【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有双介质埋层的耐压层结构,包括衬底层(1)、介质层(2、14)、有源半导体层(3)、其特征在于:介质层有第一介质层(2)和第二介质层(14),所述第一介质层(2)与第二介质层(14)之间设有中间层(15),第一介质层另一侧与有源半导体层(3)相连,第二介质层(14)另一侧与衬底层(1)相连。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:罗小蓉,张波,李肇基,杨寿国,詹瞻,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:实用新型
国别省市:90[中国|成都]
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