【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种等离子体处理装置,对被处理体实施规定的等离子体处理,其特征在于:包括:能够抽成真空的处理容器;保持所述被处理体的被处理体保持单元;产生高频电压的高频电源;将经过等离子体化的等离子体化气体供给至所述处理容器 内的等离子体气体供给单元;为了在所述处理容器内产生等离子体,通过配线与所述高频电源的输出侧连接,均处于激发电极状态的一对等离子体电极;和设置在所述配线中途的具有阻抗的高频匹配单元,各等离子体电极不接地。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:阿部寿治,高桥俊树,松浦广行,
申请(专利权)人:东京毅力科创株式会社,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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