半导体封装装置制造方法及图纸

技术编号:32321732 阅读:32 留言:0更新日期:2022-02-16 18:27
本公开涉及半导体封装装置,该半导体封装装置包括:线路层;第一芯片和第二芯片,相邻设置于所述线路层上;阻挡结构,设置于所述线路层上,位于所述第一芯片与所述第二芯片之间,所述阻挡结构的上表面高于所述第一芯片上表面,或者,所述阻挡结构的上表面与所述第一芯片上表面基本共面。片上表面基本共面。片上表面基本共面。

【技术实现步骤摘要】
半导体封装装置


[0001]本公开涉及半导体封装
,具体涉及半导体封装装置。

技术介绍

[0002]FOCoS(FanOut Chip on Substrate,扇出型基板上芯片)结构中,由于各材料结构因热膨胀系数差异,因此热循环过程中会有热应力产生,因此无法承受其应力下,易在底部填充剂(Under fill)与HBM(High Bandwidth Memory,高带宽存储器)芯片之间产生破裂(crack)或损伤(delam),进一步当经多次热循环制程时,翘曲扩大,也使底部填充剂与HBM芯片(Die)之间产生破裂或损伤扩大而裂至重布线层内而破坏重布线层。

技术实现思路

[0003]本公开提供了半导体封装装置及其制造方法。
[0004]第一方面,本公开提供了一种半导体封装装置,包括:
[0005]线路层;
[0006]第一芯片和第二芯片,相邻设置于所述线路层上;
[0007]阻挡结构,设置于所述线路层上,位于所述第一芯片与所述第二芯片之间,所述阻挡结构的上表面高于所述第一芯片上表面,或者,所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体封装装置,包括:线路层;第一芯片和第二芯片,相邻设置于所述线路层上;阻挡结构,设置于所述线路层上,位于所述第一芯片与所述第二芯片之间,所述阻挡结构的上表面高于所述第一芯片上表面,或者,所述阻挡结构的上表面与所述第一芯片上表面基本共面。2.根据权利要求1所述的装置,其中,所述装置还包括:底部填充剂,设置于所述第一芯片、所述阻挡结构及所述线路层之间。3.根据权利要求2所述的装置,其中,所述装置还包括:封装材,设置于所述线路层上,包覆所述第一芯片、所述第二芯片及所述阻挡结构。4.根据权利要求3所述的装置,其中,所述封装材部分设置于所述第二芯...

【专利技术属性】
技术研发人员:柯伯贤李德章洪志斌
申请(专利权)人:日月光半导体制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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