【技术实现步骤摘要】
一种超纯水制备用的电解装置
[0001]本技术涉及超纯水制备设备
,尤其涉及一种超纯水制备用的电解装置。
技术介绍
[0002]超纯水,又称UP水,电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,在用电渗析进行对纯净水除盐处理制备超纯水时,先将电渗析器两端的电极接上直流电,水中的盐类离子在电场的作用下,各自向一定方向移动,此这样,就形成了去除水中离子的淡水室和离子浓缩的浓水室,将浓水排放,淡水即为除盐水。
[0003]现有的用以对纯净水除盐处理制备超纯水的电解装置浓水室与淡水室之间没有明显的间隔机构,导致浓水被排放时会有部分淡水被顺带排出,导致超纯水的制备效率较低问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中用以对纯净水除盐处理制备超纯水的电解装置浓水室与淡水室之间没有明显的间隔机构,导致浓水被排放时会有部分淡水被顺带排出,导致超纯水的制备效率较低问题的问题,而提出的一种超纯水制备用的电解装置。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯水制备用的电解装置,包括电解釜(14),其特征在于,所述电解釜(14)底部固定连接有支脚(12),所述电解釜(14)顶部中间位置固定连接有进水管(5),所述电解釜(14)底部对称固定连接有硬水出水管(15),所述电解釜(14)顶部一侧固定连接有左电极杆(4),所述电解釜(14)靠左电极杆(4)对称固定连接有右电极杆(13),所述电解釜(14)顶部靠进水管(5)对称固定连接有固定箱(3),所述固定箱(3)底部固定连接有竖直弹簧(10),所述竖直弹簧(10)顶部固定连接有封闭板(8),所述封闭板(8)顶部固定连接有碰撞块(17)。2.根据权利要求1所述的一种超纯水制备用的电解装置,其特征在于,所述固定箱(3)两侧面均匀分布有交换孔(16),所述封闭板(8)侧面同样均匀分布有交换孔(16)且封闭板(8)与固定箱...
【专利技术属性】
技术研发人员:颜武华,邓良斌,
申请(专利权)人:福州法莫优科机械科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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