一种具有双介质埋层的耐压层结构及SOI功率器件制造技术

技术编号:3239744 阅读:193 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供了一种用于SOI功率器件的具有双介质埋层的耐压层结构,以及采用该耐压层结构的SOI功率器件,属于SOI功率器件耐压技术领域。本实用新型专利技术耐压层具有双介质埋层,两介质埋层之间设置中间层。本实用新型专利技术采用的耐压层及其采用该耐压层制作的功率器件,在相同介质埋层厚度的情况下可以提高耐压,而在相同的耐压情况下可以大幅度减小自热效应,从而制作高耐压的SOI功率器件。(*该技术在2016年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有双介质埋层的耐压层结构,包括衬底层(1)、介质层(2、14)、有源半导体层(3)、其特征在于:介质层有第一介质层(2)和第二介质层(14),所述第一介质层(2)与第二介质层(14)之间设有中间层(15),第一介质层另一侧与有源半导体层(3)相连,第二介质层(14)另一侧与衬底层(1)相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:罗小蓉张波李肇基杨寿国詹瞻
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1