金属化接触结构和形成硅太阳能电池多层电极结构的方法技术

金属化接触结构和形成硅太阳能电池多层电极结构的方法，包括在半导体衬底上沉积导电接触层和在导电接触层的一部分上沉积含金属墨水，其中导电接触层的暴露部分与含金属墨水相邻。通过从半导体衬底上除去导电接触层的暴露部分，对导电接触层进行图案化。含金属墨水与半导体衬底的介电层中的一个或多个开口对齐并且与导电接触层的未暴露部分对齐。导电接触层的未暴露部分夹在含金属墨水和半导体衬底的介电层之间，导电接触层图案与含金属墨水对齐。通过烧结含金属墨水，对半导体衬底进行热处理形成载流金属网格线。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
这里描述的是金属化接触结构和形成用于硅光电电池(此后称为 硅太阳能电池)的多层电极结构的方法。该金属化接触结构和用 于形成多层电极结构的方法提供以小接触面积而具有低接触电阻并且 降低了表面重组的硅太阳能电池。通过该金属化接触结构和方法提供的硅太阳能电池保持高导电性、可焊性和通过银网格线(gridline) 电极的电流稳定性。太阳能电池是将太阳光直接转换成电的典型光电器件。太阳能电 池典型地包括硅半导体，硅半导体吸收光照例如太阳光，产生自由电 子，存在内建电场时使这些自由电子流动产生直流(此后称DC) 电。若干PV电池产生的DC功率可以收集到放置在电池上的网格(grid) 上。然后通过串联和并联组合将来自多个PV电池的电流组合成更大的 电流和电压。然后将由此收集的DC功率在电线上传送，通常是许多打 或者甚至是几百根电线。对用于金属化陆地配置的硅太阳能电池的当前技术是丝网印刷 (screen printing)。丝网印刷已经使用了几十年了 ，是可靠的、简 单的、快速的以及有成本效益的金属化方法，并且容易通过自动化操 作用于大规模太阳能电池制造。在用于金属化太阳能电池的常规丝网 印本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在太阳能电池上形成多层电极结构的方法，该方法包括：　在半导体衬底上沉积导电接触层；　在导电接触层的一部分上沉积含金属墨水，其中导电接触层的暴露部分与含金属墨水相邻；以及　通过从半导体衬底上除去导电接触层的暴露部分，对导 电接触层进行图案化。

【技术特征摘要】
US 2007-12-21 11/9629871、一种在太阳能电池上形成多层电极结构的方法，该方法包括在半导体衬底上沉积导电接触层；在导电接触层的一部分上沉积含金属墨水，其中导电接触层的暴露部分与含金属墨水相邻；以及通过从半导体衬底上除去导电接触层的暴露部分，对导电接触层进行图案化。2、 一种用于在太阳能电池上形成多层电极结构的方法，该方法包括提供具有介电层的半导体衬底，其中在半导体衬底的介电层中形成多个开口；在半导体衬底上沉积导电接触层，其中导电接触层沉积在多个开口中；在导电接触层的一部分上沉积含金属墨水，其中含金属墨水与多个开口对齐；对半导体衬底施加化学蚀刻剂以除去导电接触层的暴露部分并且对导电接触层图案化；以及在除去导电接触层的暴露部分之后对电极结构进行热处理。3、 一种半导体衬底上的金属化接触结构，包括经过图案化的介电层，包...

【专利技术属性】
技术研发人员：B徐，DK福克，
申请(专利权)人：帕洛阿尔托研究中心公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]