干式涡旋真空泵的气镇结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种干式涡旋真空泵的气镇结构，属于泵技术领域。它解决了现有的涡旋真空泵运行时蒸汽容易在排气口凝结的问题。本干式涡旋真空泵的气镇结构，干式涡旋真空泵包括静涡旋盘，静涡旋盘上具有静螺旋槽，气镇结构包括与位于静涡旋盘内的气镇通道和安装在气镇通道内的气镇阀；气镇通道与静螺旋槽内端相连通。本干式涡旋真空泵增设了气镇通道和气镇阀，气镇阀有效避免气体经气镇通道排出以及控制空气是否进入静螺旋槽内；当空气经气镇通道进入静螺旋槽内，避免气体中水汽在静螺旋槽内端凝结；当气镇阀阻止空气进入静螺旋槽内时可提高干式涡旋真空泵的极限真空度。时可提高干式涡旋真空泵的极限真空度。时可提高干式涡旋真空泵的极限真空度。

【技术实现步骤摘要】
干式涡旋真空泵的气镇结构


[0001]本技术属于泵
，涉及一种真空泵，特别是一种干式涡旋真空泵。

技术介绍

[0002]干式涡旋真空泵主要由一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空的基本抽气机构。涡旋盘是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个涡旋型盘状结构。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。
[0003]关于干式涡旋真空泵的相关文献较多，如无油涡旋真空泵（申请号97109681.3），全旋涡旋干式真空泵（申请号200810139527.7）。之后申请人也提出了一种涡旋真空泵（申请号201320121796.7），该涡旋真空泵存在着一些不足之处，1、偏心主轴转动稳定性低，进而影响涡旋真空泵运行稳定性；2、真空泵运行涡旋盘付存在发热是客观存在的，进而引起动、静涡旋盘发热形变，影响抽气效率，甚至导致动、静涡旋盘抱死；3、动、静涡旋盘之间通常具有细小间隙，进而影响密封性，导致极限真空度不足；4、蒸汽容易在排气口凝结，进而影响排气效率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干式涡旋真空泵的气镇结构，干式涡旋真空泵包括静涡旋盘，静涡旋盘（2b）上具有静螺旋槽（2b2），其特征在于，气镇结构包括与位于静涡旋盘（2b）内的气镇通道（2h）和安装在气镇通道（2h）内的气镇阀（2d）；气镇通道（2h）与静螺旋槽（2b2）内端相连通。2.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的气镇结构，其特征在于，所述静螺旋槽（2b2）由内至外的第二圈与气镇通道（2h）相连通。3.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的气镇结构，其特征在于，所述气镇通道（2h）的端口位于静螺旋槽（2b2）的底面上。4.根据权利要求1所述的干式涡旋真空泵的气镇结构，其特征在于，所述气镇通道（2h）包括能与外界相连通的大通道和连通大通道与静螺旋槽（2b2）的小通道，小通道用于控制流量。5.根据权利要求1或2或3或4所述的干式涡旋真空泵的气镇结构，其特征在于，所述气镇阀（2d）包括与静涡旋盘（2b）固定连接的阀芯座（2d1），阀芯座（2d1）内具有控制通道（2d2）；气镇阀（2d）还包括自动阀芯组件和手动阀芯组件，当静螺旋槽（2b2）内端气压低于外界气压时自动阀芯组件能使控制通道（2d2）与气镇通道（2h）自动的第一阀芯组件；手...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭波，董仁军，朱跃，
申请(专利权)人：临海市谭氏真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：