一种激光掩膜的脉冲电解设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光掩膜的脉冲电解设备，上升电推杆顶端固定安装有支撑绝缘板，分离盒内侧焊接有支撑承重板，支撑承重板一端卡接连接有滑动推动板，电镀盒顶端固定安装有匚型固定架，下压电推杆底端固定安装有防护绝缘板，防护绝缘板底端安装有激光脉冲器，将金属板放置到分离盒内侧，由分离盒和支撑承重板对金属板进行限位支撑，保证了放置的稳定性，由下压电推杆带动防护绝缘板将激光脉冲器带动到分离盒位置处，由激光脉冲器输出脉冲电解激光对金属板表面进行电解电镀，通过控制脉冲激光的脉冲速度使得在需要掩膜时可以快速的控制电解电镀的速度，将多个金属相互分离避免在电镀掩膜时相互影响。免在电镀掩膜时相互影响。免在电镀掩膜时相互影响。

【技术实现步骤摘要】
一种激光掩膜的脉冲电解设备


[0001]本技术涉及激光掩膜
，具体为一种激光掩膜的脉冲电解设备。

技术介绍

[0002]目前，现有的金属掩膜是利用光刻方法生成保护掩膜，光刻装置价格昂贵，工艺复杂，不易推广，另外，也有采用超窄脉冲电源无需掩膜直接进行微细电解加工微结构，目前在进行激光掩膜脉冲电解时一般通过种光纤激光掩膜微细电解复合加工装置进行操作。
[0003]但是目前激光掩膜无法对多块金属板进行同时电解掩膜，导致了在生产时速度较慢，同时在掩膜时未对金属板进行稳定限位固定，导致了在激光脉冲电解时位置容易出现偏移的情况。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种激光掩膜的脉冲电解设备，可以有效解决上述
技术介绍
中提出目前激光掩膜无法对多块金属板进行同时电解掩膜，导致了在生产时速度较慢，同时在掩膜时未对金属板进行稳定限位固定，导致了在激光脉冲电解时位置容易出现偏移的情况的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种激光掩膜的脉冲电解设备，包括电镀盒，所述电镀盒一侧安装有掩膜组件，所述掩膜组件包括上升电推杆、支撑绝缘板、分离盒、支撑承重板、滑动推动板、进液孔、匚型固定架、下压电推杆、防护绝缘板、激光脉冲器、进水管和单向阀；
[0006]所述电镀盒底端固定安装有上升电推杆，所述上升电推杆顶端固定安装有支撑绝缘板，所述支撑绝缘板顶端等距卡接连接有分离盒，所述分离盒内侧焊接有支撑承重板，所述支撑承重板一端卡接连接有滑动推动板，所述分离盒两端对称开设有进液孔，所述电镀盒顶端固定安装有匚型固定架，所述匚型固定架一端卡接连接有下压电推杆，所述下压电推杆底端固定安装有防护绝缘板，所述防护绝缘板底端对应分离盒位置处卡接安装有激光脉冲器，所述电镀盒一端底部贯穿有进水管，所述进水管一端嵌入安装有单向阀。
[0007]优选的，所述支撑绝缘板滑动安装于电镀盒内侧，所述上升电推杆、下压电推杆和激光脉冲器输入端与外部电源输出端电性连接。
[0008]优选的，所述滑动推动板底端焊接有辅助推动杆，所述防护绝缘板底端与分离盒顶端贴合。
[0009]优选的，所述电镀盒一侧安装有防护组件，所述防护组件包括滑动电推杆、密封防护板、真空泵、抽气管、排气管、进气管和限制阀；
[0010]所述电镀盒一端通过固定座安装有滑动电推杆，所述滑动电推杆一端固定连接有密封防护板，所述密封防护板顶端通过电机座安装有真空泵，所述密封防护板顶端贯穿有抽气管，所述抽气管出气端与真空泵进气端通过转接头连接，所述真空泵出气端通过转接头连接有排气管，所述电镀盒一端贯穿安装有进气管，所述进气管一端嵌入安装有限制阀。
[0011]优选的，所述密封防护板滑动安装于电镀盒顶端，所述滑动电推杆和真空泵输入端与外部电源输出端电性连接。
[0012]优选的，所述密封防护板一端焊接连接有导向柱，所述密封防护板一端开设有弧度槽。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术结构科学合理，使用安全方便：
[0014]1、设置有掩膜组件，将金属板放置到分离盒内侧，由分离盒和支撑承重板对金属板进行限位支撑，保证了放置的稳定性，由下压电推杆带动防护绝缘板将激光脉冲器带动到分离盒位置处，由激光脉冲器输出脉冲电解激光对金属板表面进行电解电镀，通过控制脉冲激光的脉冲速度使得在需要掩膜时可以快速的控制电解电镀的速度，将多个金属相互分离避免在电镀掩膜时相互影响，导致电镀出现异常的情况出现。
[0015]2、设置有防护组件，由滑动电推杆带动密封防护板对电镀盒内部密封，再由真空泵通过抽气管和排气管对内部进行抽气真空，在由进气管输入惰性气体对内部进行保护，使得在脉冲电解时可以保证内部环境的稳定性，避免混杂的空气对内部电解环境产生影响。
附图说明
[0016]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。
[0017]在附图中：
[0018]图1是本技术的立体结构示意图；
[0019]图2是本技术的掩膜组件的结构示意图；
[0020]图3是本技术的防护绝缘板的安装结构示意图；
[0021]图4是本技术的支撑绝缘板的安装结构示意图；
[0022]图5是本技术的防护组件的结构示意图；
[0023]图中标号：1、电镀盒；
[0024]2、掩膜组件；201、上升电推杆；202、支撑绝缘板；203、分离盒；204、支撑承重板；205、滑动推动板；206、进液孔；207、匚型固定架；208、下压电推杆；209、防护绝缘板；210、激光脉冲器；211、进水管；212、单向阀；
[0025]3、防护组件；301、滑动电推杆；302、密封防护板；303、真空泵；304、抽气管；305、排气管；306、进气管；307、限制阀。
具体实施方式
[0026]以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。
[0027]实施例：如图1
‑
5所示，本技术提供一种技术方案，一种激光掩膜的脉冲电解设备，包括电镀盒1，电镀盒1一侧安装有掩膜组件2，掩膜组件2包括上升电推杆201、支撑绝缘板202、分离盒203、支撑承重板204、滑动推动板205、进液孔206、匚型固定架207、下压电推杆208、防护绝缘板209、激光脉冲器210、进水管211和单向阀212；
[0028]电镀盒1底端固定安装有上升电推杆201，上升电推杆201顶端固定安装有支撑绝缘板202，支撑绝缘板202滑动安装于电镀盒1内侧，便于进行限位滑动，支撑绝缘板202顶端等距卡接连接有分离盒203，分离盒203内侧焊接有支撑承重板204，支撑承重板204一端卡接连接有滑动推动板205，滑动推动板205底端焊接有辅助推动杆，便于对滑动推动板205进行联动，分离盒203两端对称开设有进液孔206，电镀盒1顶端固定安装有匚型固定架207，匚型固定架207一端卡接连接有下压电推杆208，下压电推杆208底端固定安装有防护绝缘板209，防护绝缘板209底端与分离盒203顶端贴合，使得在脉冲电解时可以稳定进行防护，防护绝缘板209底端对应分离盒203位置处卡接安装有激光脉冲器210，电镀盒1一端底部贯穿有进水管211，进水管211一端嵌入安装有单向阀212，上升电推杆201、下压电推杆208和激光脉冲器210输入端与外部电源输出端电性连接，上升电推杆201的型号为HTA
‑
2500，下压电推杆208的型号为LX
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700，激光脉冲器210的型号为AUT
‑
DPL
‑
02。
[0029]电镀盒1一侧安装有防护组件3，防护组件3包括滑动电推杆301、密封防护板302、真空泵303、抽气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光掩膜的脉冲电解设备，包括电镀盒（1），其特征在于：所述电镀盒（1）一侧安装有掩膜组件（2），所述掩膜组件（2）包括上升电推杆（201）、支撑绝缘板（202）、分离盒（203）、支撑承重板（204）、滑动推动板（205）、进液孔（206）、匚型固定架（207）、下压电推杆（208）、防护绝缘板（209）、激光脉冲器（210）、进水管（211）和单向阀（212）；所述电镀盒（1）底端固定安装有上升电推杆（201），所述上升电推杆（201）顶端固定安装有支撑绝缘板（202），所述支撑绝缘板（202）顶端等距卡接连接有分离盒（203），所述分离盒（203）内侧焊接有支撑承重板（204），所述支撑承重板（204）一端卡接连接有滑动推动板（205），所述分离盒（203）两端对称开设有进液孔（206），所述电镀盒（1）顶端固定安装有匚型固定架（207），所述匚型固定架（207）一端卡接连接有下压电推杆（208），所述下压电推杆（208）底端固定安装有防护绝缘板（209），所述防护绝缘板（209）底端对应分离盒（203）位置处卡接安装有激光脉冲器（210），所述电镀盒（1）一端底部贯穿有进水管（211），所述进水管（211）一端嵌入安装有单向阀（212）。2.根据权利要求1所述的一种激光掩膜的脉冲电解设备，其特征在于，所述支撑绝缘板（202）滑动安装于电镀盒（1）内侧，所述上升电推杆（201）、下压电推杆（208）和激光脉冲器（210）输入端与外...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵俊淞，张赛博，李小海，
申请(专利权)人：佳木斯大学，
类型：新型
国别省市：