具有多层涂层的抗腐蚀铝元件制造技术

一种具有多层涂层的抗腐蚀铝元件，可用于衬底处理室中，并包括铝主体、形成于铝主体上的阳极化氧化铝层、以及阳极化氧化铝层上的包括氧化铝的溅射层。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于衬底处理室的铝元件。
技术介绍
在衬底处理室中处理衬底的过程中，诸如在集成电路和显示器的制造中，衬底通常暴露在能够对衬底上的材料进行例如刻蚀或者沉积的激发气体中。激发气体还可以用于清洁处理室的表面。但是，激发气体经常可能包括可能腐蚀处理室的元件(例如处理室的围护壁)的腐蚀性含卤素气体以及其他激发物质。例如，铝制的处理室元件可能与激发的含卤素气体发生化学反应形成AlCl3或AlF3，从而腐蚀元件。元件的被腐蚀部分可能剥落并污染衬底，这降低了衬底的成品率。因此，必须经常从处理室中替换或拆除被腐蚀的元件并进行清洁，给处理室带来不期望的停工。可通过在易受腐蚀的元件表面上方形成抗腐蚀材料的涂层来提高处理室元件的抗腐蚀性，元件表面例如是没有涂层则可能暴露于激发气体的表面。例如，可以通过在电解槽中对铝元件进行阳极处理而在铝元件的表面上形成氧化铝涂层。但是，阳极处理的氧化铝涂层经常包含表面特征例如气孔、裂缝、凹痕以及其他穿透性的特征，这些穿透性的特征限制了阳极处理的铝涂层保护下方铝元件的性能。例如，延伸穿过保护性涂层的表面特征可能使腐蚀性气体可以穿透该涂层并侵蚀下方的元件材料，从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于衬底处理室的抗腐蚀铝元件，包括：ａ）铝主体；ｂ）形成于所述铝主体上的阳极化氧化铝层；以及ｃ）所述阳极化氧化铝层上的溅射层，所述溅射层包括氧化铝。

【技术特征摘要】
US 2005-1-18 11/037,6331.一种用于衬底处理室的抗腐蚀铝元件，包括a)铝主体；b)形成于所述铝主体上的阳极化氧化铝层；以及c)所述阳极化氧化铝层上的溅射层，所述溅射层包括氧化铝。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿施施布特那格尔，拉克斯曼牧鲁格施，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：实用新型
国别省市：US[美国]