洁净容器内固持组件制造技术

一种洁净容器内固持组件，组设于一洁净容器内，其特征是该洁净容器由一上罩盖盖设于一底座上所组成，该底座上方固设有一卡匣并横向插置有数个工件；其中，该洁净容器内固持组件包括：　　　　一固定件，固设于该上罩盖的内壁上，且该固定件包括有一垂直滑槽、及一第一水平枢孔；　　　　一垂直滑块，滑设于该垂直滑槽内并可顶住该底座，且该垂直滑块上横向延设有一水平滑槽；　　　　一固持件，设置于该固定件与该卡匣之间，该固持件的前表面形成有一止推面并对应于所述工件，该固持件还包括有一向后延伸的水平滑座并对应滑设于该水平滑槽、及一第二水平枢孔；以及　　　　一连杆，分别于其二端形成有一第一枢轴、及一第二枢轴，该第一枢轴为对应枢设于该第一水平枢孔，且该第二枢轴对应枢设于该第二水平枢孔，该连杆可以第一枢轴为转轴向上旋转。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种洁净容器内固持组件，尤其涉及一种适用于可将洁净容器内的数个水平放置的工件整齐排列并固定位置以防止其滑动的固持组件。
技术介绍
目前半导体厂所生产的晶圆片往往是容纳并水平排列于一卡匣(cassette)内，此卡匣具有多个支撑凸缘而可用以插置多个晶圆片，且具有晶圆片的卡匣可再组设于一晶圆盒的底座上，之后再通过晶圆盒的盒盖加以罩盖以保护各个晶圆片不会受到污染。然而，传统的具有晶圆片的卡匣都仅仅置于晶圆盒内，而由于晶圆盒盒内具有比卡匣较大的空间，因此，卡匣上所插置的晶圆片有可能于晶圆盒的搬动过程中而产生滑移。为改善上述缺点，目前在晶圆盒盒内皆会组设有一固定机构，此固定机构在晶圆盒的盒盖罩盖于卡匣上时，可先通过一滑块顶住晶圆盒的底座，之后通过底座的顶推而相对带动一固持件向前移动，并这样固定卡匣上的晶圆片，但此种传统方法所使用的连杆机构往往在晶圆盒的底座产生摩擦，也即在顶推过程中，滑块会与晶圆盒的底座产生摩擦并进而产生微粒，对于晶圆盒盒内的晶圆片反倒造成不利的影响。除上述放置于晶圆盒内的晶圆片外，其它如容纳有光罩、玻璃基板(substrate)等工件的洁净容器也会产生相同问题。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种洁净容器内固持组件，能定位洁净容器内的工件，且通过连杆机构的运动设计以避免在动作过程中产生摩擦及微粒的问题，进而保护洁净容器内的工件不会受到污染。为达到上述目的，本技术提供了一种洁净容器内固持组件，组设于一洁净容器内，且此洁净容器由一上罩盖盖设于一底座上所组成，在底座上方还固设有一卡匣，在卡匣上则横向插置有数个工件。此外，本技术的洁净容器内固持组件包括一固定件、一垂直滑块、一固持件、及一连杆。其中，固定件固设于上述洁净容器上罩盖的内壁上，且此固定件包括有一垂直滑槽及一第一水平枢孔，而垂直滑块滑设于垂直滑槽内，且于垂直滑块的上部位置横向延设有一水平滑槽。另外，固持件设置于上述固定件与卡匣之间，且固持件的前表面有一止推面，此止推面可对应于卡匣上的工件，固持件还包括对应滑设于垂直滑块的水平滑槽的一向后延伸水平滑座、及一第二水平枢孔。而上述连杆则分别在其二端形成有一第一枢轴及一第二枢轴，其中的第一枢轴对应枢设于固定件的第一水平枢孔、且第二枢轴对应枢设于固持件的第二水平枢孔。因此，当洁净容器的上罩盖由上往下罩合于底座时，上述的垂直滑块的底端可先顶住底座，继而垂直滑块可相对于固定件的垂直滑槽向上滑移，促使上述连杆以第一枢轴为转轴向上旋转，并使固持件的水平滑座沿着垂直滑块的水平滑槽横向滑移，进而推动固持件也横向滑移并以其止推面对应顶推在卡匣内的工件，以使工件可通过固持件而定位于卡匣上。另外，由于本技术的垂直滑块的底端顶住底座时，其两者之间并不会产生相对滑移，而是保持固定接触于一点，因此其两者之间并不会产生摩擦以及微粒，可有效保护洁净容器内的工件不会受到污染。附图说明图1为本技术实际应用的示意图。图2为本技术的立体分解图。图3为本技术动作示意图之一。图4为本技术动作示意图之二。图5为本技术另一较佳实施例的立体分解图。其中，附图标记说明如下1-晶圆盒；2-固定件；3-垂直滑块；4-固持件；5-连杆；6-螺丝；7-固持件；11-上罩盖；12-底座；13-晶圆片；21-垂直滑槽；22-第一水平枢孔；23-锁固孔； 31-水平滑槽；32-底端；33-挡止块；34-挡止凸起；41-水平滑座；42-第二水平枢孔；43-止推面；51-第一枢轴；52-第二枢轴；71-水平滑座；72-第二水平枢孔；111-内壁；121-卡匣；211-挡止端；212-挡止凸缘；具体实施方式首先，请参阅图1本技术实际应用的示意图，其中显示有一晶圆盒1(洁净容器)，此晶圆盒1为一上罩盖11盖设于一底座12上所组成，且于底座12上方固设有一卡匣121并横向插置有数个晶圆片13(工件)。请同时参阅图1、及图2本技术的立体分解图，其中显示本技术的洁净容器内固持组件主要包括有一固定件2、一垂直滑块3、一固持件4、及一连杆5。其中，固定件2固设于晶圆盒1上罩盖11的内壁111上，在本实施例中，固定件2的上部两端分别形成有一锁固孔23，且锁固孔23分别通过一螺丝6而将固定件2锁固于晶圆盒1上罩盖11的内壁111上。此外，固定件2还包括有一垂直滑槽21、及一第一水平枢孔22，且在垂直滑槽21的侧缘处形成有一挡止端211、在垂直滑槽21内形成有一挡止凸缘212。另外，图中的垂直滑块3滑设于上述固定件2的垂直滑槽21内，且于垂直滑块3的上部位置横向延设有一水平滑槽31、在垂直滑块3的上部侧边形成有一挡止块33、在垂直滑块3的下部侧边形成有一挡止凸起34，上述的挡止块33可对应挡止于固定件2垂直滑槽21的挡止端211而使得垂直滑块3不会向下掉落，而挡止凸起34则可对应挡止于垂直滑槽21的挡止凸缘212，当垂直滑块3在垂直滑槽21内滑移时，可形成一限位作用。另外，固持件4设置于上述固定件2与卡匣121之间，且固持件4呈U字型并在其两侧前表面分别形成一止推面43，此止推面43对应于卡匣121上的晶圆片13，同时固持件4还包括一向后延伸的水平滑座41对应滑设于垂直滑块3的水平滑槽31、及一第二水平枢孔42，在本实施例中，第二水平枢孔42与水平滑座41彼此间隔有一预定距离。图中的连杆5的二端分别形成有一第一枢轴51、及一第二枢轴52，且第一枢轴51对应枢设于固定件2的第一水平枢孔22、第二枢轴52对应枢设于固持件4的第二水平枢孔42。请参阅图3本技术动作示意图之一，当晶圆盒1的上罩盖11由上往下罩合于底座12时，上述的垂直滑块3的底端32可先顶住底座12，请同时参阅图2及图4，图4为本技术动作示意图之二，继而垂直滑块3可相对于固定件2的垂直滑槽21向上滑移，且垂直滑块3通过其挡止凸起34可对应挡止于固定件2的挡止凸缘212而形成一限位作用，之后，垂直滑块3的滑移可促使连杆5以第一枢轴51为转轴向上旋转，并使固持件4的水平滑座41沿着垂直滑块3的水平滑槽31横向滑移，进而推动固持件4也横向滑移并以其止推面43对应顶推于卡匣121内的晶圆片13，以使将晶圆片13定位于卡匣121上。另外，由上述可知，当垂直滑块3的底端32与晶圆盒1的底座12接触时，其两者之间并不会产生相对滑移，而是保持固定接触于一点，并通过垂直滑块3的水平滑槽31与固持件4的水平滑座41、及连杆5等结构所形成的连杆机构而达到晶圆片13定位于卡匣121上的目的，因此，垂直滑块3与底座12之间并不会产生摩擦以及微粒，可有效保护晶圆盒1盒内的晶圆片13不会受到污染。图5为本技术另一较佳实施例的立体分解图，第二水平枢孔形成于水平滑座上。其主要结构皆与上述实施例相同，仅仅差别在于固持件7的水平滑座71与第二水平枢孔72形成于同一高度位置上，而不同于上述实施例将两者间隔一预定距离，然而，将水平滑座71与第二水平枢孔72形成于同一高度位置上的设计方式并不影响本技术所具有的功能，其同样可达到上述实施例所述的各种功效。上述各实施例虽以晶圆盒为例说明，但并不以此为限，其它例如使用于光罩、玻璃基板等工件的洁净容器也可装设有本技术的固持组件，且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种洁净容器内固持组件，组设于一洁净容器内，其特征是该洁净容器由一上罩盖盖设于一底座上所组成，该底座上方固设有一卡匣并横向插置有数个工件；其中，该洁净容器内固持组件包括一固定件，固设于该上罩盖的内壁上，且该固定件包括有一垂直滑槽、及一第一水平枢孔；一垂直滑块，滑设于该垂直滑槽内并可顶住该底座，且该垂直滑块上横向延设有一水平滑槽；一固持件，设置于该固定件与该卡匣之间，该固持件的前表面形成有一止推面并对应于所述工件，该固持件还包括有一向后延伸的水平滑座并对应滑设于该水平滑槽、及一第二水平枢孔；以及一连杆，分别于其二端形成有一第一枢轴、及一第二枢轴，该第一枢轴为对应枢设于该第一水平枢孔，且该第二枢轴对应枢设于该第二水平枢孔，该连杆可以第一枢轴为转轴向上旋转。2.如权利要求1所述的洁净容器内固持组件，其特征是该固定件的上部两端分别形成有一锁固孔，且所述锁固孔分别由一螺丝通过将该固定件锁固于该上罩盖的内壁上。3.如权利要求1所述的洁净容器内固持组...

【专利技术属性】
技术研发人员：白维铭，陈达仁，李志中，吴宗明，林慧芝，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：