泡沫金属吸液芯及其制备方法和均热板技术

一种泡沫金属吸液芯及其制备方法、由该制备方法制得的泡沫金属吸液芯和具有该泡沫金属吸液芯的均热板，该制备方法包括：准备多孔基材；对多孔基材进行一级真空镀膜，在多孔基材表面沉积铝层，形成第一过程产品；高温加热第一过程产品，去除第一过程产品内的多孔基材，形成第二过程产品；将所述第二过程产品浸入到酸性溶液中，去除铝层表面的氧化层，形成第三过程产品；将第三过程产品进行清洗并烘干，去除第三过程产品表面残留的酸液；将烘干后的第三过程产品放入电解液中进行阳极氧化处理，在铝层表面形成硬质氧化层，得到第四过程产品；对第四过程产品进行二级真空镀膜，在硬质氧化层表面形成金属保护层，得到泡沫金属吸液芯的成品。吸液芯的成品。吸液芯的成品。

【技术实现步骤摘要】
泡沫金属吸液芯及其制备方法和均热板


[0001]本申请涉及散热装置
，尤其涉及一种泡沫金属吸液芯及其制备方法和均热板。

技术介绍

[0002]随着5G市场的逐渐普及，高功率器件的散热问题成为业界需要主要攻克的难题。目前高效的散热方式最常规的方案是采用真空腔均热板(VC均热板)，而市场上占据主导地位的均热板为铜系均热板。铜系散热均热板虽然散热效果佳，但是铜的重量重、价格贵，大大增加了设备的重量以及安装成本。鉴于这些原因，近年行业开始研发铝系结构的散热均热板，其中铝系散热均热板的吸液芯是关键选择之一。

技术实现思路

[0003]鉴于上述状况，本申请提供一种泡沫金属吸液芯的制备方法、由该制备方法制得的泡沫金属吸液芯和具有该泡沫金属吸液芯的均热板，采用铝材作为泡沫金属的基底，通过电镀、真空镀膜等工艺在泡沫金属表面依次形成硬质氧化层和金属保护层，对泡沫金属的表层进行改性，工艺简单有效且成本低，使泡沫金属吸液芯的结构具备强毛细作用力和稳定性，还可以延长泡沫金属吸液芯的使用寿命。有效解决了传统均热板的重量重、成本高等问题。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种泡沫金属吸液芯的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：准备多孔基材；对多孔基材进行一级真空镀膜，在多孔基材表面沉积铝层，形成第一过程产品；高温加热第一过程产品，去除第一过程产品内的多孔基材，形成第二过程产品；将所述第二过程产品浸入到酸性溶液中，去除铝层表面的氧化层，形成第三过程产品；将第三过程产品进行清洗并烘干，去除第三过程产品表面残留的酸液；将烘干后的第三过程产品放入电解液中进行阳极氧化处理，在铝层表面形成硬质氧化层，得到第四过程产品；对第四过程产品进行二级真空镀膜，在硬质氧化层表面形成金属保护层，得到泡沫金属吸液芯的成品。2.如权利要求1所述的泡沫金属吸液芯的制备方法，其特征在于，所述多孔基材的孔径大小在80um
‑
150um之间，所述多孔基材的厚度为0.6mm
‑
2mm之间，多孔基材的材料包括三聚氰胺材料。3.如权利要求1所述的泡沫金属吸液芯的制备方法，其特征在于，所述对多孔基材进行一级真空镀膜，在多孔基材表面沉积铝层的步骤包括：监测所述铝层厚度；确认所述铝层厚度达到目标厚度时，停止镀膜制程。4.如权利要求3所述的泡沫金属吸液芯的制备方法，其特征在于，所述铝层的目标厚度为30um
‑
100um之间，平均面密度为150
‑
180g/
㎡
。5.如权利要求1所述的泡沫金属吸液芯的制备方法，其特征在于，所述高温加热第一过程产品，去除多孔基材的步骤包括：将第一过程产品送入加热炉；进行一级高温分解，以第一温度加热第一过程产品，第一温度为250
‑
300℃，加热时间大于或等于20min；进行二级高温分解，对一次高温分...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐飞飞，张刚，张帆，胡磊，黄佳伟，贾泽峰，
申请(专利权)人：江苏中天科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：