一种以等离子处理气体污染物的装置制造方法及图纸

一种以等离子处理气体污染物的装置，包括一微波源、一波导组件及一谐振腔，该微波源产生一微波振荡，该波导组件耦接至该微波源，该谐振腔耦接至该波导组件，该微波振荡实质上朝一波导方向传递，该谐振腔包括一第一腔室及一第二腔室，该波导方向实质上平行于该第一腔室的一基准轴线，该第一腔室具有一围绕该基准轴线的内壁，该内壁包括一朝该基准轴线倾斜的第一内壁及一相对该基准轴线实质上平行的第二内壁，该第一内壁的面积大于该第二内壁使该第一腔室形成一渐缩的锥形空间，该微波振荡于该第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬。第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬。第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬。第二腔室和一点火气体反应而形成一火炬。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：田志伟，
申请(专利权)人：益科斯有限公司，
类型：发明
国别省市：