一种束流直径可调的大气压等离子体射流发生器及使用方法技术

本发明专利技术公开一种束流直径可调的大气压等离子体射流发生器及使用方法，包括弹性体管头、紧固套筒、发生器主体、中心调节管、金属丝电极，所述弹性体管头与所述发生器主体同轴连接，所述紧固套筒与所述发生器主体通过螺纹连接，所述紧固套筒对应所述弹性体管头设置，所述中心调节管置于所述发生器主体的主腔通道内，所述金属丝电极与所述中心调节管连接并置于所述发生器主体的主腔通道内；本发明专利技术可在线调节大气压等离子体射流发生器喷嘴尺寸，从而快速调控等离子体射流的束流直径，且具有结构简单、体积小、操作方便等优点。操作方便等优点。操作方便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种束流直径可调的大气压等离子体射流发生器及使用方法


[0001]本专利技术涉及低温等离子体
，具体涉及一种束流直径可调的大气压等离子体射流发生器及使用方法。

技术介绍

[0002]大气压等离子体射流是利用电场和气流的作用使放电区域产生的等离子体从发生器的孔口喷出，形成等离子体射流，是一种电子能量较高而离子能量较低的大气压非平衡等离子体。相较于低气压等离子体，大气压等离子体射流摆脱了真空装置的限制，且具有温度低、活性粒子种类多活性强、装置结构简单、成本低廉和操作方便等显著优势，因此在材料表面处理、环境保护以及生物医学等领域越来越受到人们的广泛关注。
[0003]大气压等离子体射流在与材料表面加工接触的过程中，等离子体射流的束流直径将直接影响被加工区域的面积或线宽，因此对等离子体射流的束流直径进行调控具有重要意义和价值。而目前对于大气压等离子体射流发生器绝大部分均采用刚性的介质管或金属管制备，其发生器孔口直径固定。如果想改变等离子体射流的束流直径，必须整体更换等离子体射流发生器，因此操作过程繁琐，工艺复杂且成本高昂。实际上，通过改变本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种束流直径可调的大气压等离子体射流发生器，其特征在于，包括弹性体管头、紧固套筒、发生器主体、中心调节管、金属丝电极，所述弹性体管头与所述发生器主体同轴连接，所述紧固套筒与所述发生器主体通过螺纹连接，所述紧固套筒对应所述弹性体管头设置，所述中心调节管置于所述发生器主体的主腔通道内，所述金属丝电极与所述中心调节管连接并置于所述发生器主体的主腔通道内。2.如权利要求1所述的束流直径可调的大气压等离子体射流发生器，其特征在于，所述弹性体管头包括弹性凸头和弹性座，且所述弹性体管头轴线上设置有喷嘴，所述弹性凸头和所述弹性座同轴固定连接设置。3.如权利要求2所述的束流直径可调的大气压等离子体射流发生器，其特征在于，所述紧固套筒包括套筒段和锥帽段，所述锥帽段设置在所述套筒段的一端，所述套筒段设置为圆柱形筒状件，所述锥帽段设置为环形件，所述锥帽段的外圆直径沿远离所述套筒段逐渐减小，所述锥帽段的内圆直径沿远离所述套筒段逐渐减小。4.如权利要求3所述的束流直径可调的大气压等离子体射流发生器，其特征在于，所述发生器主体包括前端套管、卡爪、管体、主腔通道和进气孔，所述前端套管、所述卡爪均设置在所述管体的一端，若干所述卡爪环形围设在所述前端套管的外部，所述管体的轴线上设置所述主腔通道，所述前端套管的轴线上设置有连通腔，所述主腔通道和所述连通腔连通，所述中心调节管设置在所述主腔通道内且可在轴向上自由移动，所述金属丝电极可在所述中心调节管内沿轴向自由移动，所述弹性凸头设置在所述连通腔内，所述管体外圆面上径向...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，王圣泉，汪加豪，孙凤月，杨伟智，李蒙，张兴权，
申请(专利权)人：安徽工业大学，
类型：发明
国别省市：