一种MOCVD系统用的滤芯组件技术方案

本实用新型专利技术公开了一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和中心龙骨，上安装板上设置有中心通孔，中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，支撑杆位于连接螺杆的外侧，连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，中心龙骨的外部套装有滤料筒，滤料筒由折叠的滤料围成，滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。用寿命更长。用寿命更长。

【技术实现步骤摘要】
一种MOCVD系统用的滤芯组件


[0001]本技术涉及一种滤芯组件，用于MOCVD气相外延生长系统上的专用滤芯组件。

技术介绍

[0002]MOCVD是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、
Ⅵ
族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种
Ⅲ‑
V主族、
Ⅱ‑Ⅵ
副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。而该系统中，反应室是由石英管和石墨基座组成。为了生长组分均匀、超薄层、异质结构的化合物半导体材料，反应室内在工作过程中会出现一些残余物质，这些物质一般需要进行清理，而目前的清理一般是利用有一定腐蚀性的气体氯气对其进行高温吹扫，在腐蚀的过程中使杂质脱落，因此，在清理的过程中就会产生一些颗粒物，这些颗粒物都是有毒有害的颗粒物，需要对其进行过滤，而由于清理的过程中，氯气需要在较高的温度下(600℃左右)才能有吹扫腐蚀效果，因此，在过滤的过程中，气体的温度是比较高的，这样就会使用于过滤的滤芯使用寿命降低，另外，由于反应腔的体积并不大，而氯气的使用量需要尽可能的少，这样才能有效的控制成本，但是过滤器的使用又需要足够的风量才能保证颗粒物能随风流动而通过滤芯，而目前市面上的普通滤芯是难以满足上述条件。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种MOCVD系统用的滤芯组件，该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。
[0004]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和安装于上安装板和下安装板之间的中心龙骨，所述上安装板上设置有中心通孔，所述中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，所述顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，所述支撑杆位于连接螺杆的外侧，所述连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，所述中心龙骨的外部套装有滤料筒，所述滤料筒由折叠的滤料围成，所述滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，所述上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。
[0005]作为一种优选的方案，所述固定结构包括设置于上安装板的上固定环、设置于下安装板的下固定环，上固定环和下固定环同心设置，所述不锈钢滤筒的上端和下端处于上固定环和下固定环之间且由上安装板和下安装板轴向固定。
[0006]作为一种优选的方案，所述顶板和底板的形状相同，所述顶板包括圆环状的顶板本体，所述顶板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的上凸伸部，所述底板包括圆环状的底板本体，所述底板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的下凸伸部，所述上凸伸部和下凸伸部一一对应设置，每根支撑杆固定在对应的上凸伸部和下凸伸部之间，每根支撑杆均
位于滤料筒的折叠槽内。
[0007]作为一种优选的方案，所述顶板和底板均为不锈钢材质的顶板和底板，所述支撑杆为不锈钢支撑杆，所述支撑杆焊接固定在上凸伸部和下凸伸部之间。
[0008]作为一种优选的方案，所述滤料筒的上部和下部分别设置有上加强板和下加强板，所述上加强板和下加强板分别紧贴所述上安装板和下安装板，所述上凸伸部和下凸伸部位于滤料筒的折叠槽内。
[0009]作为一种优选的方案，所述连接螺杆上位于上安装板和顶板之间、位于下安装板和底板之间安装有胶垫。
[0010]作为一种优选的方案，所述滤料为掺杂有不锈钢丝的玻纤纤维布。
[0011]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和安装于上安装板和下安装板之间的中心龙骨，所述上安装板上设置有中心通孔，所述中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，所述顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，所述支撑杆位于连接螺杆的外侧，所述连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，所述中心龙骨的外部套装有滤料筒，所述滤料筒由折叠的滤料围成，所述滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，所述上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口，因此，该滤芯组件采用中心龙骨可以有效的支撑滤料筒的内部，避免其变形，同时，利用外侧的不锈钢滤筒增加滤芯组件的强度，并且使一些反应腔内的有害颗粒物随气体进入时不会第一时间碰撞到滤料筒上，同时，滤芯组件安装在过滤器后，气体从外部的不锈钢滤筒进入经过滤料筒后从上安装板的中心口向上排出洁净的气体，由于补气口的存在，这样可以增加整个进气量，反应腔内流出的气体量再加上补气口补入的气体量就为过滤器的整个抽气量，补入的气体一般为常温气体相较于反应腔内的刻蚀用的氯气的气体温度而言非常低，这样可以有效的对气体进行冷却，能使滤料筒的使用寿命延长，同时补入了气体后，也降低了整个气体的颗粒物浓度，这样大量的较低浓度的气体会比较均匀的从滤料筒四周进入而不会集中从迎风面进入，滤料筒各部位的过滤效率都得到充分的使用，过滤效果更好。
[0012]又由于所述固定结构包括设置于上安装板的上固定环、设置于下安装板的下固定环，上固定环和下固定环同心设置，所述不锈钢滤筒的上端和下端处于上固定环和下固定环之间且由上安装板和下安装板轴向固定，该固定结构可以很好的约束不锈钢滤筒，安装也非常简单。
[0013]又由于所述顶板和底板的形状相同，所述顶板包括圆环状的顶板本体，所述顶板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的上凸伸部，所述底板包括圆环状的底板本体，所述底板本体的外周圆周均布有向外径向凸伸的下凸伸部，所述上凸伸部和下凸伸部一一对应设置，每根支撑杆固定在对应的上凸伸部和下凸伸部之间，每根支撑杆均位于滤料筒的折叠槽内，采用了上述结构后，可以根据滤料筒的大小选择合适数量的支撑杆，利用支撑杆来很好的支撑滤料筒的内壁，当然由于不锈钢滤筒的存在，因此气体对滤料筒的冲击也更小，从而进一步减少变形。
[0014]又由于所述滤料筒的上部和下部分别设置有上加强板和下加强板，所述上加强板和下加强板分别紧贴所述上安装板和下安装板，所述上凸伸部和下凸伸部位于滤料筒的折
叠槽内，利用上加强板和下加强板可以增加滤料筒的强度，进一步减少变形，同时，所述上凸伸部和下凸伸部位于滤料筒的折叠槽内，就可以使支撑杆更好的进入到折叠槽而支撑滤料筒。
[0015]又由于所述滤料为掺杂有不锈钢丝的玻纤纤维布，这样可以进一步的增强滤料的强度，延长使用寿命。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0017]图1是本技术实施例的结构剖视图；
[0018]图2是图1在A
‑
A处的剖视图；
[0019]图3是图1在B处的放大示意图；
[0020]附图中：1、不锈钢滤筒；2、滤料本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：包括上安装板、下安装板和安装于上安装板和下安装板之间的中心龙骨，所述上安装板上设置有中心通孔，所述中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，所述顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，所述支撑杆位于连接螺杆的外侧，所述连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，所述中心龙骨的外部套装有滤料筒，所述滤料筒由折叠的滤料围成，所述滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，所述上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。2.如权利要求1所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述固定结构包括设置于上安装板的上固定环、设置于下安装板的下固定环，上固定环和下固定环同心设置，所述不锈钢滤筒的上端和下端处于上固定环和下固定环之间且由上安装板和下安装板轴向固定。3.如权利要求2所述的一种MOCVD系统用的滤芯组件，其特征在于：所述顶板和底板的形状相同，所述顶板包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡国东，孔丽英，翟小林，
申请(专利权)人：苏州耘林芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：