【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可以对所施加压力进行控制的外延顶笔装置。
技术介绍
外延顶笔通常用于外延片生长前、后的装、取片过程中。在外延生长之前， 需要借助外延顶笔的辅助将外延衬底片放置于石墨基座上，对于立式外延炉而 言，操作者需要借助顶笔的支撑将硅衬底片置于石墨基座的安置凹槽内。外延 生长完毕后，操作者通过类似的反向操作借助于顶笔将外延片取下。石墨基座 在外延生长过程中为衬底片提供加热功能。然而，对于立式外延炉而言，由于石墨基座的安置凹槽与水平面的夹角接近90度，硅衬底片在自身重力的作用 下，其上部和下部与基座接触的紧密程度不同，这通常会在外延生长过程中引 起外延衬底片上下区域表面温度的差别，从而导致外延片的厚度均匀性和电阻 率均匀性变差。值得指出的是，外延顶笔的另外一个重要作用，即通过对放入 石墨基座安置凹槽内的衬底片表面特定位置施加顶压，达到衬底片和基座的紧 密结合，保证在高温外延生长过程中衬底片表面具有均一的温度，从而得到具 有良好厚度均匀性和电阻率均匀性的外延片。现有的外延顶笔不具有压力控制的装置，操作者在使用外延顶笔对衬底片 进行顶压时所施加的压力值难免会因人而异，从而得到的顶压效果差异很大， 表现为生长出的同规格外延片的厚度均匀性和电阻率均匀性差别很大。此外， 过大的顶片压力会引起衬底片内部的应力集中，在外延生长后很容易发生碎片 现象。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以对所施加压力进行控制的外延顶笔装置，特 别是能够实现对顶笔设置不同的预紧压力值，并在当所施加的压力值超出预紧 压力值的情况下实现对压力值超出范围的有效控制。本专利技术的压力...
【技术保护点】
一种压力可控的外延顶笔装置，其特征在于包括顶笔头（１），笔身（２），滑杆（３），弹簧（４），筒状笔杆（５）和预紧螺丝（６），顶笔头（１）紧固在笔身（２）的一端，笔身（２）的另一端设有中心螺纹孔（９）和导向槽（７），滑杆（３）置于筒状笔杆（５）中，滑杆（３）的一端与笔身（２）的中心螺纹孔（９）螺纹连接，滑杆（３）的另一端具有与筒状笔杆（５）中的环形面（８）配合的凸台（１０），预紧螺丝（６）拧接在筒状笔杆（５）末端的螺纹孔（１１）中，弹簧（４）置于笔杆（５）末端的的螺纹孔（１１）中，其一端抵住预紧螺丝（６），另一端抵住滑杆（３）凸台（１０）的端面，笔杆（５）的顶端设有与导向槽（７）匹配的突出部分。
【技术特征摘要】
1. 一种压力可控的外延顶笔装置，其特征在于包括顶笔头(1)，笔身(2)，滑杆(3)，弹簧(4)，筒状笔杆(5)和预紧螺丝(6)，顶笔头(1)紧固在笔身(2)的一端，笔身(2)的另一端设有中心螺纹孔(9)和导向槽(7)，滑杆(3)置于筒状笔杆(5)中，滑杆(3)的一端与笔身(2)的中心螺纹孔(9)螺纹连接，滑杆(3)的另一端具有与筒状笔杆(5)中的环形面(8)配合的凸台(10)，预紧螺丝(6)拧接在筒状笔杆(5)末端的...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈华，丁海东，梁兴勃，彭世煜，王震，徐林海，张向成，
申请(专利权)人：宁波立立电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：97[中国|宁波]
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