一种半导体激光器防反射光损伤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种半导体激光器防反射光损伤装置，包括光源和沿光源的光路传播方向依次排布的第一整形镜片、偏振镜片、1/2波片、第二整形镜片、聚焦镜片；光源用于发出线偏振光，分为互相垂直的P偏振光和S偏振光；第一整形镜片用于对线偏振光的慢轴方向扩束；偏振镜片以与光源发出的光束呈45

【技术实现步骤摘要】
一种半导体激光器防反射光损伤装置


[0001]本技术涉及激光
，尤其涉及一种半导体激光器防反射光损伤装置。

技术介绍

[0002]半导体激光器在加工对激光吸收率较低或光泽度较高时会反射大量激光，部分激光会沿光路系统返回到半导体激光发光芯片上，短时间内产生大量热能使半导体激光发光芯片发生光学灾变损伤，损坏激光器；为了防止反射光损坏激光器，目前主要采用的是自由空间光隔离器或者偏振器件加1/4波片来防止反射光对半导体激光器造成损伤，但自由空间光隔离器成本高，体积大，不便于集成小型半导体激光器中，而偏振器件加1/4波片的方式出射光为圆偏振光，只适合切割，不适合于激光雕刻加工。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，需要改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术的不足，提供一种半导体激光器防反射光损伤装置。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种半导体激光器防反射光损伤装置，包括光源和沿所述光源的光路传播方向依次排布的第一整形镜片、偏振镜片、1/2波片、第二整形镜片、聚焦镜片；所述光源用于发出线偏振光，所述线偏振光分为互相垂直的P偏振光和S偏振光；所述第一整形镜片用于对入射光的慢轴方向发散角进行扩大；所述偏振镜片以与所述光源发出的P偏振光呈45
°
夹角的形式放置，所述偏振镜片用于偏振分光以及用于将反射光反射出去；所述1/2波片以与所述光源发出的P偏振光呈90
°
夹角且与水平面呈α角固定的形式放置，所述1/2波片用于将投射来的光束的偏振方向旋转2α角；所述第二整形镜片用于将投射来的P偏振光的慢轴发散角进行收缩形成平行光束；所述聚焦镜片用于聚焦。
[0007]进一步地，所述光源为半导体激光芯片；应用时通过所述半导体激光芯片发出所述线偏振光。
[0008]进一步地，所述第一整形镜片为平凹柱面镜；应用时通过所述平凹柱面镜对投射来的线偏振光的慢轴方向发散角进行扩大。
[0009]进一步地，所述偏振镜片包括薄膜偏振片、偏振分光棱镜之中的任意一种。
[0010]进一步地，所述第二整形镜片为平凸柱面镜；应用时通过所述平凸柱面镜对投射来的P偏振光的慢轴发散角进行收缩以形成平行光束。
[0011]进一步地，所述聚焦镜片为平凸镜；应用时通过所述平凸镜对P偏振光进行聚焦。
[0012]采用上述方案，本技术具有以下有益效果：
[0013]本技术实现在激光整形光学系统中集成防反射光光学镜组，体积小，易装配，成本低，在防止反射光对激光芯片造成损伤的同时，没有改变光斑形状，不影响加工效果。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0015]图1为本技术一实施例提供的一种半导体激光器防反射光损伤装置的结构示意图；
[0016]图2为本技术一实施例提供的薄膜偏振片和1/2波片的光路图。
[0017]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0019]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0020]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0021]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0022]参照图1和图2所示，本技术提供一种半导体激光器防反射光损伤装置，包括光源1和沿所述光源1的光路传播方向依次排布的第一整形镜片2、偏振镜片、1/2波片4、第二整形镜片5、聚焦镜片6，即所述光源1、第一整形镜片2、偏振镜片、1/2波片4、第二整形镜片5、聚焦镜片6从前至后依次配置；所述光源1用于发出激光光束，该激光光束为线偏振光，所述线偏振光分为互相垂直的P偏振光和S偏振光，也就是说，应用时通过所述光源1发出线偏振光；所述第一整形镜片2用于对入射光（该入射光即为光源1发出的线偏振光）的慢轴方向发散角进行扩大，也就是说，应用时通过所述第一整形镜片2对投射来的线偏振光的慢轴进行扩束；所述偏振镜片以与所述光源1发出的激光光束（实际为P偏振光）呈45
°
夹角的形式放置，所述偏振镜片用于偏振分光以及用于将反射光反射出去，也就是说，应用时经所述第一整形镜片2投射来的P偏振光直接透射过所述偏振镜片，经所述第一整形镜片2扩束后
的S偏振光被所述偏振镜片反射出去，而且通过所述偏振镜片将所述1/2波片4投射来的反射光反射出去，防止了反射光对光源1造成损伤；所述1/2波片4以与所述光源1发出的激光光束（实际为P偏振光）呈90
°
夹角且与水平面呈α角固定的形式放置，或者说，所述1/2波片4的快轴方向与所述P偏振光的偏振方向呈α角，所述1/2波片4用于将投射来的光束的偏振方向旋转2α角，作为一种较佳实施例，所述α角优选为22.5
°
角，也就是说，应用时透射过所述偏振镜片的P偏振光垂直入射至所述1/2波片4，使P偏振光的偏振方向向着1/2波片4的快轴方向旋转2α角（也就是45
°
）后投射到工件上，受工件反射作用，反射光沿光路返回再次经过1/2波片4，使P偏振光的偏振方向又向着1/2波片4的快轴方向旋转2α角，从而反射光经过1/2波片4后偏振方向与透射过偏振镜片的P偏本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体激光器防反射光损伤装置，其特征在于，包括光源和沿所述光源的光路传播方向依次排布的第一整形镜片、偏振镜片、1/2波片、第二整形镜片、聚焦镜片；所述光源用于发出线偏振光，所述线偏振光分为互相垂直的P偏振光和S偏振光；所述第一整形镜片用于对入射光的慢轴方向发散角进行扩大；所述偏振镜片以与所述光源发出的P偏振光呈45
°
夹角的形式放置，所述偏振镜片用于偏振分光以及用于将反射光反射出去；所述1/2波片以与所述光源发出的P偏振光呈90
°
夹角且与水平面呈α角固定的形式放置，所述1/2波片用于将投射来的光束的偏振方向旋转2α角；所述第二整形镜片用于将投射来的P偏振光的慢轴发散角进行收缩形成平行光束；所述聚焦镜片用于聚焦。2.根据权利要求1所述的半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：卫绍杰，
申请(专利权)人：深圳市镭硕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：