本实用新型专利技术涉及一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，包括依次安装的第一主换热器和第二主换热器，第一主换热器和第二主换热器上设有第一低温氮气管和混合气输送总管，第一主换热器和第二主换热器的一侧设有脱氢精馏塔和液化提纯塔，液化提纯塔包括冷凝器段、精制回流段和蒸发器段，混合气输送总管与蒸发器段通过混合气输送支管相连通，混合气输送支管上设有第一调节阀，蒸发器段和混合气输送总管均与脱氢精馏塔相连通，脱氢精馏塔和精制回流段通过混合液输送管相连通，混合液输送管上设有第二调节阀。实现了从生产锑化铟晶体的工业废气中分离并且液化出高纯液氩。本实用新型专利技术调节、使用方便，具有广泛的市场前景。景。景。
【技术实现步骤摘要】
一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置
[0001]本技术涉及锑化铟晶体生产工艺废气回收高纯液氩的领域，具体涉及一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置。
技术介绍
[0002]锑化铟产品广泛应用于红外追踪、制导、热成像、监视、预警和天文观察等军事与民用红外系统中。锑化铟晶体作为红外器件的衬底材料需求量越来越大，为了制备出大规模阵列、高灵敏度和高温工作的红外探测器，对锑化铟晶体的质量要求越来越高。制备出高质量、低位错的锑化铟单晶有利于红外器件的快速发展。
[0003]锑化铟晶体的生产过程中通常需要用到氩气和氢气，尤其是工业化生产过程产生的混合废气，当锑化铟晶体的生产工艺放大后，产生的废气量非常大，废气中氩气含量非常高，氩气每吨单品价值较高，如果直接排放的话，会给企业会极大的增加企业生产过程中的成本，因此，需要对现有工艺进行改造。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供一种能够从生产锑化铟晶体所产生的工业废气中分离并且液化出高纯液氩的利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，用于克服现有技术中缺陷。
[0005]本技术采用的技术方案为：一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，包括依次安装的第一主换热器和第二主换热器，所述的第一主换热器和第二主换热器上设置有第一低温氮气管和混合气输送总管，第一主换热器和第二主换热器的一侧设置有脱氢精馏塔和液化提纯塔，所述的液化提纯塔从上至下依次包括冷凝器段、精制回流段和蒸发器段，第一低温氮气管的进口端和冷凝器段的冷源出口端相连通，第一主换热器和第二主换热器之间的混合气输送总管与蒸发器段的热源进口端通过混合气输送支管相连通，混合气输送支管上设置有第一调节阀，蒸发器段的热源出口端和混合气输送总管的出口端均与所述的脱氢精馏塔相连通，所述的脱氢精馏塔的塔底和精制回流段通过混合液输送管相连通，混合液输送管上设置有第二调节阀。
[0006]优选的，所述的脱氢精馏塔包括塔体，塔体内设置有填料层，填料层上方的塔体上连通有第一液氮输送管的出口端，第一液氮输送管的出口端上方的塔体上连通有第一废气排放管，第一废气排放管上设置有第三调节阀，填料层下方的塔体上设置有分离液进口管，蒸发器段的热源出口端以及混合气输送总管的出口端均与分离液进口管相连通。
[0007]优选的，所述的第一主换热器和第二主换热器还设置有第二低温氮气管，第一主换热器设置有补充氮气输送管，补充氮气输送管的出口端上连通有透平膨胀机的进口端，透平膨胀机的出口端上连通有缓冲罐，缓冲罐的内腔顶部与第二低温氮气管的进口端相连通，缓冲罐的内腔底部上连通有第一液氮输送管的进口端和第二液氮输送管的进口端，第二液氮输送管的出口端和冷凝器段的冷源进口端相连通。
[0008]优选的，所述的混合气输送总管的出口端安装在分离液进口管上，混合气输送总管的出口端和第二主换热器之间的混合气输送总管上设置有沿着第二主换热器至混合气输送总管的出口端的方向依次设置有第四调节阀和第一单向阀，第一单向阀和混合气输送总管的出口端之间的混合气输送总管与蒸发器段的热源出口端之间通过液化输送管相连通，液化输送管上设置有第五调节阀，冷凝器段的热源出口端上设置有第二废气排放管，第二废气排放管上设置有第六调节阀。
[0009]优选的，所述的第三调节阀和塔体之间的第一废气排放管上设置有温度传感器。
[0010]优选的，所述的第一液氮输送管和第二液氮输送管均分别设置有第七调节阀。
[0011]优选的，所述的冷凝器段、蒸发器段和缓冲罐上均分别设置有液位计。
[0012]优选的，所述的补充氮气输送管的进口端与第一主换热器之间的补充氮气输送管沿着补充氮气输送管的进口端与第一主换热器的方向依次设置有截止阀和增压机，第二低温氮气管的出口端以及第一低温氮气管均与截止阀和增压机之间的补充氮气输送管相连通。
[0013]本技术有益效果是：
[0014]首先，本技术实现了从生产锑化铟晶体所产生的工业废气中分离并且液化出高纯液氩，极大的降低了企业的生产成本。
[0015]其次，本技术所述的第一液氮输送管和第二液氮输送管均分别设置有第七调节阀。第一液氮输送管的出口端上方的塔体上连通有第一废气排放管，第一废气排放管上设置有第三调节阀，所述的第三调节阀和塔体之间的第一废气排放管上设置有温度传感器。通过安装温度传感器便于反馈通过第一废气排放管输送的废气的温度进而便于调节第一液氮输送管上的第七调节阀的开度，从而控制进入塔体冷源的输送量。
[0016]最后，本技术所述的冷凝器段、蒸发器段和缓冲罐上均分别设置有液位计。安装液位计便于反馈液位高度。
[0017]本技术具有结构简单，操作方便，设计巧妙，大大提高了工作效率，具有很好的社会和经济效益，是易于推广使用的产品。
附图说明
[0018]图1为本技术的结构示意图。
[0019]图2为图1细节A的局部放大示意图。
具体实施方式
[0020]如图1、2所示，一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，包括依次安装的第一主换热器1和第二主换热器2，所述的第一主换热器1和第二主换热器2上设置有第一低温氮气管3和混合气输送总管4，第一主换热器1和第二主换热器2的一侧设置有脱氢精馏塔和液化提纯塔，所述的液化提纯塔从上至下依次包括冷凝器段5、精制回流段6和蒸发器段7，冷凝器段5的热源通道与蒸发器段7的冷源通道通过精制回流段6的内腔相连通，第一低温氮气管3的进口端和冷凝器段5的冷源出口端相连通，第一主换热器1和第二主换热器2之间的混合气输送总管4与蒸发器段7的热源进口端通过混合气输送支管8相连通，混合气输送支管8上设置有第一调节阀9，蒸发器段7的热源出口端和混合气输送总管4的出口
端均与所述的脱氢精馏塔相连通，所述的脱氢精馏塔的塔底和精制回流段6通过混合液输送管10相连通，混合液输送管10上设置有第二调节阀11。
[0021]所述的脱氢精馏塔包括塔体12，塔体12内设置有填料层13，填料层13上方的塔体12上连通有第一液氮输送管14的出口端，填料层13下方的塔体12上设置有分离液进口管17，蒸发器段7的热源出口端以及混合气输送总管4的出口端均与分离液进口管17相连通。所述的第一主换热器1和第二主换热器2还设置有第二低温氮气管18，第一主换热器1设置有补充氮气输送管19，补充氮气输送管19的出口端上连通有透平膨胀机20的进口端，透平膨胀机20的出口端上连通有缓冲罐21，缓冲罐21的内腔顶部与第二低温氮气管18的进口端相连通，缓冲罐21的内腔底部上连通有第一液氮输送管14的进口端和第二液氮输送管22的进口端，第二液氮输送管22的出口端和冷凝器段5的冷源进口端相连通。所述的第一液氮输送管14和第二液氮输送管22均分别设置有第七调节阀30。第一液氮输送管14的出口端上方的塔体12上连通有第一废气排放管15，第一废气排放管15上设置有第三调节阀16，所述的第三调节阀16和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，包括依次安装的第一主换热器(1)和第二主换热器(2)，其特征在于：所述的第一主换热器(1)和第二主换热器(2)上设置有第一低温氮气管(3)和混合气输送总管(4)，第一主换热器(1)和第二主换热器(2)的一侧设置有脱氢精馏塔和液化提纯塔，所述的液化提纯塔从上至下依次包括冷凝器段(5)、精制回流段(6)和蒸发器段(7)，第一低温氮气管(3)的进口端和冷凝器段(5)的冷源出口端相连通，第一主换热器(1)和第二主换热器(2)之间的混合气输送总管(4)与蒸发器段(7)的热源进口端通过混合气输送支管(8)相连通，混合气输送支管(8)上设置有第一调节阀(9)，蒸发器段(7)的热源出口端和混合气输送总管(4)的出口端均与所述的脱氢精馏塔相连通，所述的脱氢精馏塔的塔底和精制回流段(6)通过混合液输送管(10)相连通，混合液输送管(10)上设置有第二调节阀(11)。2.根据权利要求1所述的利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，其特征在于：所述的脱氢精馏塔包括塔体(12)，塔体(12)内设置有填料层(13)，填料层(13)上方的塔体(12)上连通有第一液氮输送管(14)的出口端，第一液氮输送管(14)的出口端上方的塔体(12)上连通有第一废气排放管(15)，第一废气排放管(15)上设置有第三调节阀(16)，填料层(13)下方的塔体(12)上设置有分离液进口管(17)，蒸发器段(7)的热源出口端以及混合气输送总管(4)的出口端均与分离液进口管(17)相连通。3.根据权利要求1所述的利用锑化铟晶体生产工艺废气制取高纯液氩的装置，其特征在于：所述的第一主换热器(1)和第二主换热器(2)还设置有第二低温氮气管(18)，第一主换热器(1)设置有补充氮气输送管(19)，补充氮气输送管(19)的出口端上连通有透平膨胀机(20)的进口端，透平膨胀机(20)的出口端上连通有缓冲罐(21)，缓冲罐(21)的内腔顶部与第二低温氮气管(18)的进口端相连通，缓冲罐...
【专利技术属性】
技术研发人员：燕春福，郭睿，
申请(专利权)人：开封市鑫联空分设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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