服务器装置和程序制造方法及图纸

在以往的服务器装置中存在无法容易且有效地进行异常分析的问题。通过如下的服务器装置能够容易且有效地进行异常分析，该服务器装置保存多个测量信息，该测量信息是关于由多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息，保存作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息的一个以上的对应，具备：异常信息输出部，其输出一个以上的异常信息；图表构成部，其在接受了对于异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出图表构成部构成的一个以上的图表。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及 一 种例如具备对被处理基板进行规定的工艺 的多个制造装置、以及连接在该多个制造装置上的服务器装置 的群管理系统、服务器装置等。
技术介绍
在以往的群管理系统中，实现了能够自动且正确地加工从 测量器发送过来的数据的半导体制造装置的群管理系统中的测 量数据加工方法(例如，参照专利文献l)。在本测量数据加工方 法中，由群管理系统的群管理部的测量器通信部接收测量器发 送过来的各种测量数据。本测量数据加工方法预先登记对上述 测量数据进行加工的计算式，在接收到上述测量数据时，将上 述测量数据保存到测量数据接收緩冲器中，并且根据上述测量 数据所具有的制程配方名称，从上述被登记的计算式中选择适 于加工上述测量数据的、至少具有一个相同的制程配方名称的计算式并保存到计算式保存緩沖器中，将所保存的上述测量数 据应用到上述所选择的计算式中进行计算，将计算结果存储到 已加工数据保存緩冲器中。另外，在以往的半导体制造装置的群管理系统中，具有显 示由半导体制造装置测量得到的按时间序列的信息(以下记载为图表(chart))的功能。在该图表中显示了群管理系统所管理的 多个半导体制造装置的信息。并且，在以往的群管理系统中具有使用图表来进行异常检测、之后进行异常分类的FDC(fault detection and classification:故障才全测和分类方法)之类的功能。 专利文献l:日本特开平11-354395号公报(第一页，第一图等)
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在以往的半导体制造装置的群管理系统中，在检测 到异常之后进行异常分析时，需要用户事先记住该异常数据， 另外起动输出图表的应用程序来输出图表，用户自己在图表上 查找异常数据。另外，在某测量信息中识别出异常的情况下，关联着其它 的测量信息的情况也较多，但是，上述关联使得需要依赖于用 户的经验、直觉来查找包含其它测量信息的图表。用于解决问题的方案本专利技术的服务器装置是一种构成群管理系统的服务器装 置，该群管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制 造装置以及与该多个制造装置相连接的服务器装置，该群管理 系统具有在检测出异常之后进行异常分析的功能，该服务器装置具备接受部，其接受包含指示的输入；测量信息保存部， 其能够保存多个测量信息，该测量信息是关于由上述多个制造 装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述制造装 置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息；异常信息保存 部，其能够保存一个以上的、作为表示异常的信息的异常信息 与一个以上的测量信息之间的对应；异常信息输出部，其输出 上述异常信息保存部所保存的 一 个以上的异常信息；图表构成 部，其在上述接受部接受了对于由上述异常信息输出部输出的 一个以上的异常信息中的 一 个以上的异常信息的指示、即异常 信息指示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的一个以上 的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出由上述图表构成部构成的一个以上的图表。 附图说明图l是表示实施方式中的群管理系统的概念图。 图2是表示该半导体晶圆制造装置的例子的图。图3是该群管理系统的框图。图4是说明该制造装置的动作的流程图。图5是说明该服务器装置的动作的流程图。图6是说明该服务器装置的异常检测处理的细节的流程图。图7是表示该源信息的例子的图。图8是表示该源信息管理表的图。图9是表示该测量信息管理表的图。图IO是表示包含异常的测量值的该测量信息的例子的图。图ll是表示该异常信息管理表的图。图12是表示该异常一览表的图。图13是表示该组图信息管理表的图。图14是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。图15是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。图16是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。图17是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。图18是表示在该客户端装置中的图表的输出例的图。具体实施例方式下面，参照附图说明服务器装置等的实施方式。此外，在 实施方式中附加了相同附图标记的结构要素进行相同的动作， 因此有时省略再次的说明。(实施方式)图1是本实施方式中的群管理系统的概念图。群管理系统 例如是对半导体制造装置、液晶面板制造装置等的制造装置进 行控制的系统。另外，群管理系统具有一个以上的制造装置ll(制造装置ll(l)至制造装置ll(n))、服务器装置12、以及客户 端装置13。制造装置ll是制造晶圓的装置。制造装置ll例如进行成膜 处理、蚀刻处理、热氧化处理等的对被处理基板进行的各种处 理。制造装置ll例如是复合工艺型的半导体晶圆制造装置。图2 示出了本半导体晶圆制造装置的例子。如图2所示，本半导体晶 圆制造装置构成为具备多个(例如三个)工艺室(process chamber)l、 2、 3，该多个工艺室l、 2、 3对半导体晶圆进行各 种处理、例如成膜处理、蚀刻处理、热氧化处理等；晶舟室 (cassette chamber)4、 5,该晶舟室4、 5收容可容纳多片(例如50 片)晶圓W的晶舟C1、 C2;以及输送室6，其在工艺室l、 2、 3 与晶舟室4、 5之间进行晶圆W的传送。在各室之间通过闸阀G 开关自如地进行连结。在输送室6内设置有可进行伸缩动作以及 转动动作的例如多关节式的输送臂7，利用该输送臂7进行晶圆 W在室之间的输送。晶舟C1、 C2在被取入到晶舟室4、 5内时进 行90度反转，并且进行转动使得该晶舟C1、 C2的晶圆插卸口朝 向输送室6内的中心，从而被设置成可利用输送臂7耳又出和》丈入 晶圆W的姿势。另外，制造装置11例如保存作为与对晶圆进行的规定工艺 有关的信息的制程配方(通常是工艺条件值的集合)，使用该制 程配方进行控制。另外，服务器装置12是构成所谓的群管理系统的服务器装 置，保存多个制造装置ll中的各种测量信息，具有对该测量信 息检测异常的功能，并且具有后述的对该测量信息分析异常的功能。另外，客户端装置13对服务器装置12提出各种请求，接受 服务器装置12中的处理结果。图3是本实施方式中的群管理系统的框图。群管理系统具 备一个以上的制造装置ll、服务器装置12、客户端装置13。制造装置11具备输入接受部1101、制程配方保存部1102、 制造装置标识符保存部1103、产品晶圆片数保存部1104、处理 部1105、测量部1106、源信息存储部1107、以及源信息发送部 1108。服务器装置12具备接受部1201、测量信息保存部1202、异 常信息保存部1203 、组图表信息保存部1204、源信息接收部 1205、测量信息获耳又部1206、异常4佥测部1207、测量信息存Y诸 部1208、异常信息输出部1209、图表构成部1210、关联图表识 别信息获耳又部1211、关联图表构成部1212、以及l^出部1213。客户端装置13具备指示输入部1301、指示发送部1302、输 出信息^妄受部1303、以及终端输出部1304。输入接受部1101从制造装置11的用户接受各种输入。各种 输入是指，例如制程配方、识别制程配方的制程配方标识符、 识别制造装置的制造装置标识符、产品晶圆片数、包含仿真晶 圆(dummy wafer)片数的总晶圆片数、晶圆制造的指示(处理的 执行指示)本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种服务器装置，构成群管理系统，该群管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置以及与该多个制造装置相连接的服务器装置，该群管理系统具有在检测出异常之后进行异常分析的功能，该服务器装置具备：　接受部，其接受包含指示的输入；　 　测量信息保存部，其能够保存多个测量信息，该测量信息是关于由上述多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息；　异常信息保存部，其能够保存一个以上的、作为表示异常的信息的异常 信息与一个以上的测量信息之间的对应；　异常信息输出部，其输出上述异常信息保存部所保存的一个以上的异常信息；　图表构成部，其在上述接受部接受了对于由上述异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息 指示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及　输出部，其输出由上述图表构成部构成的一个以上的图表。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-5-9 129728/20061. 一种服务器装置，构成群管理系统，该群管理系统具备对被处理基板进行规定的工艺的多个制造装置以及与该多个制造装置相连接的服务器装置，该群管理系统具有在检测出异常之后进行异常分析的功能，该服务器装置具备接受部，其接受包含指示的输入；测量信息保存部，其能够保存多个测量信息，该测量信息是关于由上述多个制造装置测量出的信息的时间序列的信息，是具有识别上述制造装置的装置标识符和表示时刻的时刻信息的信息；异常信息保存部，其能够保存一个以上的、作为表示异常的信息的异常信息与一个以上的测量信息之间的对应；异常信息输出部，其输出上述异常信息保存部所保存的一个以上的异常信息；图表构成部，其在上述接受部接受了对于由上述异常信息输出部输出的一个以上的异常信息中的一个以上的异常信息的指示、即异常信息指示的情况下，由与对应于上述异常信息指示的一个以上的异常信息成对的一个以上的测量信息构成一个以上的图表；以及输出部，其输出由上述图表构成部构成的一个以上的图表。2. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于， 还具备组图表信息保存部，其能够保存一 个以上的组图表信息， 该组图表信息具有两个以上的作为识别图表的信息的图表识别 信息；关联图表识别信息获取部，其在上述 一 个以上的图表被输 出之后，在上述接受部接受了输出与该被输出的一个以上的图 表有关的关联图表的指示、即关联图表输出指示的情况下，从上述组图表信息保存部获取具有识别该被输出的一个以上的图 表的一个以上的图表识别信息中的所有的图表识别信息、或者 一个图表识别信息的组图表信息之中除了识别该被输出的一个 以上的图表的一个以上的图表识别信息之外的一个以上的图表识别信息；以及关联图表构成部，其使用上述关联图表识别信息获取部所 获取的一个以上的图表识别信息，按每个图表识别信息，从上 述测量信息保存部获取一个以上的测量信息，构成一个以上的 图表，其中，上述输出部还输出上述关联图表构成部所构成的一 个以上的图表。3. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，异常信息成对的 一 个以上的测量信息在视觉上与其它的测量信 息不同的形态的图表。4. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，上述图表构成部构成作为标绘有上述一 个以上的测量信息 的图表的SPC图表。5. 根据权利要求2所述的服务器装置，其特征在于， 上述关联图表构成部构成作为标绘有上述一个以上的测量信息的图表的SPC图表。6. 根据权利要求l所述的服务器装置，其特征在于，上述一 个以上的测量信息是具有两种测量值的测量信息， 上述图表构成部构成作为表示该两种测量值的相关的图表 ...

【专利技术属性】
技术研发人员：猪川匠，小山典昭，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]