压力动态调节装置制造方法及图纸

技术编号:32282114 阅读:35 留言:0更新日期:2022-02-12 19:49
本实用新型专利技术提供一种压力动态调节装置,包括压盘、用于连接压盘且使压盘能够摆动的横梁,横梁与压盘之间设置有用于调节压盘与竖直方向的夹角的调节组件,还包括测量压盘在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器,调节组件包括有多个调节元件,调节元件与压盘可滑动连接,通过调节调节元件使压盘的表面与工件的表面相接触,保证工件整体受力均匀,温度传感器的个数与调节元件的个数和位置相对应,温度传感器与调节元件可通信连接,以控制调节元件调节压盘与竖直方向的夹角,当一侧温度传感器感受到温度升高时,调整与温度升高的相对的一侧的调节元件运动,使温度升高的一侧的压盘升高,进而实现压盘微调的目的,保证工件在研磨的过程中受力均匀。的过程中受力均匀。的过程中受力均匀。

【技术实现步骤摘要】
压力动态调节装置


[0001]本技术涉及机械研磨
,尤其是涉及一种压力动态调节装置。

技术介绍

[0002]目前在玻璃、硅片、陶瓷片等薄脆零件的研磨领域。对于运行的平稳性、压力分布的一致性都有较高要求,在压力分布不均时,将出现单个工件受压破碎,引发整盘加工报废。为了保证成品率,现有工艺均采用低压力,低效率的方式进行加工。但是随着半导体、精密陶瓷、超薄玻璃的用量逐年增大,传统的加工方式已无法满足需求,其中,在研磨的过程中由于研磨的压力的过大,同样会导致的温度比较高。
[0003]研究如何解决现有研磨过程中如何保持工件的受力均匀,保证成品率的问题,这个问题是本领域技术人员主要解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种压力动态调节装置,以解决现有技术中存在的研磨过程中如何保持工件的受力均匀,保证成品率的问题。本技术提供的诸多技术方案中的优选技术方案所能产生的诸多技术效果(A、B、C)详见下文阐述。
[0005]为实现上述目的,本技术提供了以下技术方案:
[0006]本技术提供的一种压力动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压力动态调节装置,其特征在于,包括压盘(3)、用于连接所述压盘(3)且使所述压盘(3)能够摆动的横梁(2),所述横梁(2)与所述压盘(3)之间设置有用于调节所述压盘(3)与竖直方向的夹角的调节组件,还包括用于测量压盘(3)在工作时测量冷却液温度的多个温度传感器(6)、接收所述温度传感器(6)信号的控制器,所述调节组件包括有多个调节元件,所述调节元件与所述压盘(3)可滑动连接,所述温度传感器(6)的个数与所述调节元件的个数和位置相对应,所述温度传感器(6)与调节元件通过所述控制器可通信连接,所述控制器控制调节元件调节所述压盘(3)与竖直方向的夹角。2.根据权利要求1所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述调节组件与所述压盘(3)之间还设置有连接组件,所述连接组件的一端与调节元件相连接,所述连接组件的另一端与所述压盘(3)相连接。3.根据权利要求2所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述调节组件包括设置在所述横梁(2)下端连接板(4)、沿所述连接板(4)的周向均匀设置多个第二活塞缸(5),所述第二活塞缸(5)的第二活塞杆与所述连接组件相连接,以带动所述连接组件运动。4.根据权利要求3所述的压力动态调节装置,其特征在于,所述连接组件包括与所述第二活塞缸(5)的第二活塞杆的一端滑动连接的接盘(8)、带动所述接盘(8)转动的转轴(7)、连接所述转轴(7)与所述接盘(8)的连接元件,所述连接元件能使所述接盘(8)沿...

【专利技术属性】
技术研发人员:张军王焱海申波鲁元朋宋均恒
申请(专利权)人:洛阳市润智数控设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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