减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置制造方法及图纸

为了使附着在减压处理室内的部件上的微颗粒飞散，清洁部件，采用将电压加在部件上，利用麦克斯韦应力使微颗粒飞散的方法；使微颗粒带电，利用库仑力飞散的方法，将气体导入减压处理室中，使气体冲击波到达附着有微颗粒的部件，使微颗粒飞散的方法；使部件温度上升，利用热应力和热泳动力，使微颗粒飞散的方法；或将机械振动给与部件，使微颗粒飞散的方法。另外，使飞散的微颗粒在较高压的气氛下被气体流夹带除去。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种部件清洁方法，使附着在减压处理室的部件上的微颗粒飞散，其特征为，将电压加在所述部件上，根据所述部件的介电常数和所述微颗粒的介电常数之差，使附着在所述部件上的微颗粒飞散。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋刚，长池宏史，中山博之，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]