时，会浪费大量的时间用于更换试样。
技术内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于EBSD测试的样品台，其特征在于，包括：连接杆、底座和样品夹；所述连接杆的上端与底座相连接，所述连接杆的下端与扫描电镜样品台相连接；所述底座远离所述连接杆的一端为安装端，所述安装端的侧面由至少四个支撑面依次连接围绕而成；每个所述支撑面与所述底座底面的夹角均为锐角；每个所述支撑面上均设置有所述样品夹；所述样品夹用于装夹待测试的试样；每个所述支撑面上均设置有第一固定孔；所述样品夹包括卡槽和连接在所述卡槽凹口背面的固定杆，所述卡槽用于装夹所述试样；所述固定杆插入所述第一固定孔中，且通过第一夹紧螺丝固定。2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述卡槽包括相对设置的上卡台和下卡台；所述上卡台和所述下卡台的内壁上均设置有第二夹紧螺丝，所述第二夹紧螺丝用于固定所述试样。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯小虎，赵学平，刘飞，白朴存，崔晓明，
申请(专利权)人：内蒙古工业大学，
类型：新型
国别省市：