一种直接式振镜校正系统及校正方法技术方案

本发明专利技术适用于激光加工技术振镜校正领域，提供了一种直接式振镜校正系统，它包括：振镜控制模块，振镜扫描模块，CCD图像采集装置，CCD图像处理模块和校正处理模块。本发明专利技术还提供了上述直接式振镜校正系统的校正方法，包括5个步骤。本发明专利技术通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像，消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源，消除了外部光源不稳定导致的误差。本发明专利技术结构简单、稳定且无运动部件，消除了单点采集的电机运动误差。消除了单点采集的电机运动误差。消除了单点采集的电机运动误差。

【技术实现步骤摘要】
一种直接式振镜校正系统及校正方法


[0001]本专利技术涉及一种直接式振镜校正系统及其方法，属于激光加工技术振镜校正


技术介绍

[0002]在激光加工领域中大量使用振镜进行扫描加工，在设备安装、使用过程中，因机械结构误差、装配误差、光路调整误差等综合因素会导致扫描区域中的加工图形出现错位、变形等现象，采用传统的人工测量方法耗时费力，无法适应发展的需要。
[0003]公开号为CN 101513693A的专利技术专利申请公开了一种振镜系统及校正方法，公开号为CN 102152007A的专利技术专利申请公开了一种精密的振镜校正系统及校正方法，两种方法均采用CCD图像采集装置对矩阵标靶进行定位，并用校正处理模块输出振镜用的补偿文件。这两种方法较传统人工测量方法提高了精度与便捷性，但是上述两种方法均采用激光在校正板上切出标靶，使用外部光源照射标靶后通过CCD单点采集标记点并计算位置偏差。标靶灼烧的不对称、标靶移动、外部光源的均匀性等均会引入误差，进而对振镜校正造成影响。

技术实现思路

[0004]为了克服现有振镜校正系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直接式振镜校正系统，其特征在于，它包括：振镜控制模块，用于控制振镜摆动和激光器出光；振镜扫描模块，包括依次安装在激光器出射激光光路上的振镜和聚焦场镜，所述用于接收振镜控制系统发出的信号,在CCD图像采集装置上进行矩阵标靶标记；CCD图像采集装置，包括CCD摄像头，安装在聚焦场镜的正下方，用于对从聚焦场镜出射的激光光斑进行采集；CCD图像处理模块，用于对采集到的激光光斑进行图像处理，找出光斑的几何中心以及矩阵靶标的中心点，对采集到的光斑几何中心和理论坐标进行对比，算出每个光斑的理论坐标与实际坐标偏差值，并输出振镜补偿文件；校正处理模块，用于根据振镜补偿文件完成对振镜的校正。2.根据权利要求1所述的直接式振镜校正系统，其特征在于，所述CCD图像处理模块包括：定位模块，用于对采集到的激光光斑进行定位；偏差计算模块，用于对定位结果和理论坐标进行计算，计算出理论与实际的位置偏差；振镜补偿模块，用于对位置偏差生成振镜校正文件。3.根据权利要求1所述的直接式振镜校正系统，其特征在于：所述摄像头CCD18上安装有高精度镜头组，用于调节到摄像头CCD的视野以及聚焦焦点位置，让激光打出的矩阵靶标清晰地会聚到摄像头CCD上。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄曦凌，王丽，刘昆，汪于涛，骆工序，
申请(专利权)人：上海市激光技术研究所，
类型：发明
国别省市：