本实用新型专利技术公开了一种声波器件，包括衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极；指状电极交替连接两母线，相邻指状电极相互隔离；任一指状电极均包括多段指状子电极，相邻指状子电极的朝向不同。由于相邻指状子电极的朝向不同，使得声波会向多个方向传播，且各向同性。因为传播方向并不单一，不易产生横向模式，因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状，增加了设计度，有利于减小器件最终的尺寸，降低成本。本实用新型专利技术还提供了一种滤波装置，同样具有上述有益效果。同样具有上述有益效果。同样具有上述有益效果。
【技术实现步骤摘要】
一种声波器件以及一种滤波装置
[0001]本技术涉及声波器件
，特别是涉及一种声波器件以及一种滤波装置。
技术介绍
[0002]声波滤波器可在高频电路中使用，例如用作带通滤波器。声波滤波器由若干个声波谐振器组合而成。声波谐振器按振动模式一般分为声表面波(SAW)器件和体声波(BAW)器件。SAW器件使用叉指电极(IDT)来将电能转换成声能，或者相反地将声能转换成电能。BAW器件与SAW器件类似，依靠压电材料的压电效应形成谐振。BAW谐振器一般由上电极层，压电层，下电极层组成三明治结构，产生谐振。下电极下方是空气腔(FBAR)或者声学反射层(SMR)，谐振区域发生在压电层内而非表面。
[0003]近年来，以声波谐振器为基本单元的滤波器，双工器等，越来越小型化，高频化和宽带化，同时对功率承受能力也要求更高。LiNbO3和LiTaO3因具有较高的材料压电系数(K2)而被广泛应用于高频大带宽要求的声波器件。但是现阶段，声波器件在工作时产生的横向寄生模式会影响声波器件的性能，所以如何减少工作时横向寄生模式的产生是本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种声波器件，可以有效减少横向寄生模式的产生；本技术还提供了一种滤波装置，可以有效减少横向寄生模式的产生。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供一种声波器件，包括：
[0006]衬底；
[0007]位于所述衬底一侧的压电层；
[0008]位于所述压电层背向所述衬底一侧表面的叉指电极；所述叉指电极包括两条母线以及位于两条所述母线之间的指状电极；所述指状电极交替连接两所述母线，相邻所述指状电极相互隔离；任一所述指状电极均包括多段指状子电极，相邻所述指状子电极的朝向不同。
[0009]可选的，所述指状子电极呈弧形。
[0010]可选的，所述指状电极呈波浪形。
[0011]可选的，所述指状电极呈半圆形。
[0012]可选的，所述指状电极呈圆形。
[0013]可选的，两条所述母线位于同一直线。
[0014]可选的，所述母线包括第一母线和第二母线，所述指状电极包括交替设置的第一指状电极与第二指状电极，所述指状电极均设置有一缺口；所述第一指状电极与所述第一母线连接，所述第一指状电极的缺口对应所述第二母线；所述第二指状电极与所述第二母线连接，所述第二指状电极的缺口对应所述第一母线。
[0015]可选的，所述母线包括第一母线和第二母线，所述指状电极包括交替设置的第一指状电极与第二指状电极；所述第一指状电极背向所述衬底一侧表面对应所述第二母线的位置设置有第一隔离层，所述第二指状电极背向所述衬底一侧表面对应所述第一母线位置设置有第二隔离层；所述第一母线跨置所述第二隔离层与所述第一指状电极连接，所述第二母线跨置所述第一隔离层与所述第二指状电极连接。
[0016]本技术还提供了一种滤波装置，包括如上述任一项所述的声波器件。
[0017]本技术所提供的一种声波器件，包括：衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极；指状电极交替连接两母线，相邻指状电极相互隔离；任一指状电极均包括多段指状子电极，相邻指状子电极的朝向不同。
[0018]由于相邻指状子电极的朝向不同，使得声波会向多个方向传播，且各向同性。因为传播方向并不单一，不易产生横向模式，因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状，增加了设计度，有利于减小器件最终的尺寸，降低成本。
[0019]本技术还提供了一种滤波装置，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。
附图说明
[0020]为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本技术实施例所提供的一种声波器件的俯视结构示意图；
[0022]图2为图1的剖视结构示意图；
[0023]图3为本技术实施例所提供的第一种具体的声波器件的俯视结构示意图；
[0024]图4为本技术实施例所提供的第二种具体的声波器件的俯视结构示意图；
[0025]图5为本技术实施例所提供的第三种具体的声波器件的俯视结构示意图；
[0026]图6为本技术实施例所提供的一种具体的声波器件的结构示意图；
[0027]图7为本技术实施例所提供的另一种具体的声波器件的结构示意图；
[0028]图8为图7的剖视结构示意图；
[0029]图9为不同切角的谐振频率和机电耦合系数比较图；
[0030]图10为不同切角的非圆形性能比较图；
[0031]图11为切角为0
°
与切角为90
°
的仿真导纳曲线。
[0032]图中：1.衬底、2.压电层、3.母线、31.第一母线、32.第二母线、4.指状电极、41.第一指状电极、42.第二指状电极、5.指状子电极、6.隔离层、61.第一隔离层、62.第二隔离层。
具体实施方式
[0033]本技术的核心是提供一种声波器件。在现有技术中，叉指电极的形状一般是做成沿叉指方向较短，沿母线方向较长的矩形状，以减小电极的损耗。但是该形状的叉指电极会在工作时产生大量的横向寄生模式，从而影响声波器件性能。
[0034]而本技术所提供的一种声波器件，包括：衬底；位于衬底一侧的压电层；位于
压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极；指状电极交替连接两母线，相邻指状电极相互隔离；任一指状电极均包括多段指状子电极，相邻指状子电极的朝向不同。
[0035]由于相邻指状子电极的朝向不同，使得声波会向多个方向传播，且各向同性。因为传播方向并不单一，不易产生横向模式，因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状，增加了设计度，有利于减小器件最终的尺寸，降低成本。
[0036]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0037]请参考图1至图5，图1为本技术实施例所提供的一种声波器件的俯视结构示意图；图2为图1的剖视结构示意图；图3为本技术实施例所提供的第一种具体的声波器件的俯视结构示意图；图4为本技术实施例所提供的第二种具体的声波器件的俯视结构示意图；图5为本技术实施例所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种声波器件，其特征在于，包括：衬底；位于所述衬底一侧的压电层；位于所述压电层背向所述衬底一侧表面的叉指电极；所述叉指电极包括两条母线以及位于两条所述母线之间的指状电极；所述指状电极交替连接两所述母线，相邻所述指状电极相互隔离；任一所述指状电极均包括多段指状子电极，相邻所述指状子电极的朝向不同。2.根据权利要求1所述的声波器件，其特征在于，所述指状子电极呈弧形。3.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，所述指状电极呈波浪形。4.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，所述指状电极呈半圆形。5.根据权利要求2所述的声波器件，其特征在于，所述指状电极呈圆形。6.根据权利要求4或5所述的声波器件，其特征在于，两条所述母线位于同一直线。7.根据权利要求5所述的声波器件，其特征在于，所述母线包括第一母线和第二母...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭波华，胡念楚，贾斌，
申请(专利权)人：开元通信技术厦门有限公司，
类型：新型
国别省市：
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